. góc Nhiêt Nhiệt Áp điện Tĩnh điện Hợp kim Thiết kế hệ thống vi cơ điện tử GVHD: PGS.TS Phạm Hồng Phúc 5 Nhóm 3 - KT Cơ điện tử - K56 Công nghệ vi cơ đã và đang tiến xa hơn. Chương II : Tính toán thiết kế 16 1. Nguyên lý hoạt động 16 2. Tính toán vi động cơ 16 Thiết kế hệ thống vi cơ điện tử GVHD: PGS.TS Phạm Hồng Phúc 2 Nhóm 3 - KT Cơ điện tử - K56 ChươngIII:. hóa-sinh hoàn chỉnh siêu nhỏ như hệ phân tích DNA. Thiết kế hệ thống vi cơ điện tử GVHD: PGS.TS Phạm Hồng Phúc 8 Nhóm 3 - KT Cơ điện tử - K56 + 2007: Hệ thống vi vận chuyển (Microtransportation)