... trúc ZnO 1.4.1 Tính chất điện quang màng ZnO pha tạp Tùy vào vật liệu pha tạp vào ZnO mà tính chất điện quang màng ZnO pha tạp khác ZnO pha tạp nhóm kim loại IA (Li, Na…) thành bán dẫn loại p pha ... chế tạo màng suốt dẫn điện ZnO pha tạp V phương pháp đồng phún xạ magnetron DC từ hai bia ZnO bia kim loại V Để đánh giá xác tính chất quang điện, cấu trúc, độ mấp mô bề mặt màng thành phần pha ... hay màng dẫn điện suốt Riêng đề tài khóa luận mà nghiên cứu đây, tạo màng dẫn điện suốt ZnO pha tạp V Hình 1.9 Các trạng thái oxi hóa V từ trái sáng phải +2, +3, +4 +5 1.4 Vật liệu ZnO pha tạp ZnO...