... trúc đa tinh thể anatase với diện tích mặt lớn Màngtạo dòng phúnxạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà xử lý ủ nhiệt Giải pháp tăng dòng phúnxạ kinh tế hiệu quả, ứng dụng công nghệ phủ màng quang ... phủ màng dính bẩn vòi nước chảy liên tục 10 phút, kính bẩn Trong đó, kính phủ màng dính bẩn tự làm vòi nước chảy KẾT LUẬN Thực nghiệm cho thấy màng TiO2 chế tạo kỹ thuật phúnxạ phản ứng DCmagnetron ... việc tăng dòng phúnxạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa công nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phúnxạmagnetron sử dụng rộng rãi, nhiệt độ tạomàng thấp phù...
... dòng oxy đưa vào hệ phúnxạ việc chế tạomàng Nghiên cứu ảnh hưởng nhiệt độ ủ trình hình thành cấu trúc màng Quang phổ Laser GiỚI THIỆU: Chế tạomàng TiOx phươngphápphúnxạ magneton trực tiếp ... 2.7*10-4 Pa Thời gian phúnxạ 40 phút Độ dày màng từ 50-200nm Quang phổ Laser ĐO TÍNH CHẤT MÀNG: Cấu trúc màng, thông tin phase (anatase hay rutile) đo quang phổ kế tia X sử dụng xạ Cu Kα (0.1542nm) ... nhiễu xạ tia X, quang phát quang phổ Raman để nghiên cứu tính chất màng Quang phổ Laser THÍ NGHIỆM: Dùng đế p-Si(100), làm H2SO4 H2O Target Ti tinh khiết 99.99%, đường kính 2in áp vào nguồn DC 100W...
... nén phá hỏng màng Các thơng số tạomàngphươngphápphúnxạmagnetron phản ứng cơng trình trình bày bảng 60 400 600 800 Bước sóng (nm) 1000 Hình Phổ truyền qua màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ ... phẩm màng ứng dụng để làm màng điện cực suốt cho thí nghiệm chế tạo linh kiện điện sắc, pin mặt trời 4.KẾT LUẬN Cơng trình chế tạo thành cơng màng dẫn điện suốt SnO2:Sb phươngphápphúnxạmagnetron ... thấy màng lắng đọng nhiệt độ đế cao đỉnh nhiễu xạ bị dịch phía có góc nhiễu xạ nhỏ Điều giải thích màng có ứng suất nén [7] Ứng suất bao gồm ứng suất nội sai hỏng màng - lắng đọng phươngpháp phún...
... ủ màng lên tính chất điện phụ thuộc nhiều vào phươngpháptạomàng chế dẫn điện màng Chúng tơi tạomàng ZnO-Ga có điều kiện tạomàng khác nhiệt độ ủ màng là: nhiệt độ phòng, 300oC chân khơng màng ... KẾT LUẬN Màng ZnO-Ga tạophươngphápphúnxạmagnetron có điện trở suất khoảng 4-5 x 10-4 Ωcm , độ truyền qua trung bình vùng khả kiến T ~ 85% Màng cho tính chất quang điện tốt phúnxạ nhiệt ... [2] cho thấy màng có điện trở suất (~ 4.6 x 10-4 Ωcm) cường độ đỉnh (002) tương đương (chứng tỏ hạt ngưng tụ phươngphápphúnxạmagnetron có lượng cao) Tính chất điện cấu trúc màng gần khơng...
... hay gây phúnxạ 1.6.1.2 Quá trình lắng đọng màngphươngphápphúnxạPhươngpháp ảnh hưởng đến thông số trình gây plasma, mối liên hệ chúng lên tính chất màng lắng đọng Quá trình phúnxạ trình ... thức lớn, tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phươngphápphúnxạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phúnxạ [52] Truyền ... mạng tác nhân tán xạ điện tử hiệu dụng chúng liên kết với mạngTiN Poitevin cộng [143] tạomàngTiN có điện trở suất cao cỡ 104 μΩ.cm, màng chứa tạp oxy Trong phươngpháp chế tạo, oxy bị loại...
