phún xạ magnetron phẳng

nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron

... bia phún xạ Và khí phún xạ khí hay hỗn hợp hai hay nhiều khí từ nguồn khí Ar, O 2, N2, N2O Trong N N2O dùng nguồn pha tạp N Các điều kiện phún xạ tạo màng Áp suất buồng Áp suất Áp suất phún xạ ... suất phún xạ Khí phún xạ Đế phủ Khoảng cách phún xạ Công suất phún xạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr 1,5.10-5 torr 6.10-3 torr N2, N2O, Ar Corning 7059 5.0cm 80W 300oC Màng sau phún xạ tiến hành đo ... màng mỏng ZnO: N chế tạo phương pháp phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương pháp nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng tinh thể ZnO:N...

7
1,834
20

Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx

Danh mục: Báo cáo khoa học

... pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại mơi trường hỗn hợp khí làm việc Argon khí phản ứng Oxy Vật liệu đế chọn đế thủy tinh Si, phún xạ ... nhiệt tiến hành sau ghi nhận phổ hấp thu hồng ngoại IR phổ tán xạ tia X THỰC NGHIỆM Hệ phún xạ dùng máy Univex 450 Màng Al2O3 phún xạ từ bia nhơm kim loại Điều kiện tiến hành tính tóan trước phương ... Carlo (MC) mơ hình trình bày [9] Hình Hệ phún xạ Univex 450 Các tham số mơ thực nghiệm bao gồm: Đường kính bia: 75 mm Bề rộng miền ăn mòn: 20 mm Dòng phún xạ: 1A Cơng suất: 100 − 250W Áp suất khí...

11
791
0

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx

Danh mục: Báo cáo khoa học

... độ đế cao đỉnh nhiễu xạ bị dịch phía có góc nhiễu xạ nhỏ Điều giải thích màng có ứng suất nén [7] Ứng suất bao gồm ứng suất nội sai hỏng màng - lắng đọng phương pháp phún xạ magnetron - gây ứng ... cao khoảng 10-2 torr để tránh ứng suất nén phá hỏng màng Các thông số tạo màng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng cơng trình trình bày bảng 60 400 600 800 Bước sóng  (nm) 1000 Hình Phổ truyền ... tinh thể khảo sát phép phân tích giản đồ nhiễu xạ tia X (XRD) Kích thước hạt tinh thể xác định công thức Scherrer Từ kết cơng trình [1,4], q trình phún xạ tạo màng, áp suất hỗn hợp khí làm việc Ar+O2...

6
802
1

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của sự pha tạp Ga lên tính chất điện của màng ZnO tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron docx

Danh mục: Báo cáo khoa học

... ZnO-Ga tạo phương pháp phún xạ magnetron có điện trở suất khoảng 4-5 x 10-4 Ωcm , độ truyền qua trung bình vùng khả kiến T ~ 85% Màng cho tính chất quang điện tốt phún xạ nhiệt độ phòng Tính ... lượng cao vận tốc phún xạ thấp (v = 3.8 Α /s) Bảng 2[5] Mẫu Vị trí a Bề dày (nm) 760 ρ (Ω.cm) 5.3 x 10 d e 1900 - x 10 -4 1400 4.9 x 10-4 Hình Cách bố trí thí nghiệm bia -đế hệ phún xạ [5] Ta nói ... suất (~ 4.6 x 10-4 Ωcm) cường độ đỉnh (002) tương đương (chứng tỏ hạt ngưng tụ phương pháp phún xạ magnetron có lượng cao) Tính chất điện cấu trúc màng gần không phụ thuộc vào nhiệt độ xử lý...

5
415
0

Đề Tài: Mô phỏng Plasma phóng điện khí Argon trong hệ phún xạ Magnetron DC bằng phương pháp MIC/MCC potx

Danh mục: Thạc sĩ - Cao học

... Plasma phóng n sáng DC h phún x magnetron 1.1.1 Khái ni m v plasma 1.1.2 Phóng n sáng DC 1.1.3 H phún x magnetron 1.2 Các bư c xây d ng h phún x magnetron o 1.2.1 ... gây phún x v t li u cathode ðây ch r t quan tr ng ñư c s d ng phún x magnetron ñ l ng ñ ng màng m ng M t th o lu n chi ti t cho mi n c a phóng n sáng có th ñư c tham kh o [61] 1.1.3 H phún x magnetron ... t, d n ñ n h t b phún x l ng đ ng khơng đ ng nh t ñ , nên màng thu ñư c có đ đ ng đ u khơng cao 1.2 Các bư c xây d ng h phún x magnetron o Các module b n ñ xây d ng h phún x magnetron o (hình...

