... 9,8 9,8.10 -5 10 -3 0,968.10 -4 1 0,0735 0,098 1mmHg 133,3 13,33.10 -4 1,36.10 -3 1,315.10 -3 136 1 1,33 1mbar 100 10 -3 1,02.10 -3 0,987.10 -3 1,02 0,750 1 - 135 - Màng uốn ... trở a) Phần tử áp điện dạng tấm b) Phần tử áp điện dạng ống p a) Trục quangTrục điện dDb) - 141 - Giới hạn trên của cảm biến áp suất dùng bộ biến đổi áp điện từ 2,5 - 100 MPa, cấp chính ... có tâm cứng - 136 - - Biến đổi ứng suất thành tín hiệu đo. Các bộ chuyển đổi là các phần tử áp điện hoặc áp trở. a) Bộ biến đổi đo áp suất kiểu điện cảm tự cảm của cuộn...