... 3: PHƯƠNGPHÁPPHÚNXẠMAGNETRONDC Có nhiều phươngpháptạomàng mỏng đế rắn, phươngpháp có ưu điểm nhược điểm riêng Tuy nhiên, chia chúng làm hai nhóm phươngpháp là: Các phươngpháptạomàng ... học (CVD, sol-gel ….) phươngpháptạomàng vật lý (bay hơi, phúnxạ xung laser ….) Trong nhóm phươngpháptạomàng vật lý phươngphápphúnxạmagnetronDC RF hai phươngpháp nhà khoa học sử dụng ... điểm phươngphápphúnxạmagnetron phẳng Phươngphápphúnxạmagnetron có ưu điểm như: nhiệt độ đế thấp, tạomàng nhiệt độ phòng, độ bám dính màng đế tốt, vận tốc phủ màng cao, đồng cao độ dày màng, ...
... chất chất pha tạp, nên phươngpháptạomàng với thông số riêng cho màng tính chất khác Trong nhóm phươngpháptạomàng vật lý phươngphápphúnxạmagnetronDC RF hai phươngpháp nhà khoa học sử ... màng mỏng chung Việt Nam giới Màng ZnO chế tạo nhiều phươngpháp khác nhau, phươngpháp phổ biến nước ta phươngphápphúnxạmagnetronDC RF Đây phươngpháp giúp nhà khoa học nghiên cứu chế tạo ... PHA TẠP Sn BẰNGPHƯƠNGPHÁPPHÚNXẠMAGNETRONDC .42 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO 42 3.2 Hệ tạomàng trình phúnxạ .48 3.3 Các bước chuẩn bị trước phúnxạtạomàng ...
... gốm sau phúnxạ CHƯƠNG 3: CHẾ TẠOMÀNG ZnO:(In, N) 3.2 Hệ phúnxạtạomàng Sử dụng hệ magnetron không cân bằng: - Tăng thông lượng ion điện tử đến đế - Tăng lượng hạt đến đế Cấu tạo hệ magnetron ... 3: CHẾ TẠOMÀNG ZnO:(In,N) Quy trình chế tạomạng ZnO:(In, N) Chế tạo bia gốm ZnO ZnO:In Chọn hệ phúnxạ Xử lý đế Bố trí bia đế Ảnh hưởng N2/(N2 + Ar) Ảnh hưởng nhiệt độ đế Phúnxạtạomàng Ảnh ... Dương Ái Phương, Lê Văn Hiếu, Dương Anh Quan, Lê Vũ Tuấn Hùng, “ Ảnh hưởng nồng độ pha tạp indium lên tính chất điện quang màng ZnO:(In, N) loại p chế tạophươngphápphúnxạmagnetronDC , Hội...
... chế tạomàng đa lớp khó khăn với phươngphápPhươngphápphún xạ: Hình - Quá trình phúnxạ Cơ chế phươngphápphún xạ: Phúnxạ không làm cho vật liệu bị bay đốt nóng mà thực chất trình phúnxạ ... ngắn gọn) số phươngpháptạomàng lắng đọng vật lý (PVD) Trả lời: Kỹ thuật tạomàngphươngpháp PVD phân thành nhiều hướng sau, chủ yếu xuất phát từ phươngpháp bay phươngphápphúnxạ Bay chân ... Ít tốn nguyên liệu phúnxạ ta điều chỉnh dòng phúnxạ Bài 2: TẠOMÀNGBẰNGPHƯƠNGPHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG I LÝ THUYẾT: Định nghĩa: Bốc bay chân không phươngpháptạomàng lắng đọng vật lý...
... THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ BÀI 1: TẠOMÀNGBẰNGPHƯƠNGPHÁPPHÚNXẠMAGNETRONDC I TÓM TẮT LÝ THUYẾT: I.1 Định nghĩa tượng phún xạ: Phúnxạ tượng nguyên tử bề mặt vật liệu bị bứt bị ... mô tả trình phúnxạ I.2 Phươngphápphúnxạmagnetron DC: I.2.1 Hệ magnetron phẳng: HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ (Hình 1.2) Bộ phận hệ phúnxạmagnetron phẳng ... ảnh hưởng đến độ dày màng mỏng phún xạ? Nói đến độ dày màng mỏng phúnxạ tức xem xét hiệu suất trình phúnxạ Theo định nghĩa ta có, hiệu suất trình phúnxạ tổng nguyên tử phúnxạ tổng ion tới Các...
