... tự nhiên III Kết thực nghiệm Trong phần này, chúng tơi trình bày kết nghiên cứu cấu trúc, hình thái học, tính chất quang, tính chất điện tính chất quang điện hóa màng TiO2 chế tạo phương pháp ... chế tạo màng mỏng có độ tinh khiết cao Trong số trường hợp lắng đọng màng mỏng, chùm tia điện tử lai ghép với chùm ion có tham gia khí phản ứng Trong trình bay phản ứng, kim loại khí phản ứng dều ... dày màng trình phủ Trong giai đoạn này, chiều dày màng phụ thuộc vào tốc độ quay, độ nhớt có mối quan hệ với tốc độ bay Sau kết thúc q trình quay, nhiều ứng dụng đòi hỏi xử lý nhiệt lớp màng...