Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê Vũ Tuấn Hùng MỤC LỤC MỞ ĐẦU 5 CHƯƠNG I. 7 TỔNG QUAN VỀ MÀNG TiO2 và TiO2 PHA TẠP 7 1.1.Đặc Điểm Cấu Trúc Tinh Thể Của Vật Liệu Titan Dioxide - TiO2 7 1.2. Tính Chất Quang Xúc Tác Của Màng TiO2 13 1.2.1. Tính chất phân hủy hợp chất hữu cơ [9, 12,13,14] 13 1.2.2. Tính chất quang siêu thấm ướt nước [13,14] 15 1.2.3. Các yếu tố ảnh hưởng lên quang xúc tác [13,14] 18 1.2.3.1. Diện tích hiệu dụng bề mặt 18 1.2.3.2. Độ kết tinh của tinh thể 18 1.2.3.3. Cường độ chiếu sáng 19 1.2.4. Cải tiến hoạt tính quang xúc tác của vật liệu TiO2. 19 1.3. Vật Liệu Vanadium. 20 1.4. Các Ứng Dụng Của Vật Liệu Quang Xúc Tác TiO2 Và TiO2 Pha Tạp [12,14] 22 1.4.1. Tự làm sạch bề mặt 22 1.4.2. Chống mờ bề mặt 23 1.4.3. Diệt khuẩn 24 CHƯƠNG II. 25 PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO VÀ PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC CỦA MÀNG 25 2.1. Phương Pháp Chế Tạo Vật Liệu Quang Xúc Tác Trong Vùng Ánh Sáng Tử Ngoại, TiO2 25 2.1.1. Hệ phún xạ magnetron DC [8] 25 SVTH: Lê Anh Duy 1 MSSV: 0613065 Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê Vũ Tuấn Hùng 2.1.2. Hệ magnetron phẳng [8] 26 2.1.3. Hệ magnetron cân bằng và không cân bằng [2] 29 2.1.4. Hệ magnetron không cân bằng [2] 30 2.2. Tạo Màng TiO2 Pha Tạp Vanadium Bằng Phương Pháp Đồng Phún Xạ Phản Ứng 30 2.2.1. Ưu điểm của phương pháp đồng phún xạ phản ứng 32 2.2.2. Hạn chế của phương pháp đồng phún xạ phản ứng 32 2.3. Các Phương Pháp Phân Tích Mẫu 32 2.3.1. Xác định độ truyền qua của màng và xác định Eg [1]. 32 2.3.2. Xác định cấu trúc bề mặt bởi kính hiển vi lực điện tử AFM Nanotec 33 2.3.3. Xác định cấu trúc tinh thể qua giản đồ XRD (X-rays) 34 2.4. Các Phương Pháp Khảo Sát Tính Năng Quang Xúc Tác Của Mẫu 36 2.4.1. Phương pháp Zeman 37 2.4.2. Phương pháp đo góc thấm ướt 38 CHƯƠNG III. 40 THIẾT KẾ VÀ CHẾ TẠO HỆ THỰC NGHIỆM TẠO MÀNG VÀ HỆ ĐO TÍNH NĂNG QUANG XÚC TÁC 40 3.1. Chế Tạo Màng Bằng Phương Pháp Đồng Phún Xạ Magnetron Không Cân Bằng 40 3.1.1. Lắp ráp hệ giá đỡ đồng phún xạ 40 3.1.2. Quy trình tạo màng 43 3.2. Thiết Kế Và Xây Dựng Hệ Đo Tính Năng Quang Xúc Tác Của Màng 45 3.2.1. Pha dung dịch methylene blue (MB) 45 3.2.2. Sơ đồ bố trí hệ đo tính năng quang xúc tác của màng TiO2 và TiO2 pha tạp dưới ánh sáng tử ngoại 45 SVTH: Lê Anh Duy 2 MSSV: 0613065 Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê Vũ Tuấn Hùng 3.2.3. Hệ đo tính năng siêu thấm ướt nước của màng 46 CHƯƠNG IV. KẾT QUẢ VÀ BÀN LUẬN 50 4.1. Khảo Sát Tính Chất Quang Xúc Tác Của TiO2 50 4.1.1. Khảo sát tính chất quang xúc tác của TiO2 theo sự thay đổi khoảng cách bia đế 50 4.1.2. Khảo sát tính chất quang xúc tác của TiO2 theo sự thay đổi công suất phún xạ. 52 4.1.3. Khảo sát tính chất quang xúc tác của TiO2 theo sự thay đổi nhiệt độ đế 54 4.1.4. Kết luận về điều kiện tối ưu trong quá trình chế tạo màng TiO2 55 4.2. Khảo Sát Tính Chất Quang Xúc Tác Của TiO2:V 55 4.2.1. Khảo sát tính chất quang xúc tác của TiO2:V theo sự thay đổi góc nghiêng θo 55 4.2.2. Khảo