104
542
0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc

Danh mục: Báo cáo khoa học

... Mơ hình hệ phún xạ magnetron Hình Sơ đồ hệ đo Δabs Hình Quang phổ liên tục Hình Phổ phát xạ bóng đèn UVA Hình 10 Bóng đèn UVA 220V-8W THỰC NGHIỆM 2.1 Khảo sát ảnh hưởng dòng phún xạ Khảo sát ... NGHIỆM 2.1 Khảo sát ảnh hưởng dòng phún xạ Khảo sát mẫu có điều kiện phún xạ, khác cường độ dòng phún xạ, chúng tơi thấy dòng phún xạ mạnh, tính quang xúc tác cao Δabs năm mẫu từ G48 (0,40 A), G49 ... tiêu Đánh giá hiệu việc tăng dòng phún xạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa cơng nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phún xạ magnetron sử dụng rộng rãi, nhiệt...

8
603
0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "MÔ HÌNH HÓA VÀ MÔ PHỎNG QUÁ TRÌNH TẠO MÀNG Al2O3 BẰNG PHÚN XẠ MAGNETRON" doc

Danh mục: Báo cáo khoa học

... lượng 100’000 hạt phún xạ Al Ti (trái) kết tương tự [8] với môi trường Ar lượng bắn phá cỡ 440 eV (phải) Quỹ Đạo Mô Phỏng 500 Hạt Al Phún Xạ Quỹ Đạo Mô Phỏng 500 Hạt Al3O3 Phún Xạ TRAJECTORIES ... hiệu tương ứng cho phân tử khí hạt phún xạ Việc đưa đại lượng nhiệt độ vào nhằm tính đến độ linh động hạt tham gia tán xạ Bia Đế Hình1 Mơ hình va chạm hạt phún xạ với hạt khí mơi trường Hình 2.Mơ ... trình lắng đọng với trình phún xạ hình thành màng cho ta cơng cụ hữu hiệu để hồn thiện cơng việc nghiên cứu kỹ thuật phún xạ hình thành màng MODELING AND SIMULATION OF THE MAGNETRON SPUTTERING PROCESS...

7
491
0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF" doc

Danh mục: Báo cáo khoa học

... 0 1 0 0 b u o c s o n g (n m ) Hình Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận ... 4.KẾT LUẬN Màng tạo phương pháp phún xạ magnetron rf suốt, có độ truyền qua cao khoảng 90% Chiết suất màng cao khoảng 2.48 chiết suất cao màng tạo phương pháp phún xạ dc Cấu trúc màng phần lớn đa ... hầu hết hệ thống phún xạ rf, người ta mắc thêm tụ điện điều cho phép hệ thống hoạt động với bia dẫn điện Các hạt ion chịu tác dụng tự hiệu dịch VDC gia tốc tới bia tạo phún xạ Thực vậy, electron...

7
692
2

Tóm tắt báo cáo nghiên cứu khoa học " CÁC TÍNH CHẤT QUANG ĐIỆN CỦA MÀNG MỎNG ĐA LỚP TẠO BỞI PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON " pdf

Danh mục: Báo cáo khoa học

... ion âm oxygen hệ phún xạ magnetron với bia ZnO:Al Tạp chí phát triển KHCN –ĐHQG Tp.HCM, tập 7, số 1/2004 [2] Nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện suốt ZnO:Al phương pháp phún xạ magnetron DC Tạp ... pháp phún xạ magnetron DC Hội nghị ứng dụng Vật lý toàn quốc lần thứ 2, 10-11/12/2004 5.2 Các cơng trình hồn thành cơng bố tạp chí KH [1] Tạo màng gương nóng truyền qua phương pháp phún xạ magnetron ... ZnO: Al đế PET phương pháp phún xạ magnetron DC Báo cáo hội nghị vật lý toàn quốc lần 5.3 Các báo cáo khoa học hội nghị, hội thảo KH: [1] Sử dụng phương pháp phún xạ magnetron DC để chế tạo tế...

4
644
1

Phương pháp phún xạ Magnetron RF và ứng dụng trong công nhệ chế tạo màng mỏng bán dẫn

Danh mục: Vật lý

...

38
752
0

Tiến Sĩ Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

Danh mục: Tiến sĩ

... In2O3 Lắng đọng phún xạ [179] Cd2SnO4 Lắng đọng phún xạ [134] Cd2SnO4 Phun nhiệt phân [133] ZnO:In Phun nhiệt phân [112] ZnO:Al Lắng đọng phún xạ [117] ZnO:In Lắng đọng phún xạ [147] ZnO:B Lắng ... 1.6.1 Phương pháp phún xạ 1.6.1.1 Nguyên lý trình lắng đọng phún xạ Sự bứt nguyên tử điện tử từ bề mặt vật liệu (bia) bắn phá hạt lượng cao gọi phún xạ Những nguyên tử phún xạ ngưng tụ đế để ... thức lớn, tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phương pháp phún xạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phún xạ [52] Truyền...

