... độ đế cao đỉnh nhiễu xạ bị dịch phía có góc nhiễu xạ nhỏ Điều giải thích màng có ứng suất nén [7] Ứng suất bao gồm ứng suất nội sai hỏng màng - lắng đọng phươngphápphúnxạmagnetron - gây ứng ... cần mức cao khoảng 10-2 torr để tránh ứng suất nén phá hỏng màng Các thông số tạo màng phươngphápphúnxạmagnetron phản ứng cơng trình trình bày bảng 60 400 600 800 Bước sóng (nm) 1000 Hình ... nhờ phươngpháp bốn mũi dò [3], cấu trúc tinh thể khảo sát phép phân tích giản đồ nhiễu xạ tia X (XRD) Kích thước hạt tinh thể xác định công thức Scherrer Từ kết cơng trình [1,4], q trình phún xạ...
... LUẬN Màng ZnO-Ga tạo phươngphápphúnxạmagnetron có điện trở suất khoảng 4-5 x 10-4 Ωcm , độ truyền qua trung bình vùng khả kiến T ~ 85% Màng cho tính chất quang điện tốt phúnxạ nhiệt độ phòng ... điện trở suất (~ 4.6 x 10-4 Ωcm) cường độ đỉnh (002) tương đương (chứng tỏ hạt ngưng tụ phươngphápphúnxạmagnetron có lượng cao) Tính chất điện cấu trúc màng gần không phụ thuộc vào nhiệt độ ... 9cm (bảng 2, hình 1) Từ bảng thấy rằng, vị trí tối ưu để đạt điện trở thấp vị trí e Ở vị trí tránh bắn phá ion âm ο lượng cao vận tốc phúnxạ thấp (v = 3.8 Α /s) Bảng 2[5] Mẫu Vị trí a Bề dày...
... suốt ZnO: Al đế PET phươngphápphúnxạmagnetron DC Báo cáo hội nghị vật lý toàn quốc lần 5.3 Các báo cáo khoa học hội nghị, hội thảo KH: [1] Sử dụng phươngphápphúnxạmagnetron DC để chế ... màng mỏng tungsten oxyt phươngphápphúnxạmagnetron RF.Hội nghị Khoa học Trường ĐHKHTN tháng 10-2004 [5] Pin mặt trời màng mỏng (ZnO:Al)/ p-Si (111) tạo phươngphápphúnxạmagnetron DC Hội nghị ... ion âm oxygen hệ phúnxạmagnetron với bia ZnO:Al Tạp chí phát triển KHCN –ĐHQG Tp.HCM, tập 7, số 1/2004 [2] Nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện suốt ZnO:Al phươngphápphúnxạmagnetron DC Tạp...
... dòng oxy đưa vào hệ phúnxạ việc chế tạo màng Nghiên cứu ảnh hưởng nhiệt độ ủ trình hình thành cấu trúc màng Quang phổ Laser GiỚI THIỆU: Chế tạo màng TiOx phươngphápphúnxạ magneton trực tiếp ... 2.7*10-4 Pa Thời gian phúnxạ 40 phút Độ dày màng từ 50-200nm Quang phổ Laser ĐO TÍNH CHẤT MÀNG: Cấu trúc màng, thơng tin phase (anatase hay rutile) đo quang phổ kế tia X sử dụng xạ Cu Kα (0.1542nm) ... oxy đưa vào khoảng 3-15% FO FO % = × 100% ( FO2 + FAr ) Sau đem ủ nhiệt 350-750oC Dùng phổ nhiễu xạ tia X, quang phát quang phổ Raman để nghiên cứu tính chất màng Quang phổ Laser THÍ NGHIỆM: Dùng...
... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phươngphápphúnxạmagnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phươngpháp nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng tinh thể ... Khí phúnxạ Đế phủ Khoảng cách phúnxạ Công suất phúnxạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr 1,5.10-5 torr 6.10-3 torr N2, N2O, Ar Corning 7059 5.0cm 80W 300oC Màng sau phúnxạ tiến hành đo bề dày phương ... bia phúnxạ Và khí phúnxạ khí hay hỗn hợp hai hay nhiều khí từ nguồn khí Ar, O 2, N2, N2O Trong N N2O dùng nguồn pha tạp N Các điều kiện phúnxạ tạo màng Áp suất buồng Áp suất Áp suất phún xạ...
... màng Al2O3 với phươngpháp tạo màng khác [26 ] Phươngpháp Chiết suất 550 nm Phươngpháp Chiết suất 550 nm Bốc bay 1.5 Phúnxạ phản ứng 1.68 Phúnxạ chùm ion 1.65 Hai chùm tia ion 1.62 Kỹ thuật ... hấp thu hồng ngoại IR phổ tán xạ tia X THỰC NGHIỆM Hệ phúnxạ dùng máy Univex 450 Màng Al2O3 phúnxạ từ bia nhơm kim loại Điều kiện tiến hành tính tóan trước phươngpháp mơ dùng thuật tóan Monte ... 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phươngphápphúnxạmagnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phúnxạ phản ứng từ bia nhôm kim loại mơi trường hỗn hợp khí làm việc...
... luận từ hai phía có lý tập trung vào hạn chế phươngpháp giảng dạy này, dễ dàng bỏ qua vơ số ưuđiểm vượt trội Ưuđiểmphươngpháp giảng dạy Những phươngpháp làm việc theo cặp hay nhóm thường áp ... ngữ pháp, luyện ngữ âm kỹ yếu người học nghe, nói, v.v Đây ưuđiểm vượt trội phươngpháp dạy kèm lớp học đơng học viên, khơng có đủ thời gian để giải tất vấn đề cụ thể cá nhân lớp Phươngpháp ... theo phươngpháp “hỏi-đáp” truyền thống Tương tự vậy, thay đứng giảng viết thứ lên bảng, bạn không ngồi cạnh học viên minh họa tranh ảnh, đồ thị hay câu ví dụ viết giấy? Một ưuđiểm khác phương pháp...
... tiêu Đánh giá hiệu việc tăng dòng phúnxạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa cơng nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phúnxạmagnetron sử dụng rộng rãi, nhiệt ... Mơ hình hệ phúnxạmagnetron Hình Sơ đồ hệ đo Δabs Hình Quang phổ liên tục Hình Phổ phát xạ bóng đèn UVA Hình 10 Bóng đèn UVA 220V-8W THỰC NGHIỆM 2.1 Khảo sát ảnh hưởng dòng phúnxạ Khảo sát ... NGHIỆM 2.1 Khảo sát ảnh hưởng dòng phúnxạ Khảo sát mẫu có điều kiện phún xạ, khác cường độ dòng phún xạ, chúng tơi thấy dòng phúnxạ mạnh, tính quang xúc tác cao Δabs năm mẫu từ G48 (0,40 A), G49...
... màng TiO2 tạo phươngphápphún rf với màng tạo phươngpháp dc, ta nhận thấy màng tạo phươngpháp dc tồn dạng vô định nhiều Rms thấp Hình 7.Ảnh AFM màng TiO2 : a/ tạo phươngphápphúnxạ dc – nhiệt ... ) Hình Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phươngphápphúnxạmagnetron rf (1) phúnxạmagnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương ... [6] 4.KẾT LUẬN Màng tạo phươngphápphúnxạmagnetron rf suốt, có độ truyền qua cao khoảng 90% Chiết suất màng cao khoảng 2.48 chiết suất cao màng tạo phươngphápphúnxạ dc Cấu trúc màng phần...
