4 3 bộ cảm biến áp suất
Thiết kế mới nâng cao độ nhạy cho cảm biến áp suất mems kiểu áp trở dựa trên giải pháp tạo màng có 4 góc mỏng
... 10 -3 N/m2 trờn mng phng ch l 0,6 73 x 10 -3 N/m2 Mng dy u Mng dy u Mng gúc mng Mng gúc mng 100 900 90 80 Độ lệch lối (mV/V) ứng suất cực đại (N/micro-m2) 800 700 600 500 40 0 30 0 70 60 50 40 30 ... trờn mng theo ti ỏp sut Mng dy u Mng gúc mng 26 24 Độ lệch màng cức đại (micro mét) 22 20 18 16 14 12 10 0 0.2 0 .4 0.6 0.8 1.2 1 .4 1.6 1.8 2.2 áp suất (atm) Hỡnh S ph thuc ca lch cc i trờn mng ... 200 20 100 10 0 Hỡnh S ph thuc ca ng sut cc i vo ỏp sut áp suất (atm) áp suất (atm) Hỡnh S ph thuc ca lch th trờn cu in tr vo ỏp sut 3 nhy cm bin chuyn i t tớn hiu ỏp sut sang tớn hin in,...
- 7
- 405
- 1
khảo sát đặc trưng và khả năng ứng dụng của cảm biến áp suất MEMS
... 750 1000 1kg/cm2 98.1 03 0,980 0,986 735 980 atmosphe 10 132 5 1,0 13 1, 033 760 10 13 1g/cm2 98 98.10-5 10 -3 0,968.10 -3 0, 735 0,98 1mmHg 133 ,3 13, 33. 10 -4 1 ,33 3 1mbar 100 1.10 -3 0,750 P P P 1.1.2 P ... (Dec) Byte cao s chia Byte thp s chia 50 23 04 09h 00h 30 0 3 84 01h 80h 600 192 00h C0h 240 0 48 00h 30 h 48 00 24 00h 18h 9600 12 00h 0Ch 19200 00h 06h 3 840 0 00h 03h 57600 00h 02h 115200 00h 01h Trong ... TCVoff TCR Zin Zout TR B Min 20 -1.0 -0,22 0.28 40 0 750 - B B B B B B B B B B B B B B B B B Typ 3. 0 6.0 35 20 3. 5 15 1.0 Max 10 6.0 50 35 1.0 -0.16 0. 34 550 1250 - n v Kpa Vdc mAdc mV mV mV/kPa %VFSS...
- 23
- 1,192
- 2
thử nghiệm một hệ đo áp dụng cho cảm biến áp suất MPX2300D do công ty Motorola cung cấp.
... 31 Chương Thực Nghiệm . 34 3. 1 PHẦN CỨNG . 34 3. 1.1 Các khối nguồn 35 3. 1.2 Khối lọc thông thấp 36 3. 1 .3 Khối biến đổi DAC ... mức ưu tiên đặt trước INT Number 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 - 38 39 40 41 42 43 44 45 - 53 Vector Interrupt Source Number Highest Natural Order Priority INT0 – External ... đại analog.(xem hình 3. 5) Hình 3. 5 Bộ lọc thông thấp low pass 3. 1 .3 Khối biến đổi DAC 3. 1 .3. 1 Hoạt động DAC tính chất Hình 3. 6 Ví dụ biến đổi DA bít Mục đích biến đổi DA, nêu, biến đổi tín hiệu...
- 72
- 644
- 0
Sơ lược về cảm biến áp suất
... phép đo áp suất vi sai không rõ áp suất tuyệt đối hay calip, hai bên phép đo so sánh cách trực tiếp Giá trị đọc độ chênh lệch áp suất không cho biết độ lớn cụ thể áp suất bên Nếu áp suất vi sai ... nhập vào cảm biến Khi sử dụng, cảm biến phải nạp đầy chất trơ, thường đầu silicon để truyền áp suất toàn hệ thống Bộ bảo vệ áp (overpressure protector) – van lò xo tự đóng trường hợp áp suất lớn ... phép áp suất xả từ cảm biến sau đóng kết nối trình Van thủy lực (Snubber) – thiết bị làm chậm lại dòng chảy từ trình đến cảm biến, chủ yếu để ngăn chặn rung đập nhằm tăng cường tuổi thọ cho cảm biến...