60
666
1

NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG QUANG XÚC TÁC TiO2 PHA TẠP V BẰNG PHƯƠNG PHÁP ĐỒNG PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Danh mục: Khoa học tự nhiên

... chất khí * Mơ tả hệ phún xạ : Hình 2.2 Hệ magnetron phẳng SVTH: Lê Anh Duy 26 MSSV: 0613065 Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê Vũ Tuấn Hùng + Hệ phún xạ magnetron phẳng diode phẳng, từ trường phối ... pháp phún xạ magnetron ưu điểm phương pháp không phức tạp, dễ triển khai diện rộng, đồng thời sau hồn thành màng có độ bền học cao độ dày đồng 2.1.1 Hệ phún xạ magnetron DC [8] Hình 2.1 Hệ phún xạ ... XÚC TÁC 3.1 Chế Tạo Màng Bằng Phương Pháp Đồng Phún Xạ Magnetron Không Cân Bằng 3.1.1 Lắp ráp hệ giá đỡ đồng phún xạ Chúng sử dụng hệ phún xạ chân khơng phòng thí nghiệm Quang - Quang Phổ,...

75
916
2

NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG QUANG XÚC TÁC TiO2 PHA TẠP V BẰNG PHƯƠNG PHÁP ĐỒNG PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Danh mục: Khoa học tự nhiên

... suất phún xạ bia V Tối ưu : 80W Thực nghiệm, kết bàn luận  Khoảng cách bia - đế 5cm  Công suất phún xạ bia Ti: 100W  Công suất phún xạ bia V: 80W  Tỉ lệ khí O2:Ar 10%  Thời gian phún xạ 60 ... 5cm Công suất phún xạ bia Ti: 100W Công suất phún xạ bia V: 80W Góc nghiêng θo :25o Thời gian phún xạ 60 phút Thực nghiệm, kết bàn luận  Khoảng cách bia - đế 5cm  Công suất phún xạ bia Ti: 100W ... 5cm  Công suất phún xạ bia Ti: 100W  Thời gian phún xạ 60 phút Thực nghiệm, kết bàn luận Khảo Sát Tính Chất Quang Xúc Tác Của TiO2:V Tạo màng TiO2:V phương pháp đồng phún xạ magnetron DC tính...

32
654
0

Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng PP phún xạ magnetron DC, kh.sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p

Danh mục: Khoa học tự nhiên

... sĩ Vật Lý 3.1 Khái niệm phún xạ .38 3.2 Phún xạ magnetron phẳng .38 3.2.1 Ưu điểm phương pháp phún xạ magnetron phẳng 38 3.2.2 Cấu tạo hệ magnetron phẳng 39 3.3 Các ... phương pháp phún xạ, hạt vật liệu chuyển động thẳng từ bia đến đế theo kiểu Chúng ta điều kiển độ dày màng dễ dàng biết tốc độ lắng động chọn thời gian phún xạ phù hợp 3.2 Phún xạ magnetron phẳng 3.2.1 ... Ngoài ra, phún xạ phản ứng hỗn hợp khí, nhiều hợp chất phủ từ vật liệu đơn chất Đào Anh Tuấn Luận văn thạc sĩ Vật Lý 39 3.2.2 Cấu tạo hệ magnetron phẳng Bộ phận hệ phún xạ magnetron phẳng hệ nam...

106
1,690
1

Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng

Danh mục: Khoa học tự nhiên

... pháp phún xạ magnetron DC Qua khảo sát yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện tính chất quang màng Chúng thay đổi thông số phún xạ nồng độ pha tạp Sn, công suất phún xạ, thời gian phún xạ, ... 26 Hình 2.1: Hệ magnetron cân 31 Hình 2.2: Hệ magnetron khơng cân 31 Hình 2.3: Hệ thống phún xạ magnetron DC 31 Hình 2.4: Nguyên tắc hoạt động phún xạ magnetron 32 ... màng dễ dàng biết tốc độ lắng động chọn thời gian phún xạ phù hợp Phún xạ magnetron DC phương pháp sử dụng rộng rãi để tạo màng mỏng TCO Phún xạ magnetron DC xem trình phát nguyên tử, phân tử vật...

