sơ đồ kết nối cảm biến áp suất tuyệt đối dường ống nạp
Thiết kế mới nâng cao độ nhạy cho cảm biến áp suất mems kiểu áp trở dựa trên giải pháp tạo màng có 4 góc mỏng
Ngày tải lên :
04/09/2015, 19:15
... 80 Độ lệch lối (mV/V) ứng suất cực đại (N/micro-m2) 800 700 600 500 400 300 70 60 50 40 30 200 20 100 10 0 Hỡnh S ph thuc ca ng sut cc i vo ỏp sut áp suất (atm) áp suất (atm) Hỡnh S ph thuc ca ... 24 Độ lệch màng cức đại (micro mét) 22 20 18 16 14 12 10 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.2 1.4 1.6 1.8 2.2 áp suất (atm) Hỡnh S ph thuc ca lch cc i trờn mng cm bin vo ỏp sut Kt qu cho thy, vựng kho sỏt,...
- 7
- 405
- 1
Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS
Ngày tải lên :
25/03/2015, 11:45
... 2.2 CẢM BIẾN ÁP SƯẤT CÔNG NGHỆ MEMS ứng dụng MEMS để đo áp suất ứng dụng cảm biển vi Si Những cảm biến áp suất phát triển với dải rộng kỹ thuật cảm biến tò loại phổ biến áp trở đến cảm biến áp suất ... suất khí với áp suất khác Áp suất tuyệt đổi: đo so với áp suất chân không lý tưởng Một ví dụ đo áp suất khí Áp suất vi sai đo sai khác áp suất điểm phép đo Thiết kế cảm biến đo áp suất vi sai ... 1-8: Sơ đồ khối chức cảm biến áp suất Các loại phần tử cảm biến phổ biến ống Bourdon, màng, nồi capxun ống xếp (xem hĩnh 1-9) Ông Bourdon: Ống Bourdon ống bịt kín m ột đầu đàu lại nối tới áp suất...
- 110
- 443
- 0
thử nghiệm một hệ đo áp dụng cho cảm biến áp suất MPX2300D do công ty Motorola cung cấp.
Ngày tải lên :
16/04/2013, 10:35
... 1.5 Sơ đồ khuyếch đại lock in [15] Có hai cách thực thi sơ đồ Trong phương pháp cổ điển tất chức lock-in thực kỹ thuật analog (tương tự) Nhưng có phương pháp khác thực thi sơ đồ trên, phương pháp ... Nghiệp Hình 2.10 Sơ đồ khối Timer Hình 2.11 Sơ đồ khối Timer Sinh Viên : Lê Trần Triệu Tuấn 29 ĐH Công Nghệ - ĐHQG Hà Nội Khóa Luận Tốt Nghiệp Hình 2.12 Sơ đồ khối Timer Hình 2.13 Sơ đồ khối Timer ... yêu cầu cắt tần số 10kHz Sơ đồ lọc thông thấp Sellen Key trình bày hình 3.3 Hình 3.3 Sơ đồ lọc Sallen Key Sơ đồ lọc Sallen Key dùng khóa luận trình bày hình 3.4 Hình 3.4 Sơ dồ lọc Sallen Key sử...
- 72
- 644
- 0
Sơ lược về cảm biến áp suất
Ngày tải lên :
24/10/2013, 12:15
... biệt Kết phép đo áp suất vi sai không rõ áp suất tuyệt đối hay calip, hai bên phép đo so sánh cách trực tiếp Giá trị đọc độ chênh lệch áp suất không cho biết độ lớn cụ thể áp suất bên Nếu áp suất ... nhập vào cảm biến Khi sử dụng, cảm biến phải nạp đầy chất trơ, thường đầu silicon để truyền áp suất toàn hệ thống Bộ bảo vệ áp (overpressure protector) – van lò xo tự đóng trường hợp áp suất lớn ... bleed valve) – van lắp đoạn ống nối, cho phép áp suất xả từ cảm biến sau đóng kết nối trình Van thủy lực (Snubber) – thiết bị làm chậm lại dòng chảy từ trình đến cảm biến, chủ yếu để ngăn chặn...
- 6
- 2K
- 34
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
Ngày tải lên :
16/03/2014, 12:43
... áp ứng nhu cầu đa dạng đòi hỏi cảm biến áp suất phải áp ứng cách tốt cho trường hợp cụ thể Chính cảm biến áp suất kiểu áp trở, áp ứng phần độ nhạy khả đo áp suất phạm vi rộng Cảm biến áp suất ... Cuối tìm hiểu loại cảm biến áp suất khác sử dụng công nghệ MEMS Chương 2: Thiết kế mô cảm biến áp suất áp điện trở Trên sở dùng phương pháp giải tích Mô đặc tính học màng cảm biến dùng phần mềm ... thật áp ứng Do đó, luận văn tập trung vào đặc tính vật liệu silic đơn tinh thể, vật liệu sử dụng phổ biến linh kiện MEMS đặc biệt đặc tính áp điện trở Việc nghiên cứu MEMS cảm biến áp suất áp điện...
