2.1 Cảm biến áp suất Áp suất : dF p dA = Áp suất tại 1 điểm trong cột chất lưu thẳng đứng cách bề mặt tự do h: 0 p p gh ρ = + 0 p : áp suất khí quyển, ρ : khối lượng riêng Do đó việc đo áp suất dựa vào đo lực. Đo áp suất được hiểu là đo với áp suất định chuẩn có 3 loại: • Áp suất khí quyển (gauge pressure): áp suất cho biết trên hay dưới áp suất khí quyển. Ký hiệu g VD: psig • Áp suất chân không (absolute pressure): áp suất tuyệt đối. Ký hiệu a VD: psia • Áp suất vi sai (differential pressure): áp suất cho biết độ chênh lệch (hiệu) giữa 2 áp suất. Thường dùng để đo áp suất 2 điểm trong đường ống của dòng chảy liên quan đến điều chỉnh vận tốc dòng chảy. Ký hiệu d VD: psid Đơn vị áp suất SI: Pa (N/m²) 1. Cảm biến áp suất chỉ thị trực tiếp loại cơ học: * Cấu tạo - nguyên lý hoạt động Dựa trên cơ sở biến dạng đàn hồi của các phần tử cảm biến (màng đàn hồi hay lò xo ống kim loại. Dưới tác dụng áp suất lớn hay nhỏ kim chỉ thị (qua bộ cơ-khí nén) sẽ tỉ lệ với áp suất đo được. Độ chính xác khoảng 0.5% Áp suất tuyệt đối Trên áp suất khí quyển Chân không Áp suất khí quyển bar bar 1 0 2 3 1 2 -10 2 p 1 p 2 1 p p p ∆ = − Hiệu áp Áp suất gauge loại lò xo ống (bourdon tube) loại màng ngăn (baffle) loại ống thổi (bellow)  Các dạng đo áp suất trực tiếp trên có thể chuyển thành tín hiệu điện dựa vào sự thay đổi điện trở (CB áp suất áp trở), điện dung (CB áp suất kiểu điện dung), điện cảm (CB áp suất kiểu điện cảm). 2. Cảm biến áp suất áp trở * Cấu tạo - nguyên lý hoạt động Dựa vào nguyên lý hoạt động của Strain gage và cầu wheaston * Đặc điểm – lựa chọn ứng dụng cho cảm biến Được dùng phổ biến, độ chính xác 0.1%-0.25%, có thể đo áp suất từ 3 inches of water đến 200.000 psig (1400 MPa). 3. Cảm biến áp suất kiểu điện dung * Cấu tạo - nguyên lý hoạt động Khi áp suất đo thay đổi so với áp suất tham chiếu làm thay đổi trị số điện dung tụ thay đổi tần số dao động mạch LC bộ transmitter xử lý. * Đặc điểm – lựa chọn ứng dụng cho cảm biến Được sử dụng rộng rãi vì tầm đo rộng có thể đo áp suất tầm rất nhỏ (0.01 inches of water) đến 200,000 psig (1400 MPa). So với cảm biến áp suất áp trở thì ít bị trôi, sai số 0.01-0.1%, thường dùng đo trong tầm áp suất thấp. 4. Cảm biến áp suất kiểu điện cảm * Cấu tạo - nguyên lý hoạt động Khi áp suất đo thay đổi làm cho lõi cuộn dây được cấp nguồn AC di chuyển giá trị cuộn cảm thay đổi dòng điện chạy trong cuộn dây thay đổi (L tăng i giảm). Hay có cấu tạo giống bộ biến áp vi sai LVDT. * Đặc điểm – lựa chọn ứng dụng cho cảm biến CB áp suất kiểu điện cảm có điện áp ngõ ra lớn nên ứng dụng tầm đo nhỏ có độ phân giải cao, phải cấp nguồn AC, có tầm đo 1 in. water tới 10.000 psig (250 Pa to 70 MPa), độ chính xác khoảng 0.5% 5. Cảm biến áp điện (piezoelectric) * Cấu tạo - nguyên lý hoạt động Giống như đo lực, CB là tinh thể thạch anh dựa trên hiệu ứng áp điện. * Đặc điểm – lựa chọn ứng dụng cho cảm biến Ưu điểm CB áp suất áp điện nhỏ gọn, rắn chắc, có độ nhạy cao. Thích hợp cho đo áp suất ở trạng thái động (thay đổi liên tục) do tinh thể chỉ phát sinh ở trạng thái động. VD: động cơ, máy nén, rocket, … Nhạy với nhiệt độ, có tầm đo 14.000 psig. Một số CB áp suất VD: CB áp suất E8M của Omron . điện dựa vào sự thay đổi điện trở (CB áp suất áp trở), điện dung (CB áp suất kiểu điện dung), điện cảm (CB áp suất kiểu điện cảm) . 2. Cảm biến áp suất áp trở * Cấu tạo - nguyên lý hoạt động Dựa. đo lực. Đo áp suất được hiểu là đo với áp suất định chuẩn có 3 loại: • Áp suất khí quyển (gauge pressure): áp suất cho biết trên hay dưới áp suất khí quyển. Ký hiệu g VD: psig • Áp suất chân. 2.1 Cảm biến áp suất Áp suất : dF p dA = Áp suất tại 1 điểm trong cột chất lưu thẳng đứng cách bề mặt tự do h: 0 p p gh ρ = + 0 p : áp suất khí quyển, ρ : khối lượng riêng Do đó việc đo áp suất