Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng phương pháp phún xạ magnetron DC, khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p
Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng PP phún xạ magnetron DC, kh.sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p
... ti p tục thực chế tạo màng ZnO: (In,N) bán bẫn loại p phương ph p phún xạ magnetron DC Khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán ... 3: PHƯƠNG PH P PHÚN XẠ MAGNETRON DC Có nhiều phương ph p tạo màng mỏng đế rắn, phương ph p có ưu điểm nhược điểm riêng Tuy nhiên, chia chúng làm hai nhóm phương ph p là: Các phương ph p tạo màng ... ….) phương ph p tạo màng vật lý (bay hơi, phún xạ xung laser ….) Trong nhóm phương ph p tạo màng vật lý phương ph p phún xạ magnetron DC RF hai phương ph p nhà khoa học sử dụng phổ biến phòng...
- 106
- 1,690
- 1
nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron
... Sản phẩm sau nung có dạng đĩa tròn đường kính tất bia x p xỉ 7,7cm phù h p làm bia trình phún xạ magnetron tạo màng Chế tạo màng ZnO pha t p N từ bia gốm Màng ZnO pha t p N chế tạo phương ph p phún ... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương ph p phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương ph p nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng tinh thể ZnO: N ... N2, N2O Trong N N2O dùng nguồn pha t p N Các điều kiện phún xạ tạo màng p suất buồng p suất p suất phún xạ Khí phún xạ Đế phủ Khoảng cách phún xạ Công suất phún xạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr...
- 7
- 1,834
- 20
Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng
... tính chất quang học màng tốt Trong khóa luận này, thực chế tạo màng ZnO: Sn đế thủy tinh phương pháp phún xạ magnetron DC Qua khảo sát yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện tính chất quang ... 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO Để thuận tiện việc so sánh kết quả, chế tạo hai loại bia gốm ZnO không pha tạp ZnO pha tạp Sn ... Hùng CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC .42 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO 42 3.2 Hệ tạo màng trình phún xạ .48 3.3 Các bước chuẩn bị trước phún...
- 72
- 1,563
- 0
NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC
... VẬT LIỆU ZnO VẬT LIỆU ZnO PHA TẠP LOẠI P CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In, N) KẾT LUẬN Ứng dụng vật liệu bán dẫn ZnO p-n LED Trong suốt OLED Màng mỏng dẫn điện suốt Cảm biến khí Màng bán dẫn pha tạp loại ... NHIỆT ĐỘ ĐẾ Tính chất điện màng ZnO: (In, N): 1.8.102 Tạp In %wt Ảnh hưởng tỷ lệ tạp In lên tính chất điện màng ZnO: (In, N) ẢNH HƯỞNG NỒNG ĐỘ TẠP In Tính chất quang màng ZnO: (In, N) Sự dịch chuyển ... CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In ,N) 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO: In Chu trình nhiệt độ trình dung kết CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In ,N) 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO: In Bia gốm trước phún xạ Bia...
- 52
- 1,363
- 0
Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc
... diện tích mặt lớn Màng tạo dòng phún xạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà xử lý ủ nhiệt Giải pháp tăng dòng phún xạ kinh tế hiệu quả, ứng dụng công nghệ phủ màng quang xúc tác Trang 48 Bản quyền ... việc tăng dòng phún xạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa công nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phún xạ magnetron sử dụng rộng rãi, nhiệt độ tạo màng thấp phù ... Vol 11, No.10 - 2008 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 12 Hình 11 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 14 Hình 13 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 15 Hình 16 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 17 Trang 46 Hình...
- 8
- 603
- 0
Tiến Sĩ Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron dc
... hệ số tắt lớp tương ứng với ứng dụng màng gương nóng truyền qua 1.6 Phương pháp nghiên cứu 1.6.1 Phương pháp phún xạ 1.6.1.1 Nguyên lý trình lắng đọng phún xạ Sự bứt nguyên tử điện tử từ bề mặt ... tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phương pháp phún xạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phún xạ [52] Truyền qua vùng ... 3 Qua tất sở lý luận trên, mục đích đặt luận án gồm công việc sau: Nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện suốt ZnO pha tạp nhôm (AZO) Nghiên cứu tính chất quang điện màng TiN Nghiên cứu tính chất quang...
- 60
- 666
- 1
THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ - BÀI 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC
... THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ BÀI 1: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC I TÓM TẮT LÝ THUYẾT: I .1 Định nghĩa tượng phún xạ: Phún xạ tượng nguyên tử bề ... Hình 1. 1: Sơ đồ mô tả trình phún xạ I.2 Phương pháp phún xạ magnetron DC: I.2 .1 Hệ magnetron phẳng: HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ (Hình 1. 2) Bộ phận hệ phún xạ magnetron ... khí Ar oxi, tới va chạm với bia phún xạ III .10 không? Ưu điểm phương pháp phún xạ so với bốc bay chân HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ Hạt vật liệu bay từ bia có...