... truyền qua 1.6 Phươngpháp nghiên cứu 1.6.1 Phươngphápphúnxạ 1.6.1.1 Nguyên lý trình lắng đọng phúnxạ Sự bứt nguyên tử điện tử từ bề mặt vật liệu (bia) bắn phá hạt lượng cao gọi phúnxạ Những ... hay gây phúnxạ 1.6.1.2 Quá trình lắng đọng màng phươngphápphúnxạPhươngpháp ảnh hưởng đến thông số trình gây plasma, mối liên hệ chúng lên tính chất màng lắng đọng Quá trình phúnxạ trình ... In2O3 Lắng đọng phúnxạ [179] Cd2SnO4 Lắng đọng phúnxạ [134] Cd2SnO4 Phun nhiệt phân [133] ZnO:In Phun nhiệt phân [112] ZnO:Al Lắng đọng phúnxạ [117] ZnO:In Lắng đọng phúnxạ [147] ZnO:B Lắng...
... Khái niệm phúnxạ .38 3.2 Phúnxạmagnetronphẳng .38 3.2.1 Ưuđiểmphươngphápphúnxạmagnetronphẳng 38 3.2.2 Cấu tạo hệ magnetronphẳng 39 3.3 Các phươngpháp đo ... CHƯƠNG 3: PHƯƠNGPHÁPPHÚNXẠMAGNETRON DC Có nhiều phươngpháp tạo màng mỏng đế rắn, phươngpháp có ưuđiểm nhược điểm riêng Tuy nhiên, chia chúng làm hai nhóm phươngpháp là: Các phươngpháp tạo ... gian phúnxạ phù hợp 3.2 Phúnxạmagnetronphẳng 3.2.1 ƯuđiểmphươngphápphúnxạmagnetronphẳngPhươngphápphúnxạmagnetron có ưuđiểm như: nhiệt độ đế thấp, tạo màng nhiệt độ phòng, độ...
... buồng có đế cần phủ Phươngpháp phân loại thành phúnxạ phản ứng phúnxạ không phản ứng Một lợi điểmphươngphápphúnxạ màng mỏng thu có thành phần với nguồn Do hiệu suất phúnxạ phụ thuộc vào ... chất chất pha tạp, nên phươngpháp tạo màng với thơng số riêng cho màng tính chất khác Trong nhóm phươngpháp tạo màng vật lý phươngphápphúnxạmagnetron DC RF hai phươngpháp nhà khoa học sử ... dễ dàng phún xạ; phúnxạ phản ứng hỗn hợp khí, nhiều hợp chất phủ từ vật liệu đơn chất; phươngpháp có chi phí khơng cao; có khả phủ màng diện tích rộng, đạt 3m x 6m *phương phápphúnxạ magnetron...
... Quy trình chế tạo bia gốm ZnO:In Bia gốm trước phúnxạ Bia gốm sau phúnxạ CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO:(In, N) 3.2 Hệ phúnxạ tạo màng Sử dụng hệ magnetron không cân bằng: - Tăng thông lượng ion ... tạo phươngphápphúnxạmagnetron DC”, Hội nghị Vật lý toàn quốc lần thứ VII, Hà Nội – 8/11/2010 PHẦN PHỤ LỤC Đặc trưng I-V màng ZnO:(In,N) phủ đế Si P=3mTorr; I=0.35A; V=520V; Thời gian phúnxạ ... p-ZnO:(In, N)bằng phươngphápphúnxạmagnetron DC”, Hội nghị Khoa học lần thứ 7, Đại học Khoa học Tự nhiên, Đại học Quốc gia TP HCM – 2010 Hồ Văn Bình, Đào Anh Tuấn, Dương Ái Phương, Lê Văn Hiếu,...
... màng mỏng phúnxạ ( nêu rõ ảnh hưởng nào? ) Trả lời: - Độ dày màng mỏng phúnxạ liện quan đến hiệu suất trình phúnxạ - Hiệu suất trình phúnxạ = NA/Ni Với: NA tổng nguyên tử phúnxạ Ni tổng ... ngắn gọn) số phươngpháp tạo màng lắng đọng vật lý (PVD) Trả lời: Kỹ thuật tạo màng phươngpháp PVD phân thành nhiều hướng sau, chủ yếu xuất phát từ phươngpháp bay phươngphápphúnxạ Bay chân ... phápPhươngphápphún xạ: Hình - Quá trình phúnxạ Cơ chế phươngphápphún xạ: Phúnxạ không làm cho vật liệu bị bay đốt nóng mà thực chất q trình phúnxạ q trình truyền động cách dùng iơn khí...