- 4
- 1.1K
- 7
cảm biến áp suất dựa trên phép đo biến dạng
Ngày tải lên :
28/11/2014, 16:15
... tĩnh cảm biến áp suất dùng biến đổi cảm ứng: (20.21) Để đo độ tự cảm L người ta dùng cầu đo xoay chiều mạch cộng hưởng LC B ộ biến đổi kiểu biến áp vi sai Bộ biến đổi áp suất kiểu biến áp vi ... ngang ống hình trái xoan Dưới tác dụng áp suất dư ống, lò xo giãn ra, tác dụng áp suất thấp co lại Hình 20.6: Lò xo ống Đối với lò xo ống thành mỏng biến thiên góc tâm (γ) tác dụng áp suất (p) ... Lò xo ống kim loại uốn cong, đầu giữ cố định đầu để tự Khi đưa chất lưu vào ống, áp suất tác dụng lên thành ống làm cho ống bị biến dạng đầu tự dịch chuyển Trên hình (20.6a) sơ đồ lò xo ống vòng,...
- 9
- 551
- 8
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
Ngày tải lên :
25/03/2015, 11:56
... áp ứng nhu cầu đa dạng đòi hỏi cảm biến áp suất phải áp ứng cách tốt cho trƣờng hợp cụ thể Chính cảm biến áp suất kiểu áp trở, áp ứng phần độ nhạy khả đo áp suất phạm vi rộng Cảm biến áp suất ... silicon vi 1.3.2 Cảm biến áp suất áp trở 1.3.3 Cảm biến áp suất kiểu tụ điện 1.3.4 Cảm biến áp suất cộng hưởng 1.3.5 Các kỹ thuật MEMS cảm biến áp suất khác Chương ... cảm biến áp suất áp 61 điện trở 29 Hình 2.10 Kết tính tốn phần tử hữu hạn cảm biến 62 áp suất với L = 500 µm, H = 10 µm, P = 100 KPa 30 Hình 2.11 Kết tính tốn phần tử hữu hạn cảm biến 63 áp suất...
- 110
- 1.1K
- 5
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
Ngày tải lên :
16/11/2016, 21:19
... hệ áp suất điện áp ngỏ 69 cảm biến với nguồn cung cấp khác 39 Hình 2.20 Sơ đồ mặt nạ cảm biến áp suất có kích 71 thước mm x mm 40 Hình 3.1 (a) Sắp xếp áp điện trở dây kết nối bên cảm biến áp suất, ... kế 50 25 Hình 2.6 Cảm biến áp suất kết nối dùng điện trở 50 cầu Wheatstone 26 Hình 2.7 Cấu trúc cảm biến áp suất 59 27 Hình 2.8 Mô hình phần tử hữu hạn cuả cảm biến áp suất áp 60 điện trở 28 ... tải cảm biến áp suất áp 61 điện trở 29 Hình 2.10 Kết tính toán phần tử hữu hạn cảm biến 62 áp suất với L = 500 µm, H = 10 µm, P = 100 KPa 30 Hình 2.11 Kết tính toán phần tử hữu hạn cảm biến 63 áp...
- 12
- 365
- 0
khảo sát đặc trưng và khả năng ứng dụng của cảm biến áp suất MEMS
Ngày tải lên :
11/04/2013, 16:01
... hỡnh trũn c khoan trờn thnh bỡnh o trc tip s bin dng ca thnh bỡnh ỏp sut gõy nờn 69 Đầu bịt kín ống thuỷ tinh 670mmHg Hight o ỏp sut, trc õy ngi ta s dng ỏp sut k Torricelli Hỡnh mụ t mt ỏp sut...
- 23
- 1.2K
- 2
Tài liệu Ứng dụng cảm biến áp suất MEMS trong thiết bị điện tử y tế pdf
Ngày tải lên :
10/12/2013, 14:15
... vào áp suất Bằng cách đo điện lối ta đo độ lớn tương ứng áp suất tác dụng lên màng Cảm biến áp suất loại cảm biến thường dùng công nghiệp Trong y tế cảm biến áp suất thường sử dụng để đo áp suất ... 2 CẢM BIẾN ÁP SUẤT VI CƠ ĐIỆN TỬ 2.1 Cấu hình nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất Trên sở hiệu ứng áp trở vật liệu silicon, nhiều loại vi cảm biến chấp hành phát triển ... trúc cảm biến áp suất Khi áp suất đặt lên màng, cầu điện trở trạng thái cân bằng, điện lối lúc Khi có áp suất đặt lên, màng mỏng bị biến dạng, áp lực phân bố màng bị thay đổi Do hiệu ứng áp điện...
