... bất lợi loại cảmbiến sai số lớn Hình 1.5 trình bày mặt cắt cảmbiếnápsuấtáp điện Hình 1.5: Mặt cắt cảmbiếnápsuấtáp điện [5] • Cảmbiếnápsuấtáp trở Cảmbiếnápsuất loại áp trở sản phẩm ... loại cảmbiến chế tạo phức tạp có giá thành cao Hình 1.4 trình bày mặt cắt cảmbiếnápsuất cộng hưởng Hình 1.4: Mặt cắt cảmbiếnápsuất cộng hưởng [4] • Cảmbiếnápsuấtáp điện Cảmbiếnápsuất ... vậy, cảmbiếnápsuất có giá trị thương mại to lớn Cảmbiếnápsuất phân thành bốn loại sau: (1) cảmbiếnápsuất kiểu tụ (capacitive), (2) cảmbiếnápsuất cộng hưởng, (3) cảmbiếnápsuất áp...
... cáo Lịch sử đo ápsuất Khái niệm nguyên lý hoặt động Phân loại cảmbiếnápsuất Ứng dụng cảmbiếnápsuất Giới thiệu số cảmbiến lưu ý lựa chọn cảmbiếnápsuất Lịch sử đo ápsuất Năm 1648, nhà ... 1.4305 Giới thiệu số cảmbiến lưu ý lựa chọn cảmbiếnápsuấtCảmbiếnápsuất Siemens Sitrans P 250 Là cảmbiến nhỏ gọn dùng để đo ápsuất vi sai Sự chênh lệch ápsuất phát với cảmbiến gốm sứ, sau ... vào ống, ápsuất tác dụng lên thành ống làm cho ống bị biến dạng đầu tự di chuyển Cần di động Ápsuất p Cảmbiếnápsuất dạng lò xo Cần di động Cần di động Ápsuất p Ápsuất p Cảmbiếnápsuất dạng...
... đại analog.(xem hình 3.5) Hình 3.5 Bộ lọc thông thấp low pass 3.1.3 Khối biến đổi DAC 3.1.3.1 Hoạt động DAC tính chất Hình 3.6 Ví dụ biến đổi DA bít Mục đích biến đổi DA, nêu, biến đổi tín hiệu ... lường xác, robotic, ) Nhiều cảmbiến thiết kế có lối điện áp nhỏ, việc để phát sai lệch đo điện áp khó khăn Do ý tưởng thiết kế hệ đo lường có độ nhạy cao cho cảmbiến quan trọng, ý tưởng hệ ... lần 3.1.3.5 Bộ biến đổi DAC sử dụng khóa luận Trong khóa luận, em sử dụng kiểu biến đổi DAC mạng R/2R bít ghép nối với vi xử lý Sơ đồ biến đổi trình bày Hình 3.10 Hình 3.10 Bộ biến đổi DAC bit...
... phép đo ápsuất vi sai không rõ ápsuất tuyệt đối hay calip, hai bên phép đo so sánh cách trực tiếp Giá trị đọc độ chênh lệch ápsuất không cho biết độ lớn cụ thể ápsuất bên Nếu ápsuất vi sai ... tuổi thọ cho cảmbiến Khi áp dụng cách, thu giá trị đọc mà không làm ảnh hưởng tới màng ngăn cảmbiến Màng ngăn (Diaphragm seal) – màng ngăn lắp phía cảmbiến để truyền ápsuất mà không cho lưu chất ... nhập vào cảmbiến Khi sử dụng, cảmbiến phải nạp đầy chất trơ, thường đầu silicon để truyền ápsuất toàn hệ thống Bộ bảo vệ áp (overpressure protector) – van lò xo tự đóng trường hợp ápsuất lớn...
... màng Các cạnh màng có định hướng {110} thuộc vào ápsuất Bằng cách đo điện lối ta đo độ lớn tương ứng ápsuất tác dụng lên màng Cảmbiếnápsuất loại cảmbiến thường dùng công nghiệp Trong y tế cảm ... chế tạo cảmbiếnápsuất vi điện tử 2.2 Chế tạo cảmbiếnápsuất vi điện tử Để chế tạo cảmbiếnápsuất ta sử dụng phiến silic loại n, bề dày 380µm, có định hướng bề mặt {100}, điện trở suất nằm ... 2 CẢMBIẾNÁPSUẤT VI CƠ ĐIỆN TỬ 2.1 Cấu hình nguyên lý hoạt động cảmbiếnápsuất Trên sở hiệu ứng áp trở vật liệu silicon, nhiều loại vi cảmbiến chấp hành phát triển...
... 105 Pa Ngoi 1atm bar 1bar=14,504psi atm = 14,696 psi 3.Phõn loi ỏp sut bar ápsuất tư ơng đối ápsuất tuyệt đối ápsuất khí p sut chõn khụng II.Phõn loi phng tin o ỏp sut: 1.Da theo dng ỏp sut...
... lớn ápsuất đường ống nạp đo xác độ cao thay đổi Một thay đổi ápsuất đường ống nạp làm cho hình dạng chip silic thay đổi, trị số điện trở chíp dao động theo mức biến dạng Tín hiệu điện áp, mà ... mà IC biến đổi từ sư dao động giá trị điện trở gọi tín hiệu PIM LƯU Ý KHI SỬA CHỮA: Nếu ống chân không nối với cảmbiến bị rời ra, lượng phun nhiên liệu đạt mức cao nhất, động không chạy cách...
