... đợc xác định nhờ khống chế thời gian ăn mòn và đợc lựa chọn là 45 àm với độ chính xác đạt tới 2 àm. 4. Khảo sát các đặc trng của cảm biến Để xác định đáp tuyến của cảm biến theo lực ... Hà nội 2 Tóm tắt Các cảm biến đo lực kích thớc nhỏ chế tạo bằng công nghệ vi cơ đã đợc thiết kế và chế tạo lần đầu tiên tại Việt nam bởi nhóm MEMS tại Trung tâm ITIMS. Cấu trúc cảm biến ... điện lối ra. Trong bài báo này chúng tôi trình bày sơ đồ nguyên lý, qui trình chế tạo, và các khảo sát đặc trng của cảm biến. Fabrication and characterization of michromachined force sensors...