... nghệ chế tạo, ảnh hưởng của các thông số công nghệ chế tạo đến các thông số đặc trưng của transistor hiệu ứng trường sử dụng ống nano carbon, mục tiêu của luận văn Thạc sỹ này l : Thi t kế, chế ... thống về công nghệ chế tạo, ảnh hưởng của các thông số công nghệ chế tạo đến các thông số đặc trưng của transistor hiệu ứng trường sử dụng ống nano carbon, đề tài: Thi t kế, chế tạo và kiểm tra ... nghiệm, đặc biệt là thi t bị quang khắc chỉ có thể chế tạo cấu trúc xuống kích thước micron, việc chế tạo các FET là không có ý nghĩa thực tế do các FET hiện nay đã được chế tạo xuống kích thước...