... vậy, việc áp dụng màng mỏng tinh thể nano ZnO cảm biến SAW với AlN /Si khả thi Do vậy, chọn đề tài: Nghiên cứu chế tạo ZnO dạng nano ứng dụng cho cảm biến nhạy khí kiểu sóng âm bề mặt Bản luận ... chất 47 2.1.2 Tạo mầm ZnO đế AlN/ Si 47 2.1.3 Mọc nano ZnO (ZnO nanorods) 51 2.2 Chế tạo cảm biến SAW 51 2.3 Khảo sát tính nhạy khí SAW 53 CHƯƠNG III KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 3.1 Kết chế tạo khảo sát ... kiện sóng âm bề mặt (SAW) loại cảm biến khí Một số ứng dụng quang điện tử ZnO so sánh với GaN Tuy nhiên, ZnO có số ưu điểm so với GaN, bán dẫn vùng cấm rộng Eg = 3,4 eV 300 K, sử dụng để tạo linh...