... trình phúnxạ I.2 Phươngphápphúnxạmagnetron DC: I.2.1 Hệ magnetron phẳng: HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ (Hình 1.2) Bộ phận hệ phúnxạmagnetronphẳng hệ nam ... BẰNG PHƯƠNGPHÁPPHÚNXẠMAGNETRON DC I TÓM TẮT LÝ THUYẾT: I.1 Định nghĩa tượng phún xạ: Phúnxạ tượng nguyên tử bề mặt vật liệu bị bứt bị bắn phá ion có lượng cao Hình 1.1: Sơ đồ mơ tả q trình phún ... hưởng đến độ dày màng mỏng phún xạ? Nói đến độ dày màng mỏng phúnxạ tức xem xét hiệu suất trình phúnxạ Theo định nghĩa ta có, hiệu suất trình phúnxạ tổng nguyên tử phúnxạ tổng ion tới Các yêu...
... Page Tổng quan Màng ITO Phươngphápphúnxạmagnetron Thực nghiệm Các bước tạo màng Các phươngpháp xác định tính chất màng Kết Khoảng cách bia đế Công suất phúnxạ Nhiệt độ đế Độ dày màng ... suất phúnxạ Điều kiện Công suất phúnxạ 50 W, Nhiệt độ đế 3500c Khoảng cách bia đế 5cm Độ dày màng giữ xấp xỉ Tăng áp suất • điện trở suất tăng • vận tốc phúnxạ giảm Page 14 2.Áp suất phúnxạ ... liệu với áp suất khác dễ dàng phúnxạ Phươngpháp có chi phí khơng cao Có khả phủ màng diện tích rộng Page Phúnxạ Magetron Page Thực nghiệm Page Một số đặc điểm trình tạo màng Hệ tạo...
... suốt dẫn điện Thí nghiệm •Dùng phươngphápphúnxạmagnetron DC –Bia (đường kính 150mm): hỗn hợp bột ZnO Sc2O3 (hoặc Y2O3), nung nhiệt độ 10500C môi trường Ar+H2 Phúnxạ môi trường Ar áp suất 0.4 ... phươngpháp Stylus –Điện trở suất độ linh động Hall đo nhiệt độ phòng phươngpháp Van der Pauw –Thành phần cấu tạo màng đo phổ tán xạ lượng tia X (EDS) –Cấu trúc tinh thể khảo sát phổ nhiễu xạ ... Halogen: F Tính chất - Trong suốt, độ truyền qua cao - Điện trở suất thấp, dẫn điện tốt Phươngpháp chế tạo - Phúnxạmagnetron - Lắng đọng pha hoá học hữu kim loại (MOCVD) - Lắng đọng laser xung (PLD)...
... trình phúnxạ - Quá trình phúnxạ trình truyền động II CÁC LOẠI PHÚNXẠ • Phúnxạ phóng điện chiều (DC discharge sputtering) • Phúnxạ phóng điện xoay chiều (RF discharge sputtering) • Phúnxạmagnetron ... N (Kathod) S N N (a) (b) Hệ magnetronphẳng đường sức từ bề mặt bia N Cấu trúc số hệ Magnetron thông thường Ưu nhược điểmphúnxạƯu điểm: • Tất loại vật liệu phún xạ, nghĩa từ nguyên tố, hợp ... cao tần có tụ chặn làm tăng hiệu suất bắn phá ion 3 Phúnxạmagnetron • Là kỹ thuật phúnxạ (sử dụng với xoay chiều chiều) cải tiến từ hệ phúnxạ thông dụng cách đặt bên bia nam châm • Từ trường...