... hình ống, dó đó tạo ra điện trở Vật lý và kỹ thuật màng mỏng 1Vật lý và kỹ thuật màng mỏng150Hình 6.5. Sơ đồ các cấu hình súng điện tửloại, được đặt vào chính giữa vòng catôt. Bốc bay xảy ... bột tương ứng với độ sạch không d ưới 99,9% và độ xốp thấp. Bềdày của chén vào khoảng 1-3 mm, vì thế cần phải sử dụng loại vật liệu có độ Vật lý và kỹ thuật màng mỏng 143khí gây phản ứng hóa ... Vật lý và kỹ thuật màng mỏng144Hình 6.3. Thuyền tantan và cấu tạo nguồn đốt sử dụng chénlà kim loại khó nóng chảy, đựng trong thuyền tantan và độ bức xạ nhiệt lớn h ơn,...