- 11
- 501
- 0
PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY VÀ PHÚN XẠ - Bài 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC
... dày phương pháp tốc độ bay bốc khó điều khiển Đồng thời, việc chế tạo màng đa lớp khó khăn với phương pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không ... Ít tốn nguyên liệu phún xạ ta điều chỉnh dòng phún xạ Bài 2: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG I LÝ THUYẾT: Định nghĩa: Bốc bay chân không phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý ... độ dày màng mỏng phún xạ ( nêu rõ ảnh hưởng nào? ) Trả lời: - Độ dày màng mỏng phún xạ liện quan đến hiệu suất trình phún xạ - Hiệu suất trình phún xạ = NA/Ni Với: NA tổng nguyên tử phún xạ Ni...
- 15
- 2,361
- 2
Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của sự pha tạp Ga lên tính chất điện của màng ZnO tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron docx
... khảo ảnh hưởng nhiệt độ đế nhiệt độ ủ màng lên tính chất điện phụ thuộc nhiều vào phương pháp tạo màng chế dẫn điện màng Chúng tơi tạo màng ZnO -Ga có điều kiện tạo màng khác nhiệt độ ủ màng là: ... KẾT LUẬN Màng ZnO -Ga tạo phương pháp phún xạ magnetron có điện trở suất khoảng 4-5 x 10-4 Ωcm , độ truyền qua trung bình vùng khả kiến T ~ 85% Màng cho tính chất quang điện tốt phún xạ nhiệt ... cao) Tính chất điện cấu trúc màng gần khơng phụ thuộc vào nhiệt độ xử lý Cơ chế dẫn điện màng chủ yếu hạt tải tự sinh pha tạp donor hình thành lỗ trống oxy Màng ZnO -Ga dẫn điện chủ yếu tạp chất donor,...
- 5
- 415
- 0
Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx
... sát giản đồ XRD để xét ảnh hưởng nhiệt độ đế lắng đọng màng lên cấu trúc màng Trên hình giản đồ XRD mẫu bột SnO2 mẫu màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ đế khác với thơng số tạo màng cho bảng Kết phù ... 4.KẾT LUẬN Cơng trình chế tạo thành cơng màng dẫn điện suốt SnO2:Sb phương pháp phún xạ magnetron phản ứng kết hợp với q trình cấp nhiệt cho đế Màng có trạng thái kết tinh tốt Độ truyền qua cực đại ... qua màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ khác (1) Trang 17 Science & Technology Development, Vol 12, No.17 - 2009 Bảng Các thơng số quang học màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ khác Nhiệt độ đế (0C) Độ dày...
- 6
- 802
- 1
Quang phổ Laser - Màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất hiếm chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron
... thấp, dẫn điện tốt Phương pháp chế tạo - Phún xạ magnetron - Lắng đọng pha hoá học hữu kim loại (MOCVD) - Lắng đọng laser xung (PLD) Các ứng dụng Màng mỏng ZnO pha tạp Al In sử dụng điện cực ... thiệu màng ZnO pha tạp Nguyên tố pha tạp - Nhóm III: B, Al, Ga hay In - Nhóm IV: Si, Ge, Ti, Zr hay Hf - Halogen: F Tính chất - Trong suốt, độ truyền qua cao - Điện trở suất thấp, dẫn điện tốt Phương ... phát quang (EL) diod phát quang hữu Màng ZnO pha tạp Al, Ga hay B với bề mặt thô ráp dùng làm điện cực suốt cho pin mặt trời α-Si CuInSe2 Người ta cho màng mỏng ZnO pha tạp Al Ga tốt cho màng...
- 9
- 299
- 0
Tóm tắt luận án tiến sĩ tổng hợp và khảo sát đặc tính điện hoá của vật liệu oxit mangan có chứa kim loại chuyển tiếp fe, co, ni định hướng ứng dụng trong siêu tụ
... thời gian điện phân giờ) - Nhiệt độ xử lý mẫu sau Vật liệu điện phân: sấy 100oC oxit mangan chứa Phương pháp sol-gel Fe, Co, Ni - Thành phần Fe, Co, Ni - Điều kiện tổng hợp dung ... Mn1-xMexOz z 3.6 Kế mạ (Fe, Co, Ni) Mẫu o it 100% Mn 10% Fe 20% Fe Mn1-xFexOz 30% Fe 40% Fe 10% Co 20% Co Mn1-xCoxOz 30% Co 40% Co 10% Ni 20% Ni Mn1-xNixOz 30% Ni 40% Ni y r CPE1 (μF 45,03 47,18 ... Me (Fe Co, ) ủ ổ ộ ế ố ú ủ ế ố ế ố 3.53 ế Yếu tố đầ u vào Yếu tố đầu Phương pháp điê ̣n hoá Đặc trưng cấu trúc - Thành phần Fe, Co, Ni - Hình thái bề mặt - Điều kiện điện...