sát tính chất quang xúc tác của TiO2:V theo sự thay đổi tỷ lệ khí O2:Ar. 57 4.2.3. Khảo sát tính chất quang xúc tác của TiO2:V theo sự thay đổi công suất phún xạ của bia V 59 KẾT LUẬN VÀ HƯỚNG PHÁT TRIỂN 72 TÀI LIỆU THAM KHẢO 73 SVTH: Lê Anh Duy 3 MSSV: 0613065 Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê Vũ Tuấn Hùng DANH MỤC HÌNH ẢNH DANH MỤC CÁC BẢNG Bảng 1.1. Thông số của 3 dạng tinh thể chính của TiO 2 13 Bảng 1.2. Một số thông số về vanadium 23 Bảng 3.1. Bảng số liệu các lần đo góc nước trên hệ đo 52 Bảng 4.1. Các mẫu TiO 2 thuần khảo sát theo sự thay đổi khoảng cách bia đế 53 Bảng 4.2. Các mẫu TiO 2 thuần khảo sát theo sự thay đổi công suất phún xạ 55 Bảng 4.3. Các mẫu TiO 2 thuần khảo sát theo sự thay đổi nhiệt độ đế 57 Bảng 4.4. Các mẫu TiO 2 :V khảo sát theo sự thay đổi góc nghiêng θ o 59 Bảng 4.5. Các mẫu TiO 2 :V khảo sát theo sự thay đổi tỉ lệ khí O 2 :Ar 60 Bảng 4.6. Các mẫu TiO 2 :V khảo sát theo sự thay đổi công suất phún xạ bia V 62 Bảng 4.7. Thống kê kết quả đo góc thấm ướt từ Hình 4.10 67 Bảng 4.8. Mẫu TiO 2 tốt nhất và TiO 2 :V tốt nhất 68 Bảng 4.9. Kết quả tỷ lệ các chất theo kết quả đo EDX ở Hình 4.18 74 SVTH: Lê Anh Duy 4 MSSV: 0613065 Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê Vũ Tuấn Hùng MỞ ĐẦU Thế giới đang phát triển rất nhanh, khoa học ngày càng tiến bộ mang đến nhiều bước tiến lớn cho việc sản xuất của các nghành công nghiệp. Tuy nhiên, cùng với sự phát triển ngày càng cao ấy thì môi trường đang trở nên ô nhiễm rất nặng nề, việc sử dụng các loại nhiên liệu hóa thạch, hoạt động của các nhà máy công nghiệp,… các loại khí SO 2 , NO x , CO 2 , … thải vào bầu khí quyển ngày càng nhiều đã và đang gây ra nhiều tác hại như hiệu ứng nhà kính làm trái đất nóng dần, các trận mưa axít có độ đậm đặc tăng dần đang đe dọa trực tiếp các công trình xây dựng, đồng thời gây hoang hóa đất canh tác. Ngoài ra, do tốc đô phát triển kinh tế và đô thị hóa ngày càng tăng nhanh như hiện nay, nhu cầu nhà ở và văn phòng làm việc cũng tăng theo rất nhanh. Việc bảo quản, giữ gìn và vệ sinh bên trong và bên ngoài của các tòa nhà, các cao ốc chiếm một chi phí không nhỏ, kèm theo đó là sự nguy hiểm cho người lao động khi phải làm việc ở độ cao và sự tích lũy hóa chất do có khá nhiều hợp chất không phân hủy trong các chất tẩy rửa. Sự tích lũy một lượng lớn hóa chất như thế sau một khoảng thời gian có thể ảnh hưởng xấu đến sức khỏe của con người, đến độ bền của các thiết bị máy móc, đến tuổi thọ của cá công trình kiến trúc, đến năng suất cây trồng vật nuôi và chất lượng thực phẩm…Qua đó, có thể nhận thấy các thiệt hại do ô nhiễm môi trường gây ra là rất lớn. Bằng kiến thức và tư duy khoa học, nhiều nhà nghiên cứu đã mang đến nhiều giải pháp tích cực và có hiệu quả để cải thiện môi trường. Trong số đó, giải pháp sử dụng các loại vật liệu quang xúc tác đã và đang được nhiều nhà nghiên cứu tập trung nghiên cứu trong những năm gần đây (khoảng từ năm 1990). Trong rất nhiều loại vật liệu có tính năng quang xúc tác như ZnO, Ta 2 O 5 , ZrO 2 , TiO 2 , , vật liệu titandioxide (TiO 2 ) cho thấy có triển vọng, ứng dụng hiệu quả nhất nhờ khả năng ôxy hóa mạnh của lỗ trống được sản sinh bởi photon khi hấp thụ ánh sáng có bước sóng ngắn hơn 380nm (vùng ánh sáng tử ngoại, UV), tính trơ hóa học và tính thân thiện với môi trường. SVTH: Lê Anh Duy 5 MSSV: 0613065 Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê Vũ Tuấn Hùng Vật liệu TiO 2 được khám phá vào năm 1972, bởi nhóm tác giả A. Fujishima và K. Honda. Đây là một hợp chất có tính quang xúc tác rất tốt, nó có thể phân hủy các chất hữu cơ và chất bẩn chỉ bằng việc chiếu sáng. Việc chiếu bức xạ UV trên bề mặt TiO 2 cũng có thể tạo nên tính siêu thấm ướt nước trên bề mặt của vật liệu. Những bề mặt này có khả năng chống sương bám, tự làm sạch,… Như vậy, vật liệu TiO 2 có thể được dùng để tổng hợp chất hữu cơ, khử CO 2 , trị bệnh ung thư da, phân hủy hợp chất halogen trong không khí, phân hủy các chất bẩn bề mặt, xử lý nước, phân hủy dầu tràn trên bề mặt nước, khử trùng, diệt khuẩn, Với độ rộng vùng cấm khoảng 3.2eV - 3.8eV, vật liệu TiO 2 chỉ có thể cho hiệu ứng quang xúc tác trong vùng ánh sáng UV. Tuy nhiên, hiệu suất quang xúc tác ngoài trời thấp do bức xạ UV chỉ chiếm khoảng 5% năng lượng mặt trời. Để sử dụng năng lượng mặt trời một cách hiệu quả hơn, cần mở rộng phổ hấp thu của TiO 2 vào vùng ánh sáng khả kiến (loại bức xạ chiếm đến 45% năng lượng mặt trời). Mặt khác, để tăng hiệu suất quang xúc tác của vật liệu TiO 2 , cần phải giảm quá trình tái hợp của nó. Để chế tạo vật liệu có tính năng và hiệu suất quang xúc tác tốt trên nền vật liệu TiO 2 , cho đến nay có bốn phương pháp chủ yếu được đề nghị là: (1) pha tạp ion kim loại chuyển tiếp (để tạo những trạng thái trung gian trong vùng cấm TiO 2 ) [16]; (2) gắn kết chất nhạy quang (đóng vai trò là chất hữu cơ có khả năng hấp thụ ánh sáng khả kiến); (3) thành lập TiO x (tạo trạng thái khuyết ôxy (O) định xứ trên mức năng lượng trong khoảng 0.75eV – 1.18 eV ở dưới vùng dẫn); (4) pha tạp các anion của C,N,F,P hoặc S (để thay thế O trong tinh thể anatase TiO 2 ). Trong đề này chúng tôi sẽ sủ dụng phương pháp (1), cụ thể là sẽ pha tạp ion V vào màng TiO 2 để nhằm nâng cao tính năng và hiệu xuất quang xúc tác của màng, chúng tôi sử dụng phương pháp đồng phún xạ Magnetron DC không cân bằng, vì hệ này vừa gia tăng sự bắn phá của ion trên đế, vừa tạo môi trường ion hóa ôxy và kim loại để tổng hợp màng có chất lượng cao. SVTH: Lê Anh Duy 6 MSSV: 0613065 Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê Vũ Tuấn Hùng CHƯƠNG I. TỔNG QUAN VỀ MÀNG TiO 2 và TiO 2 PHA TẠP 1.1. Đặc Điểm Cấu Trúc Tinh Thể Của Vật Liệu Titan Dioxide - TiO 2 . Màng titan dioxide - TiO 2 , được ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực kỹ thuật như kính lọc, pin mặt trời, sensor quang, kính chống phản xạ, Trong thời gian gần đây, TiO 2 được phủ lên bề mặt các loại vật liệu để diệt khuẩn, lọc không khí, chống rêu bám, cũng như giúp bề mặt vật liệu có khả năng tự làm sạch, chống sương bám, chống