... ZnO để tạomàng suốt dẫn điện Thí nghiệm •Dùng phươngphápphúnxạmagnetronDC –Bia (đường kính 150mm): hỗn hợp bột ZnO Sc2O3 (hoặc Y2O3), nung nhiệt độ 10500C môi trường Ar+H2 Phúnxạ môi ... chất màng: –Độ dày màng đo phươngpháp Stylus –Điện trở suất độ linh động Hall đo nhiệt độ phòng phươngpháp Van der Pauw –Thành phần cấu tạomàng đo phổ tán xạ lượng tia X (EDS) –Cấu trúc tinh ... trở suất thấp, dẫn điện tốt Phươngpháp chế tạo - Phúnxạmagnetron - Lắng đọng pha hoá học hữu kim loại (MOCVD) - Lắng đọng laser xung (PLD) Các ứng dụng Màng mỏng ZnO pha tạp Al In sử dụng...
... thức lớn, tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phươngphápphúnxạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phúnxạ [52] Truyền ... lắng đọng phúnxạ 52 1.6.1.2 Quá trình lắng đọng màngphươngphápphúnxạ 54 1.6.1.3 Phúnxạ phản ứng 57 1.6.2 Thiết kế hệ magnetron 57 1.6.2.1 Hệ magnetron vuông ... MINH TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN [\ LÊ TRẤN NGHIÊN CỨU CHẾ TẠOMÀNG GƯƠNG NÓNG TRUYỀN QUA BẰNGPHƯƠNGPHÁPPHÚNXẠMAGNETRONDC CHUYÊN NGÀNH: QUANG HỌC MÃ SỐ: 1.02.18 LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ...
... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạophươngphápphúnxạmagnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phươngpháp nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng tinh thể ... N N2O dùng nguồn pha tạp N Các điều kiện phúnxạtạomàng Áp suất buồng Áp suất Áp suất phúnxạ Khí phúnxạ Đế phủ Khoảng cách phúnxạ Công suất phúnxạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr 1,5.10-5 ... pha tạp N từ bia gốm Màng ZnO pha tạp N chế tạophươngphápphún x magnetron phản ứng RF đế thủy tinh corning 7059 Các bia ZnO, AZN, GZN đư ợc dùng làm bia phúnxạ Và khí phúnxạ khí hay hỗn hợp...
... bột I.2 Các phươngpháp chế tạo mẫu màng Chế tạomàngphươngphápphun tĩnh điện (phương phápphun bụi dung dịch) 21 Khóa luận tốt nghiệp Nguyên liệu ban đầu tạo dạng dung dịch phươngpháp sol - ... cường độ phát xạ xanh có khả kết sai hỏng mạng, hay lỗ khuyết oxi Chương II : Các phươngpháp chế tạo khảo sát mẫu I Các phươngpháp chế tạo mẫu I.1 phươngpháp chế tạo mẫu bột Phươngpháp phản ... màngphươngphápphun tĩnh điện Phươngpháptạo sol: Những năm gần phươngpháp sol-gel ý nhiều số ưu điểm bật : phươngpháp đơn giản không cần phải dùng tới máy móc đại tạo mẫu tốt Phương pháp...
... No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạomàng mỏng Al2O3 phươngphápphúnxạmagnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màngphúnxạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường hỗn hợp ... suất màng mỏng thực với phươngpháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phươngpháp FCVA Technique Bulk (bảng 01) Bảng 1.Chiết suất màng Al2O3 với phươngpháp ... 1.Chiết suất màng Al2O3 với phươngpháptạomàng khác [26 ] Phươngpháp Chiết suất 550 nm Phươngpháp Chiết suất 550 nm Bốc bay 1.5 Phúnxạ phản ứng 1.68 Phúnxạ chùm ion 1.65 Hai chùm tia ion 1.62...