72
1,563
0

NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Danh mục: Khoa học tự nhiên

... Quy trình chế tạo bia gốm ZnO:In Bia gốm trước phún xạ Bia gốm sau phún xạ CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO:(In, N) 3.2 Hệ phún xạ tạo màng Sử dụng hệ magnetron không cân bằng: - Tăng thông lượng ion ... phương pháp phún xạ magnetron DC”, Hội nghị Vật lý toàn quốc lần thứ VII, Hà Nội – 8/11/2010 PHẦN PHỤ LỤC Đặc trưng I-V màng ZnO:(In,N) phủ đế Si P=3mTorr; I=0.35A; V=520V; Thời gian phún xạ t=15 ... tạo mạng ZnO:(In, N) Chế tạo bia gốm ZnO ZnO:In Chọn hệ phún xạ Xử lý đế Bố trí bia đế Ảnh hưởng N2/(N2 + Ar) Ảnh hưởng nhiệt độ đế Phún xạ tạo màng Ảnh hưởng Tạp In Khảo sát tiếp xúc p-ZnO:(In,...

52
1,363
0

NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG QUANG XÚC TÁC TiO2 TẠP CHẤT V BẰNG PHƯƠNG PHÁP ĐỒNG PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Danh mục: Khoa học tự nhiên

... suất phún xạ bia V Tối ưu : 80W Thực nghiệm, kết bàn luận  Khoảng cách bia - đế 5cm  Công suất phún xạ bia Ti: 100W  Công suất phún xạ bia V: 80W  Tỉ lệ khí O2:Ar 10%  Thời gian phún xạ 60 ... 5cm Công suất phún xạ bia Ti: 100W Công suất phún xạ bia V: 80W Góc nghiêng θo :25o Thời gian phún xạ 60 phút Thực nghiệm, kết bàn luận  Khoảng cách bia - đế 5cm  Công suất phún xạ bia Ti: 100W ... 5cm  Công suất phún xạ bia Ti: 100W  Thời gian phún xạ 60 phút Thực nghiệm, kết bàn luận Khảo Sát Tính Chất Quang Xúc Tác Của TiO2:V Tạo màng TiO2:V phương pháp đồng phún xạ magnetron DC tính...

35
580
0

PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY VÀ PHÚN XẠ - Bài 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Danh mục: Vật lý

... màng mỏng phún xạ ( nêu rõ ảnh hưởng nào? ) Trả lời: - Độ dày màng mỏng phún xạ liện quan đến hiệu suất trình phún xạ - Hiệu suất trình phún xạ = NA/Ni Với: NA tổng nguyên tử phún xạ Ni tổng ... với phương pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không làm cho vật liệu bị bay đốt nóng mà thực chất q trình phún xạ q trình truyền động cách ... để thực phún xạ Hơn nữa, ngăn phân tán rộng khí vật liệu bia ngồi để tạo hiệu suất phún xạ cao Còn áo ngồi nối mass lấy dòng điện bị rò để bảo vệ người làm phún xạ an toàn Câu 8: Hệ Magnetron...

15
2,361
2

THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ - BÀI 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Danh mục: Vật lý

... hưởng đến độ dày màng mỏng phún xạ? Nói đến độ dày màng mỏng phún xạ tức xem xét hiệu suất trình phún xạ Theo định nghĩa ta có, hiệu suất trình phún xạ tổng nguyên tử phún xạ tổng ion tới Các yêu ... xạ I.2 Phương pháp phún xạ magnetron DC: I.2.1 Hệ magnetron phẳng: HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ (Hình 1.2)  Bộ phận hệ phún xạ magnetron phẳng hệ nam châm bố ... PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC I TÓM TẮT LÝ THUYẾT: I.1 Định nghĩa tượng phún xạ: Phún xạ tượng nguyên tử bề mặt vật liệu bị bứt bị bắn phá ion có lượng cao Hình 1.1: Sơ đồ mơ tả q trình phún xạ I.2...

11
501
0

Vật lý màng mỏng -Phún xạ magnetron RF

Danh mục: Cao đẳng - Đại học

... ứng 2.1 Hệ số phún xạ : s n n i , Trong : s : hệ số phún xạ nα : số nguyên tử bị phún xạ ni : số ion đập vào bề mặt cathode Hệ số phún xạ s phụ thuộc v : - Bản chất vật liệu phún xạ - Loại ion ... thể không rõ rệt phún xạ Ưu điểm hạn chế phún xạ 5.1 Ưu điểm: - Tất loại vật liệu phún xạ, nghĩa từ nguyên tố, hợp kim hay hợp chất - Bia để phún xạ thường dùng lâu, lớp phún xạ mỏng - Có thể ... 2.2 Sự phụ thuộc vào góc tới phún xạ Hình : Hệ số phún xạ đạt giá trị cao v khoảng góc tới có giá trị 720 Cấu tạo Máy phún xạ magnetron RF Nó có cấu tạo chung hệ phún xạ, nhi ên máy phát máy phát...

18
444
1