- 6
- 2,022
- 34
Tài liệu Ứng dụng cảm biến áp suất MEMS trong thiết bị điện tử y tế pdf
... vào áp suất Bằng cách đo điện lối ta đo độ lớn tương ứng áp suất tác dụng lên màng Cảm biến áp suất loại cảm biến thường dùng công nghiệp Trong y tế cảm biến áp suất thường sử dụng để đo áp suất ... 2 CẢM BIẾN ÁP SUẤT VI CƠ ĐIỆN TỬ 2.1 Cấu hình nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất Trên sở hiệu ứng áp trở vật liệu silicon, nhiều loại vi cảm biến chấp hành phát triển ... trúc cảm biến áp suất Khi áp suất đặt lên màng, cầu điện trở trạng thái cân bằng, điện lối lúc Khi có áp suất đặt lên, màng mỏng bị biến dạng, áp lực phân bố màng bị thay đổi Do hiệu ứng áp điện...
- 5
- 1,802
- 45
CẢM BIẾN ÁP SUẤT
... l bar bar = 105 N/m2 = 105 Pa Ngoi 1atm bar 1bar= 14, 504psi atm = 14, 696 psi 3. Phõn loi ỏp sut bar áp suất tư ơng đối áp suất tuyệt đối áp suất khí p sut chõn khụng II.Phõn loi phng tin o ỏp ... 0,0005; 0,005; 0,02; 0,05; 0,1; 0,16; 0,20; 0,25; 0 ,4; 0,5; 1; 1,6; 2,5; 4; 6; v 0,0005; 0,01; 0,02; 0,05; 0,1; 0,2; 0,6; 1; 1,6; 2; 2,5; 4; III PHNG PHP O P SUT PHNG PHP O o ỏp sut tnh: -o ... quang khc Vỡ s thay i chiu di thc t rt bộ, cho nờn ng dn in ny c ch to thnh hỡnh un khỳc cú chiu di khỏ ln trờn mt din tớch bộ, t ú ta cú s thay i in tr ỏng k 3 Cm bin ỏp sut mng sc co gión kim...
- 36
- 4,441
- 24
Tài liệu Cảm biến áp suất đường ống nạp pdf
... lớn áp suất đường ống nạp đo xác độ cao thay đổi Một thay đổi áp suất đường ống nạp làm cho hình dạng chip silic thay đổi, trị số điện trở chíp dao động theo mức biến dạng Tín hiệu điện áp, mà ... theo mức biến dạng Tín hiệu điện áp, mà IC biến đổi từ sư dao động giá trị điện trở gọi tín hiệu PIM LƯU Ý KHI SỬA CHỮA: Nếu ống chân không nối với cảm biến bị rời ra, lượng phun nhiên liệu đạt...
- 6
- 3,577
- 42
Tài liệu khảo sát và ứng dụng cảm biến ap suất MEMS ppt
... 750 1000 1kg/cm2 98.1 03 0,980 0,986 735 980 atmosphe 10 132 5 1,0 13 1, 033 760 10 13 1g/cm2 98 98.10-5 10 -3 0,968.10 -3 0, 735 0,98 1mmHg 133 ,3 13, 33. 10 -4 1 ,33 3 1mbar 100 1.10 -3 0,750 P P P 1.1.2 P ... (Dec) Byte cao s chia Byte thp s chia 50 23 04 09h 00h 30 0 3 84 01h 80h 600 192 00h C0h 240 0 48 00h 30 h 48 00 24 00h 18h 9600 12 00h 0Ch 19200 00h 06h 3 840 0 00h 03h 57600 00h 02h 115200 00h 01h Trong ... TCVoff TCR Zin Zout TR B Min 20 -1.0 -0,22 0.28 40 0 750 - B B B B B B B B B B B B B B B B B Typ 3. 0 6.0 35 20 3. 5 15 1.0 Max 10 6.0 50 35 1.0 -0.16 0. 34 550 1250 - n v Kpa Vdc mAdc mV mV mV/kPa %VFSS...
