... dụng trong cảm biến hyđrô. Trên cơ sở đó, nhiệm vụ nghiên cứu đặt ra của luận văn là: - Tìm hiểu các tài liệu về vật liệu và cảm biến khí hyđrô. - Nghiên cứu công nghệ chế tạo vật liệu và khảo ... phức tạp, tuổi thọ ngắn và khó chế tạo. 1.3.3. Cảm biến hyđrô trên cơ sở vật liệu paladi Các cảm biến nhạy khí hyđrô trên cơ sở vật liệu paladi được phân loại dựa trên ba công nghệ chính ... tác dạng hạt, kiểu điện hóa, và một số cảm biến trên nền vật liệu Paladi như cảm biến trên cơ sở sóng âm bề mặt [8], cảm biến trên cơ sở hiệu ứng trường [9]… đã và đang được sử dụng rộng rãi...