... mặt nạ Hình 1.1: Các bước để chế tạo vi mạch Chế tạo vật liệu nano • Vật liệu nano chế tạo hai phương pháp: • • Phương pháp từ xuống (top-down); tạo hạt kích thước nano từ hạt có kích thước lớn ... lên phương pháp vật lý, hóa học hoặc kết hợp hai phương pháp hóa-lý • Phần lớn vật liệu nano mà dùng chế tạo từ phương pháp Phương pháp từ lên (Vật lý) • Phương pháp tạo vật liệu nano từ nguyên ... khí (nhiệt phân, ) Phương pháp tạo hạt nano, dây nano, ống nano, màng nano, bột nano, Phương pháp từ lên (kết hợp) • Phương pháp tạo vật liệu nano dựa nguyên tắc vật lý hóa học như: điện phân, ngưng...