- 23
- 779
- 3
Tài liệu Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian docx
... so sánh đầu cảm biến từ hai áp suất giống nhiệt độ cảm biến đặt vị trí dầu Việc so sánh đầu cảm biến thực khoảng năm sau điều kiện lắp đặt áp suất nhiệt độ tiếp xúc giống hệt Áp suất thay đổi ... ± 0,0 03% FS/năm Hình 4: Vỏ 4. 1 Môi trường cách ly vỏ Kim loại vỏ cảm biến rõ ràng có nhiều ứng dụng Vỏ cảm biến làm từ titanium thép nguyên chất có chất lượng Cảm biến không gian, phần tử cảm nhận ... hàn điện trở Giảm áp lực màng ngăn giới hạn tới 50ppm áp suất áp dụng, áp suất bị khử điều chỉnh lúc bù Nhìn mặt cắt ngang vùng tách khỏi vỏ hình số Tổng trọng lượng cảm biến cảm biến không gian...
- 7
- 702
- 3
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
... áp ứng nhu cầu đa dạng đòi hỏi cảm biến áp suất phải áp ứng cách tốt cho trường hợp cụ thể Chính cảm biến áp suất kiểu áp trở, áp ứng phần độ nhạy khả đo áp suất phạm vi rộng Cảm biến áp suất ... Cuối tìm hiểu loại cảm biến áp suất khác sử dụng công nghệ MEMS Chương 2: Thiết kế mô cảm biến áp suất áp điện trở Trên sở dùng phương pháp giải tích Mô đặc tính học màng cảm biến dùng phần mềm ... (20 03) , Nghiên cứu chế tạo cảm biến sở hiệu ứng áp trở, Luận án Tiến Sĩ Vật Lý, Trường Đại Học Bách Khoa, Hà Nội [2] Chu Mạnh Hoàng (2007), Nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến áp suất kiểu áp...
- 4
- 1,135
- 7
Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian pptx
... so sánh đầu cảm biến từ hai áp suất giống nhiệt độ cảm biến đặt vị trí dầu Việc so sánh đầu cảm biến thực khoảng năm sau điều kiện lắp đặt áp suất nhiệt độ tiếp xúc giống hệt Áp suất thay đổi ... 0,0 03% FS/năm Hình 4: Vỏ 4. 1 Môi trường cách ly vỏ Kim loại vỏ cảm biến rõ ràng có nhiều ứng dụng Vỏ cảm biến làm từ titanium thép nguyên chất có chất lượng Cảm biến không gian, phần tử cảm nhận ... hàn điện trở Giảm áp lực màng ngăn giới hạn tới 50ppm áp suất áp dụng, áp suất bị khử điều chỉnh lúc bù Nhìn mặt cắt ngang vùng tách khỏi vỏ hình số Tổng trọng lượng cảm biến cảm biến không gian...
- 15
- 449
- 5
Cảm biến áp suất potx
... 3/ 8’’, 3/ 16’’…kiểu răn ống nước thông dụng dể dàng lắp đặt Cảm biến áp suất Cảm biến chênh áp dùng làm đo mực nước dùng cho hệ thống lọc bồn hở nước 3 Cảm biến áp suất dùng điều khiển bơm Cảm biến ... xuất cảm biến áp suất, cảm biến chênh áp, cảm biến mức công tắc áp suất dùng cho môi chất khí, nước, ga, chân không, dầu…, đặc biệt dùng môi trường chống nổ Sản phẩm sử dụng rộng rải phổ biến ... đo cảm biến áp suất chia nhiều loại để dể dàng sử dụng nhiều lĩnh vực khác như: MPa, KPa, Pa, Bar, Kgf/cm, mmHg…đo áp suất âm lên đến 700Bar Chuẩn ren thiết kế theo hệ “in” 1 /4 ’, 1/8’’, 3/ 8’’,...
- 4
- 514
- 3
Cảm biến áp suất sitrans PZ của Siemens
... 8.7 psi a) (0 14. 5 psi a) (0 23. 2 psi a) (0 36 .3 psi a) bar a bar a bar a bar a (0 psi a) (0 psi a) (0 psi a) (0 psi a) bar a bar a 3, 2 bar a bar a ( 43 .5 psi a) (30 psi a) (45 psi a) (72 psi ... -1 bar g (- 14. 5 psi g) (- 14. 5 psi g) (- 14. 5 psi g) (- 14. 5 psi g) 200 bar g 32 0 bar g 500 bar g 600 bar g (2900 psi g) (46 40 psi g) (7250 psi g) (8700 psi g) 45 0 bar g 45 0 bar g 650 bar g 650 bar ... g) (- 14. 5 psi g) (- 14. 5 psi g) (- 14. 5 psi g) 0,6 bar g 0,6 bar g bar g bar g bar g (8.7 psi g) (8.7 psi g) ( 14. 5 psi g) ( 14. 5 psi g) ( 43 .5 psi g) bar g bar g 1.7 bar g 1.7 bar g bar g ( 14. 5 psi...
