... kế chế tạo cảm biến tụ phẳng trình bày làm rõ nguyên lý thiết kế, mô phỏng, cách thức chế tạo thiết lập hệ thống thực tế với cảm biến tụ phẳng Mục tiêu đề tài Đề tài luận văn Nghiên cứu thiết ... hội để thiết kế chế tạo loại cảm biến điện dung phẳng (a) (b) (c) (d) Hình 2.4 Khả cảm biến phát đặc điểm khác mẫu [30]: (a) Mật độ cảm biến, (b) Khoảng cách cảm biến, (c) kết cấu cảm biến, (d) ... Mật độ cảm biến, (b) Khoảng cách cảm biến, (c) kết cấu cảm biến, (d) độ ẩm cảm biến 18 Hình 2.5 Một sơ đồ đơn giản cảm biến điện dung dựa theo LoC [8] 19 Hình 2.6 Sơ đồ khối thiết kế cảm biến...