... -0-,A*=>'97&'+70,\*?@dtã6ã7&'9q70,\*?@d*,A*?3)*2/*:'h6X,$ E,?Sqhvà7ãhlX,$ E,?Shà7ãhX,$ E,?Sh+à7=H*?0&'9hX,$ E,?Sqhvà7=HNI2/*:/>7$n[vX,$ E,?SDHNIh,u%H*?0c?/*:/>7$n[+hXJ-T=,,A*$-JYZ[INJYZH ... M^IJ8,,,$-$H?D,"-KI/*7,I?0?7?*0L]M^_FF`2abcW,9q nOXgYfgYOt`\Oã`hiYcnOfanwS\L)@2)@McqV%$5JYZ[INJYZ6$ E,?S,$ E,?Sqhvà7&'qhvà7ã*)*=,*" 3,R'7-*,"V0/#)*?3)*,$ E,?Shà7&'h+à7ã?3)*"%" ... 30/#10$c,"-+6J$;?h?\T0>70=%g*,,@"'h0>7>$*2I&'7ƒ^]M^_FF`2abcW,l Hình 2.3.9: Cấu tạo của một waveguide trên nền đế Silic4ã7-,t0|,1?S*& "#,si0>h,SV,%" 3,0t#,,&7,)*d,&E,,,d,B=,*,,d,B"S,SV'aC\,;R$...