... 1.1 Plasma phóng ñi n sáng DC h phún x magnetron 1.1.1 Khái ni m v plasma 1.1.2 Phóng ñi n sáng DC 1.1.3 H phún x magnetron 1.2 Các bư c xây d ng h phún x magnetron ... o máy tính cho h phún x magnetron ngày hi n th c Trong lu n văn này, th c hi n hai module mô ph ng t trư ng mô ph ng plasma phóng ñi n khí argon h phún x magnetron ph ng tròn DC Module t trư ng ... sánh [29] Có th chia phương pháp thành hai l p: phương pháp l p phương pháp tr c ti p Phương pháp nhanh nh t s chúng, mà có th áp d ng cho mô hình c a chúng tôi, phương pháp tr c ti p gi n lư...