đọng nước, Liên kết TiO 2 là liên kết ion. Các nguyên tử titanium (Ti) và ôxy (O) trao đổi điện tử hóa trị cho nhau để trở thành các cation và anion. Liên kết xuất hiện giữa các ion trái dấu thông qua lực hút tĩnh điện. Khi các nguyên tử Ti và O (hình 1.1) tiến lại gần nhau để tạo nên tinh thể, do tương tác mà giữa chúng có sự phân bố lại điện tử trong các nguyên tử. Quá trình phân bố lại điện tử thỏa mãn điều kiện bảo toàn điện tích trong toàn hệ và có xu hướng sao cho các nguyên tử có lớp vỏ ngoài cùng lấp đầy điện tử [1, 5, 19]. Khi tạo thành tinh thể, mỗi nguyên tử Ti cho hai nguyên tử O bốn điện tử và trở thành cation Ti 4+ và mỗi nguyên tử O nhận hai điện tử và trở thành anion O 2- . Anion O 2- (hình 1.1) khi đó có phân lớp 2p lấp đầy sáu điện tử. Vì vậy, trong tinh thể vùng 2p trở thành vùng đầy điện tử. Cation Ti 4+ không có điện tử nào ở phân lớp 4s nên khi tạo thành vùng 4s trong tinh thể thì vùng này không chứa điện tử nào. SVTH: Lê Anh Duy 7 MSSV: 0613065 Hình 1.1. Cấu hình điện tử biểu diễn theo vân đạo Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê Vũ Tuấn Hùng Khoảng cách giữa hai vùng 4s và 2p (hình 1.2) lớn hơn 3eV. Các chất mà các vùng cho phép lấp đầy hoàn toàn điện tử hoặc trống hoàn toàn ở nhiệt độ thấp hầu như là các chất không dẫn điện, đó là các chất điện môi hoặc các chất bán dẫn. Khi T = 0 (K), vùng năng lượng hóa trị trong bán dẫn cũng như trong điện môi đều bị điện tử chiếm hoàn toàn. Theo nguyên lý loại trừ Pauli, trên mỗi mức ở vùng này có hai điện tử chiếm. Vùng nằm trên vùng hóa trị hoàn toàn trống, không chứa một điện tử nào gọi là vùng dẫn. Vùng hóa trị và vùng dẫn cách nhau bởi vùng cấm. Khi T ≠ 0 (K), một số điện tử trong vùng hóa trị do chuyển động nhiệt và trao đổi năng lượng nên có thể nhận được năng lượng lớn hơn năng lượng vùng cấm và chuyển lên vùng dẫn. Do độ rộng vùng cấm của chất bán dẫn thường rất nhỏ so với độ rộng vùng cấm của chất điện môi nên độ dẫn điện của bán dẫn nhiều lần lớn hơn độ dẫn điện của điện môi [6]. Sự phân biệt giữa chất điện môi và chất bán dẫn hoàn toàn chỉ là quy ước và căn cứ vào độ rộng vùng cấm. Các chất có độ rộng vùng cấm nhỏ hơn 2.5 eV thường được xếp vào loại các chất bán dẫn [1]. Các chất có độ rộng vùng cấm 5 eV – 10 eV thường được xếp vào loại các chất điện môi [15]. Ứng với độ rộng vùng cấm lớn hơn 3 eV của SVTH: Lê Anh Duy 8 MSSV: 0613065 Hình 1.2. Cấu trúc vùng TiO 2 . Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê Vũ Tuấn Hùng màng TiO 2 , ta có thể xếp nó thuộc loại chất bán dẫn có độ rộng vùng cấm lớn và sử dụng lý thuyết bán dẫn để giải thích phần hấp thụ quang. Khi năng lượng photon ánh sáng chiếu tới màng TiO 2 lớn hơn hay bằng độ rộng vùng cấm của nó, chuyển mức cơ bản xảy ra và là chuyển mức xiên được phép. Mức Fermi trong tinh thể TiO 2 nằm chính giữa vùng cấm. Tinh thể TiO 2 (hình 1.3) bao gồm ba pha cấu trúc riêng là anatase, rutile và brookite. Mạng TiO 2 tuân theo kiểu mạng tinh thể của hợp chất hóa học ion AB 2 [1]. Trong đó, mỗi khối hình