... môn học “Nhập môn vi điện tử ” Thiết kế hệ thống vi điện tử ”, Bộ Môn Cơ Sở Thiết Kế Máy Và Robot, Vi n Cơ Khí, Đại học Bách Khoa Hà Nội Nguyễn Tuấn Khoa, Slide “Tính toán hệ dẫn động MEMS” ... nghiệp Hệ thống vi điện tử (Micro ElectroMechanical Systems) vi t tắt MEMS đời phát triển giai đoạn Hệ thống vi điện tử -MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) hệ thống tích hợp phần tử khí, ... gồm cấu trúc vi cơ, vi sensor, vi chấp hành vi điện tử tích hợp chip (on chip) Các linh kiện MEMS thường cấu tạo từ silic Một thiết bị MEMS thông thường hệ thống vi tích hợp chip mà kết hợp phần...