- 7
- 769
- 3
CẢM BIẾN CÔNG NGHIỆP CẢM BIẾN ÁP SUẤT
... Output Current vs Pressure 26 .4 Voltage (V) 500 kPa +2 +1 1,000 kPa 0 kPa kPa −1 −1 0 100 200 30 0 40 0 500 −2 Pressure (kPa) 0.2 0 .4 0.6 0.8 100 200 30 0 Load (Ω) −2 100 200 30 0 Load (Ω) Pressure (MPa) ... FS) +4 Linearity deviation (%FS) Output current fluctuation (% FS) Output Current Fluctuation vs Temperature +0.5 −0.5 4 −20 −10 20 40 60 −1.0 80 +0.2 +0.1 −0.1 100 200 30 0 Temperature (°C) 40 0 ... mm) E8AA-M05 E8AA-M10 PT1 /4 * dia 15 dia 40 dia 45 22 2.5 2.5 8 .4 70 * 6-dia vinyl-insulated round cable (in hollow pipe) with conductors, (Conductor cross-section: 0 .3 mm2, Insulator diameter:...
- 4
- 474
- 3
Chuong 09: Cảm biến áp suất docx
... đo áp suất trực tiếp chuyển thành tín hiệu điện dựa vào thay đổi điện trở (CB áp suất áp trở), điện dung (CB áp suất kiểu điện dung), điện cảm (CB áp suất kiểu điện cảm) Cảm biến áp suất áp trở ... 200,000 psig ( 140 0 MPa) So với cảm biến áp suất áp trở bị trôi, sai số 0.01-0.1%, thường dùng đo tầm áp suất thấp 4 Cảm biến áp suất kiểu điện cảm * Cấu tạo - nguyên lý hoạt động Khi áp suất đo thay ... Áp suất tuyệt đối bar bar Trên áp suất khí Áp suất gauge 1 Áp suất khí 0 Chân không Hiệu áp p2 ∆ p = p2 − p1 p1 -1 Đơn vị áp suất SI: Pa (N/m²) Cảm biến áp suất thị trực tiếp...
- 7
- 747
- 12
Cảm biến áp suất đường ống nạp (Cảm biến chân không) doc
... Một thay đổi áp suất đường ống nạp làm cho hình dạng chip silic thay đổi, trị số điện trở chíp dao động theo mức biến dạng Tín hiệu điện áp, mà IC biến đổi từ sư dao động giá trị ... sư dao động giá trị điện trở gọi tín hiệu PIM LƯU Ý KHI SỬA CHỮA: Nếu ống chân không nối với cảm biến bị rời ra, lượng phun nhiên liệu đạt mức cao nhất, động không chạy cách thích hợp Ngoài giắc...
- 6
- 1,693
- 3
Tìm thêm: hệ việt nam nhật bản và sức hấp dẫn của tiếng nhật tại việt nam xác định các mục tiêu của chương trình xác định các nguyên tắc biên soạn khảo sát các chuẩn giảng dạy tiếng nhật từ góc độ lí thuyết và thực tiễn khảo sát chương trình đào tạo của các đơn vị đào tạo tại nhật bản tiến hành xây dựng chương trình đào tạo dành cho đối tượng không chuyên ngữ tại việt nam điều tra đối với đối tượng giảng viên và đối tượng quản lí xác định mức độ đáp ứng về văn hoá và chuyên môn trong ct phát huy những thành tựu công nghệ mới nhất được áp dụng vào công tác dạy và học ngoại ngữ mở máy động cơ lồng sóc mở máy động cơ rôto dây quấn các đặc tính của động cơ điện không đồng bộ đặc tuyến hiệu suất h fi p2 đặc tuyến mômen quay m fi p2 đặc tuyến tốc độ rôto n fi p2 động cơ điện không đồng bộ một pha sự cần thiết phải đầu tư xây dựng nhà máy từ bảng 3 1 ta thấy ngoài hai thành phần chủ yếu và chiếm tỷ lệ cao nhất là tinh bột và cacbonhydrat trong hạt gạo tẻ còn chứa đường cellulose hemicellulose chỉ tiêu chất lượng theo chất lượng phẩm chất sản phẩm khô từ gạo của bộ y tế năm 2008 chỉ tiêu chất lượng 9 tr 25