thoi trên bao gồm một nguyên tử Ti và 6 nguyên tử ôxy định trên các đỉnh của một bát diện. • n B = 2n A : số nguyên tử B gấp đôi A. • K AB = 2K BA : số nguyên tử B bao quanh A gấp đôi số nguyên tử A bao quanh B. Hình 1.3. Cấu trúc tinh thể rutile (a), anatase (b) và brookite (c) SVTH: Lê Anh Duy 9 MSSV: 0613065 (a) (b) (c) Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê Vũ Tuấn Hùng Một số tính chất chủ yếu của 3 dạng tinh thể chính của TiO 2 (anatase, rutile và brookite) Bảng 1.1. Thông số của ba dạng tinh thể chính của TiO 2 . Cấu trúc tinh thể Trật tự Nhóm không gian Hằng số mạng tinh thể a b c Rutile Hình tứ giác 14 4 2 4 / h D P mmm − 0.4584 _ 0.2953 Anatase Hình tứ giác 19 4 1 4 / h D I amd − 0.3733 _ 0.937 Brookite Hình hộp mặt thoi 15 2h D Pbca − 0.5436 0.9166 _ Mật độ (kg/m 3 ) Rutile 4240 Anatase 3830 Brookite 4170 Năng lượng vùng cấm(eV) Rutile 3.05 Anatase 3.26 Chiết suất n g n p Rutile 2.9467 2.6506 Anatase 2.5688 2.6584 Brookite 2.809 2.677 Trong 3 dạng tinh thể chính thì brookite có dạng thù hình trực thoi, được tạo thành màng mỏng chỉ ở điều kiện thủy nhiệt đặc biệt hay có mặt của một lượng natri xác định. Cấu trúc này có thể được tạo nên bằng phương pháp sol-gel trên đế thủy tinh kiềm. SVTH: Lê Anh Duy 10 MSSV: 0613065 [...]... âm v điện tử đến đế - Tăng công suất phún xạ v như v ̣y sẽ làm tăng năng lượng cho các hạt lên đế 2.2 Tạo Màng TiO2 Pha Tạp Vanadium Bằng Phương Pháp Đồng Phún Xạ Phản Ứng V nguyên tắc, để tạo được màng bằng phương pháp phún xạ mang v t liệu nào thì ta cần có bia đươc chế tạo từ v t liệu đó Tùy theo ý muốn mà bia có thể được chế tạo từ một loại v t liệu thuần khiết, v dụ Ti, Al, ZnO, Ag,…hay v t... CHẾ TẠO V PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC CỦA MÀNG 2.1 Phương Pháp Chế Tạo V t Liệu Quang Xúc Tác Trong V ng Ánh Sáng Tử Ngoại, TiO2 Việc nghiên cứu màng quang xúc tác TiO2 được thực hiện bằng nhiều phương pháp khác nhau như: sol gel, phún xạ magnetron, CVD (Chemical Vapor Deposition), bay hơi phản ứng, … Tuy nhiên, hiện nay hai phương pháp solgel v phún xạ magnetron được nhiều... tâm nghiên cứu nhằm pha t triển hướng ứng dụng trong thực tế Trong khóa luận này, chúng tôi sẽ chế tạo v t liệu quang xúc tác TiO 2 theo phương pháp phún xạ magnetron v ưu điểm của phương pháp này là không quá phức tạp, dễ triển khai trên diện rộng, đồng thời sau khi hoàn thành màng có độ bền cơ học cao v độ dày khá đồng đều 2.1.1 Hệ phún xạ magnetron DC [8] Hình 2.1 Hệ phún xạ magnetron SVTH:... là phương pháp tạo màng mới mà ta phải sử dụng nhiều hơn một hệ magnetron, mỗi hệ magnetron được nối v i một nguồn cấp thế độc lập nhau v ta phải sử dụng nhiều bia để thực hiện phún xạ đồng thời trên cùng một đế Mỗi bia tham gia trong hệ được chế tạo từ những v t liệu khác nhau tùy theo yêu cầu v tính chất v v t liệu của màng Trong luận v n này, chúng tôi tạo màng TiO2: V bằng phương pháp đồng phún. .. làm v t liệu chế tạo màng mỏng nano Một số ứng dụng thành công trong lãnh v c này như: pin mặt trời, cửa sổ hiển