... HV: Đinh Cơng Trường Chương CHẾ TẠO MÀNG TiO2:N 4.1 CHẾ TẠO HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON KHƠNG CÂN BẰNG ĐỂ TẠO MÀNG VÀ HỆ ĐO QUANG XÚC TÁC 4.1.1 HỆ TẠO MÀNG TiO2:N Màng TiO2 tạo hệ chân không B302(hình ... 1.1.2 Cơ chế quang xúc tác Chất xúc tác quang chất làm tăng tốc độ phản ứng quang hố Khi chiếu ánh sáng với cường độ thích hợp chất xúc tác quang đẩy nhanh tốc độ phản ứng quang hố cách tương tác ... tạp lớn màng chế tạo màng TiO2:N phương pháp phún xạ magnetron Mặc dù, theo [5,7,13], tác giả cho có phương pháp IBAD, PLD cho lượng pha tạp lớn Ngồi ra, giải thích phương pháp phún xạ magnetron...