... về độ nhạy và khả năng đo áp suất trong phạm vi khá rộng. Cảm biến áp suất cụ thể đầu tiên được chế tạo vào năm 1960, sau đó nhiều nhà nghiên cứu trên thế giới đã tập trung nghiên cứu trong ... Dũng (2003), Nghiên cứu chế tạo cảm biến trên cơ sở hiệu ứng áp trở, Luận án Tiến Sĩ Vật Lý, Trường Đại Học Bách Khoa, Hà Nội. [2] Chu Mạnh Hoàng (2007), Nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến ... Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) Nguyễn Hữu...