- 24
- 407
- 0
Quang phổ Laser - Dùng phổ Raman và phổ phát quang nghiên cứu ảnh hưởng của tỉ lệ khí oxy và sự ủ nhiệt đối với màng TiO2 chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng
... Quang phổ Laser MỤC ĐÍCH: Nghiên cứu ảnh hưởng tỉ lệ dòng oxy đưa vào hệ phún xạ việc chế tạo màng Nghiên cứu ảnh hưởng nhiệt độ ủ trình hình thành cấu trúc màng Quang phổ Laser GiỚI THIỆU: Chế ... tạo màng TiOx phương pháp phún xạ magneton trực tiếp nhiệt độ phòng với tỉ lệ dòng oxy đưa vào khoảng 3-1 5% FO FO % = × 100% ( FO2 + FAr ) Sau đem ủ nhiệt 35 0-7 50oC Dùng phổ nhiễu xạ tia X, quang ... quang phát quang phổ Raman để nghiên cứu tính chất màng Quang phổ Laser THÍ NGHIỆM: Dùng đế p-Si(100), làm H2SO4 H2O Target Ti tinh khiết 99.99%, đường kính 2in áp vào nguồn DC 100W Đế áp điện -1 50V...
- 16
- 379
- 0
Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx
... Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường ... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng 01) Bảng 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp ... 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp tạo màng khác [26 ] Phương pháp Chiết suất 550 nm Phương pháp Chiết suất 550 nm Bốc bay 1.5 Phún xạ phản ứng 1.68 Phún xạ chùm ion 1.65 Hai chùm tia ion 1.62...
- 11
- 791
- 0
Từ khóa: nghiên cứu chế tạo vật liệu từ cứng nanô tinh thể dị hướng bằng phương pháp nguội nhanhhình 2 1 mô hình hiệu chỉnh các yếu tố ảnh hưởng đến giá trị cảm nhận của nhà bán lẻ đối với chất lượng dịch vụ của nhà phân phối tuấn việt trên địa bàn thành phố huếcác nhân tố ảnh hưởng đến việc cải thiện môi trường đầu tư tỉnh lâm đồngnhận diện các nhân tố ảnh hưởng đến cấu trúc vốn kiểm định tại thị trường việt namphân tích các nhân tố ảnh hưởng đến hành vi mua điện thoại của khách hàngphân tich các yếu tố ảnh hưởng đến động lực làm việc của nhân viêncác nhân tố ảnh hưởng đến tiêu thụ và xuất khẩu thịt lợnphân tích các nhân tố ảnh hưởng đến doanh thu của xí nghiệpphân tích các nhân tố ảnh hưởng đến doanh thu bán hàng amp ccdvphân tích các nhân tố định tính ảnh hưởng đến doanh thucác yếu tố ảnh hưởng đến tỷ giácác yếu tố ảnh hưởng đến việc xác định hỗn hợp truyền thông marketing3 18 biểu đồ thể hiện cơ cấu diện tích hiện trang đất đai năm định hướng đến năm 2020các nhân tố ảnh hưởng đến huy động trái phiếu c phủnhân tố ảnh hưởng đến lượng cầuđề thi thử THPTQG 2019 toán THPT chuyên thái bình lần 2 có lời giảiĐỒ ÁN NGHIÊN CỨU CÔNG NGHỆ KẾT NỐI VÔ TUYẾN CỰ LY XA, CÔNG SUẤT THẤP LPWANĐỒ ÁN NGHIÊN CỨU CÔNG NGHỆ KẾT NỐI VÔ TUYẾN CỰ LY XA, CÔNG SUẤT THẤP LPWANQuản lý hoạt động học tập của học sinh theo hướng phát triển kỹ năng học tập hợp tác tại các trường phổ thông dân tộc bán trú huyện ba chẽ, tỉnh quảng ninhPhát triển mạng lưới kinh doanh nước sạch tại công ty TNHH một thành viên kinh doanh nước sạch quảng ninhTrả hồ sơ điều tra bổ sung đối với các tội xâm phạm sở hữu có tính chất chiếm đoạt theo pháp luật Tố tụng hình sự Việt Nam từ thực tiễn thành phố Hồ Chí Minh (Luận văn thạc sĩ)Phát triển du lịch bền vững trên cơ sở bảo vệ môi trường tự nhiên vịnh hạ longPhát hiện xâm nhập dựa trên thuật toán k meansNghiên cứu, xây dựng phần mềm smartscan và ứng dụng trong bảo vệ mạng máy tính chuyên dùngĐịnh tội danh từ thực tiễn huyện Cần Giuộc, tỉnh Long An (Luận văn thạc sĩ)Tìm hiểu công cụ đánh giá hệ thống đảm bảo an toàn hệ thống thông tinSở hữu ruộng đất và kinh tế nông nghiệp châu ôn (lạng sơn) nửa đầu thế kỷ XIXBT Tieng anh 6 UNIT 2Giáo án Sinh học 11 bài 15: Tiêu hóa ở động vậtchuong 1 tong quan quan tri rui roGiáo án Sinh học 11 bài 14: Thực hành phát hiện hô hấp ở thực vậtGiáo án Sinh học 11 bài 14: Thực hành phát hiện hô hấp ở thực vậtBÀI HOÀN CHỈNH TỔNG QUAN VỀ MẠNG XÃ HỘIĐổi mới quản lý tài chính trong hoạt động khoa học xã hội trường hợp viện hàn lâm khoa học xã hội việt namQUẢN LÝ VÀ TÁI CHẾ NHỰA Ở HOA KỲ