- 5
- 1.8K
- 45
CẢM BIẾN ÁP SUẤT
Ngày tải lên :
03/01/2014, 22:51
... 105 Pa Ngoi 1atm bar 1bar=14,504psi atm = 14,696 psi 3.Phõn loi ỏp sut bar áp suất tư ơng đối áp suất tuyệt đối áp suất khí p sut chõn khụng II.Phõn loi phng tin o ỏp sut: 1.Da theo dng ỏp sut...
- 36
- 4.4K
- 24
Tài liệu Cảm biến áp suất đường ống nạp pdf
Ngày tải lên :
20/01/2014, 16:20
... ống nạp phía bên thông với buồng chân không bên Vì vậy, không cần phải hiệu chỉnh mức bù cho độ cao lớn áp suất đường ống nạp đo xác độ cao thay đổi Một thay đổi áp suất đường ống nạp làm ... chíp dao động theo mức biến dạng Tín hiệu điện áp, mà IC biến đổi từ sư dao động giá trị điện trở gọi tín hiệu PIM LƯU Ý KHI SỬA CHỮA: Nếu ống chân không nối với cảm biến bị rời ra, lượng phun ... biến bị rời ra, lượng phun nhiên liệu đạt mức cao nhất, động không chạy cách thích hợp Ngoài giắc nối bị rời ra, ECU động chuyển sang chế độ an toàn ...
- 6
- 3.6K
- 42
Tài liệu khảo sát và ứng dụng cảm biến ap suất MEMS ppt
Ngày tải lên :
20/01/2014, 21:20
... hỡnh trũn c khoan trờn thnh bỡnh o trc tip s bin dng ca thnh bỡnh ỏp sut gõy nờn 69 Đầu bịt kín ống thuỷ tinh 670mmHg Hight o ỏp sut, trc õy ngi ta s dng ỏp sut k Torricelli Hỡnh mụ t mt ỏp sut...
- 23
- 779
- 3
Tài liệu Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian docx
Ngày tải lên :
26/01/2014, 00:20
... so sánh đầu cảm biến từ hai áp suất giống nhiệt độ cảm biến đặt vị trí dầu Việc so sánh đầu cảm biến thực khoảng năm sau điều kiện lắp đặt áp suất nhiệt độ tiếp xúc giống hệt Áp suất thay đổi ... khác biệt ứng suất hai phương tương ứng với áp suất đo lường áp điện trở cầu điện trở Khi tác dụng áp lực bên đến phần tử ống để đo ứng suất nén chống lại áp lực gây hư hại Phần tử cảm biến chế tạo ... điều kiện điện áp cao thủy tinh kim loại xuyên qua lỗ khoang phần tử cảm biến gây áp suất cao phần mạch ghép Phần tử cảm biến gắn cách dính vào khối dây liên kết không nhạy cảm Và kết nối điện thực...
- 7
- 702
- 3
Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian pptx
Ngày tải lên :
25/03/2014, 04:22
... so sánh đầu cảm biến từ hai áp suất giống nhiệt độ cảm biến đặt vị trí dầu Việc so sánh đầu cảm biến thực khoảng năm sau điều kiện lắp đặt áp suất nhiệt độ tiếp xúc giống hệt Áp suất thay đổi ... điều kiện điện áp cao thủy tinh kim loại xuyên qua lỗ khoang phần tử cảm biến gây áp suất cao phần mạch ghép Phần tử cảm biến gắn cách dính vào khối dây liên kết không nhạy cảm Và kết nối điện thực ... hàn điện trở Giảm áp lực màng ngăn giới hạn tới 50ppm áp suất áp dụng, áp suất bị khử điều chỉnh lúc bù Nhìn mặt cắt ngang vùng tách khỏi vỏ hình số Tổng trọng lượng cảm biến cảm biến không gian...
- 15
- 449
- 5
Cảm biến áp suất potx
Ngày tải lên :
25/03/2014, 04:22
... 3/16’’…kiểu răn ống nước thông dụng dể dàng lắp đặt Cảm biến áp suất Cảm biến chênh áp dùng làm đo mực nước dùng cho hệ thống lọc bồn hở nước 3 Cảm biến áp suất dùng điều khiển bơm Cảm biến áp suất cấp ... xuất cảm biến áp suất, cảm biến chênh áp, cảm biến mức công tắc áp suất dùng cho môi chất khí, nước, ga, chân không, dầu…, đặc biệt dùng môi trường chống nổ Sản phẩm sử dụng rộng rải phổ biến ... định bởi: INNOBIZ, CE, EM, R… Đơn vị đo cảm biến áp suất chia nhiều loại để dể dàng sử dụng nhiều lĩnh vực khác như: MPa, KPa, Pa, Bar, Kgf/cm, mmHg…đo áp suất âm lên đến 700Bar Chuẩn ren thiết...
- 4
- 514
- 3