... LUẬN Màngtạophươngphápphúnxạmagnetron rf suốt, có độ truyền qua cao khoảng 90% Chiết suất màng cao khoảng 2.48 chiết suất cao màngtạophươngphápphúnxạdc Cấu trúc màng phần lớn đa tinh ... dc, ta nhận thấy màngtạophươngphápdc tồn dạng vô định nhiều Rms thấp Hình 7.Ảnh AFM màng TiO2 : a/ tạophươngphápphúnxạdc – nhiệt độ đế 2700C; b/ tạp phươngphápphúnxạ rf – nhiệt độ ... Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phươngphápphúnxạmagnetron rf (1) phúnxạmagnetrondc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương đương...
... Chương II: Các phươngpháp chế tạomàng bán dẫn Z n O .19 2.1- Phươngphápphúnxạ catốt 19 2.1.1- Cấu tạo 19 2.1.2- Hoạt động 19 2.13- Phươngpháp sol- gel ... Các phươngpháp thực nghiệm: Chê tạo m ẫu: M àng m ỏng Z nO pha tạp AI M n ch ế tạo từ phươngphápphúnxạ R.F M agnetron từ bia gốm ZnO :A l ZnO :M n Bia gốm Z n O :M n ZnO: AI c h ế tạophương ... thủy tinh bàngphươngphápphúnxạ r.i’ m an h êtrô n bia ZnO :A l (hàm lượng A120 wt.%) Các phép nhiễu xạ tia X cho thấy, lất ca m àng nhận kì đa tinh thể với cấu trúc lục giác định hướng theo phương...
... Tổng quan Màng ITO Phươngphápphúnxạmagnetron Thực nghiệm Các bước tạomàng Các phươngpháp xác định tính chất màng Kết Khoảng cách bia đế Công suất phúnxạ Nhiệt độ đế Độ dày màng Khí oxi ... khác dễ dàng phúnxạ Phươngpháp có chi phí không cao Có khả phủ màng diện tích rộng Page Phúnxạ Magetron Page Thực nghiệm Page Một số đặc điểm trình tạomàng Hệ tạomàng mỏng Univex ... truyền qua quang học màng ITO 80% vùng 0.4 - 0.7 µm Độ phản xạ 90% bước sóng lớn µm Page 29 Tài liệu tham khảo Trần Cao Vinh (2008), Tạomàng dẫn điện suốt phươngphápphúnxạ Magnetron, Luận án...
... bắn vào bia tạo nên phúnxạ vật liệu Mô tả hoạt động hệ phúnxạmagnetron xem chi tiết tài liệu tham khảo [102], [108] 2.1.2 Phươngphápphúnxạmagnetron phẳng dc rf Nguồn phúnxạmagnetron phẳng ... (IC), màng cứng (TiN) , nghiên cứu phươngpháp tiếp tục, đặc biệt lĩnh vực phủ màng mỏng bán dẫn Nguyên tắc hoạt động phúnxạmagnetron Penning đưa năm 1936 [76] sở phươngpháp phủ màngphúnxạmagnetron ... 31 CHƯƠNG 2.1 THỰC NGHIỆM VÀ PHƯƠNGPHÁP NGHIÊN CỨU Phươngphápphúnxạmagnetron 2.1.1 Nguyên tắc hoạt động magnetron Có nhiều dạng cathode phúnxạmagnetron chế tạo cho ứng dụng cụ thể, cathode...
... nóng truyền qua phươngphápphúnxạmagnetronDC có diện tích màng lớn Báo cáo hội nghị vật lý toàn quốc lần [2] Chế tạomàng đa lớp WO3 / ITO đế thủy tinh phươngphápphúnxạmagnetron khảo sát ... Chế tạomàng mỏng tungsten oxyt phươngphápphúnxạmagnetron RF.Hội nghị Khoa học Trường ĐHKHTN tháng 10-2004 [5] Pin mặt trời màng mỏng (ZnO:Al)/ p-Si (111) tạophươngphápphúnxạmagnetronDC ... Al đế PET phươngphápphúnxạmagnetronDC Báo cáo hội nghị vật lý toàn quốc lần 5.3 Các báo cáo khoa học hội nghị, hội thảo KH: [1] Sử dụng phươngphápphúnxạmagnetronDC để chế tạo tế bào...