... so sánh đầu cảmbiến từ hai ápsuất giống nhiệt độ cảmbiến đặt vị trí dầu Việc so sánh đầu cảmbiến thực khoảng năm sau điều kiện lắp đặt ápsuất nhiệt độ tiếp xúc giống hệt Ápsuất thay đổi ... ứng suất so với silicon cảmbiến thông thường, khoảng cách theo thứ tự nhỏ 10 lần Việc đóng gói gây ứng suất nhân tố quan trọng tạo độ trễ so lệch lâu dài Ảnh hưởng trình làm việc cảmbiếnápsuất ... chuẩn lớp nhôm Hình dạng mặt cắt điện trở phổ biếnáp điện trở hình 1.b Hình 3: Vùng ổn định Dạng phần tử cảmbiếnCảmbiến có triển vọng có khác biệt thuộc tính quan trọng khoảng cách kích thước...
... áp ứng nhu cầu đa dạng đòi hỏi cảmbiếnápsuất phải áp ứng cách tốt cho trường hợp cụ thể Chính cảmbiếnápsuất kiểu áp trở, áp ứng phần độ nhạy khả đo ápsuất phạm vi rộng Cảmbiếnápsuất ... Cuối tìm hiểu loại cảmbiếnápsuất khác sử dụng công nghệ MEMS Chương 2: Thiết kế mô cảmbiếnápsuấtáp điện trở Trên sở dùng phương pháp giải tích Mô đặc tính học màng cảmbiến dùng phần mềm ... thật áp ứng Do đó, luận văn tập trung vào đặc tính vật liệu silic đơn tinh thể, vật liệu sử dụng phổ biến linh kiện MEMS đặc biệt đặc tính áp điện trở Việc nghiên cứu MEMS cảmbiếnápsuấtáp điện...
... so sánh đầu cảmbiến từ hai ápsuất giống nhiệt độ cảmbiến đặt vị trí dầu Việc so sánh đầu cảmbiến thực khoảng năm sau điều kiện lắp đặt ápsuất nhiệt độ tiếp xúc giống hệt Ápsuất thay đổi ... chuẩn lớp nhôm Hình dạng mặt cắt điện trở phổ biếnáp điện trở hình 1.b Hình 3: Vùng ổn định Dạng phần tử cảmbiếnCảmbiến có triển vọng có khác biệt thuộc tính quan trọng khoảng cách kích thước ... ứng suất so với silicon cảmbiến thông thường, khoảng cách theo thứ tự nhỏ 10 lần Việc đóng gói gây ứng suất nhân tố quan trọng tạo độ trễ so lệch lâu dài Ảnh hưởng trình làm việc cảmbiếnáp suất...
... đặt CảmbiếnápsuấtCảmbiến chênh áp dùng làm đo mực nước dùng cho hệ thống lọc bồn hở nước 3 Cảmbiếnápsuất dùng điều khiển bơm Cảmbiếnápsuất cấp nguồn 11~28VDC, nhận tín hiệu ápsuất ... xuất cảmbiếnáp suất, cảmbiến chênh áp, cảmbiến mức công tắc ápsuất dùng cho môi chất khí, nước, ga, chân không, dầu…, đặc biệt dùng môi trường chống nổ Sản phẩm sử dụng rộng rải phổ biến ... định bởi: INNOBIZ, CE, EM, R… Đơn vị đo cảmbiếnápsuất chia nhiều loại để dể dàng sử dụng nhiều lĩnh vực khác như: MPa, KPa, Pa, Bar, Kgf/cm, mmHg…đo ápsuất âm lên đến 700Bar Chuẩn ren thiết...
... Ápsuất tuyệt đối bar bar Trên ápsuất khí Ápsuất gauge 1 Ápsuất khí 0 Chân không Hiệu áp p2 ∆ p = p2 − p1 p1 -1 Đơn vị ápsuất SI: Pa (N/m²) Cảmbiếnápsuất thị trực tiếp ... Các dạng đo ápsuất trực tiếp chuyển thành tín hiệu điện dựa vào thay đổi điện trở (CB ápsuấtáp trở), điện dung (CB ápsuất kiểu điện dung), điện cảm (CB ápsuất kiểu điện cảm) Cảmbiếnáp ... cảmbiến Được sử dụng rộng rãi tầm đo rộng đo ápsuất tầm nhỏ (0.01 inches of water) đến 200,000 psig (1400 MPa) So với cảmbiếnápsuấtáp trở bị trôi, sai số 0.01-0.1%, thường dùng đo tầm áp...
... Một thay đổi ápsuất đường ống nạp làm cho hình dạng chip silic thay đổi, trị số điện trở chíp dao động theo mức biến dạng Tín hiệu điện áp, mà IC biến đổi từ sư dao động giá trị ... hiệu PIM LƯU Ý KHI SỬA CHỮA: Nếu ống chân không nối với cảmbiến bị rời ra, lượng phun nhiên liệu đạt mức cao nhất, động không chạy cách thích hợp Ngoài giắc nối bị rời ra, ECU động chuyển sang...