thị, màng cách nhiệt thông minh… Trong khóa luận này, chúng tôi sử dụng vanadium như là một chất pha tạp trong màng TiO2 nhằm nâng cao hiệu suất quang xúc tác của màng TiO2 1.4 Các Ứng Dụng Của V t Liệu Quang Xúc Tác TiO2 V TiO2 Pha Tạp [12,14] Các v t liệu được phủ TiO 2 được sử dụng v i... quang xúc tác nhờ TiO2, yêu cầu cần thiết là v t liệu sau khi được chế tạo phải hấp thụ tốt ánh sáng UV, một số các yếu tố khác cũng ảnh hưởng đến khả năng quang xúc tác của v ̣t liệu như: chất phụ gia, nhiệt độ, khối lượng xúc tác, … 1.2.4 Cải tiến hoạt tính quang xúc tác của v t liệu TiO2 Khả năng quang xúc tác của TiO2 đã được nghiên cứu rất nhiều v i những ứng dụng hứa hẹn trong thực tế V i... phún xạ từ hai bia: bia kim loại Ti v V, khí sử dụng là Ar pha O 2 Hai bia được đặt trên hai hệ magnetron riêng biệt bố trí như hình 2.7 Hình 2.7 Bố trí hệ đồng phún xạ SVTH: Lê Anh Duy 31 MSSV: 0613065 Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê V Tuấn Hùng 2.2.1 Ưu điểm của phương pháp đồng phún xạ phản ứng - Mở rộng khả năng tạo màng v phương diện v t liệu: đối v i những bia có v t liệu không đồng nhất, ta v n... v i nhau v cùng tồn tại trong một khối v t chất Chẳng hạn ta muốn chế tạo bia TiO 2 pha tạp ZnO hay SnO2 thì tương đối là dễ dàng, xác suất thành công rất cao, nhưng đối v i TiO 2 pha tạp vanadium là v cùng khó khăn Như v y, ta có thể thấy rằng việc chế tạo bia phún xạ TiO 2 pha tạp là có giới hạn Để khắc phục khó khăn, các nhà khoa học trên thế giới đã mở rộng thêm phương pháp đồng phún xạ phản ứng... loại vi khuẩn, virus, nấm Đầu tiên nó phá hủy màng tế bào của vi khuẩn, làm cho tế bào chất v ra v cuối cùng thì vi khuẩn bị giết v bị phân hủy (hình 1.17) Nhìn chung, v ̣t liệu TiO 2 có khả năng tẩy uế vi khuẩn mạnh gấp ba lần so v ́i chlorination v mạnh gấp 1.5 lần so v ́i ôzôn SVTH: Lê Anh Duy 24 MSSV: 0613065 Khóa Luận Tốt nghiệp CBHD: Lê V Tuấn Hùng CHƯƠNG II PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO V PHƯƠNG... gia tốc để đi v o v ng ion hóa theo hướng trực giao v i nó • V ng ion hóa (v ng II) có điện trường rất bé Trong v ng này, điện tử va chạm v i các phân tử khí, ion hóa chất khí, v mất năng lượng Các ion sinh ra do quá trình ion hóa sẽ được gia tốc trong v ng sụt thế catốt v thực hiện chức năng phún xạ • V ng plasma (v ng III): điện trường trong v ng này cũng rất bé Phương pháp phún xạ magnetron phẳng . cân bằng [2] 30 2.2. Tạo Màng TiO2 Pha Tạp Vanadium Bằng Phương Pháp Đồng Phún Xạ Phản Ứng 30 2.2.1. Ưu điểm của phương pháp đồng phún xạ phản ứng 32 2.2.2. Hạn chế của phương pháp đồng phún xạ. 25 PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO V PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC CỦA MÀNG 25 2.1. Phương Pháp Chế Tạo V t Liệu Quang Xúc Tác Trong V ng Ánh Sáng Tử Ngoại, TiO2 25 2.1.1. Hệ phún xạ magnetron. là sẽ pha tạp ion V vào màng TiO 2 để nhằm nâng cao tính năng v hiệu xuất quang xúc tác của màng, chúng tôi sử dụng phương pháp đồng phún xạ Magnetron DC không cân bằng, v hệ này v a gia tăng