cảm biến áp suất mems
khảo sát đặc trưng và khả năng ứng dụng của cảm biến áp suất MEMS
... biến của cảm biến áp suất là sử dụng trong y tế để đo huyết áp của bệnh nhân. Trong máy đo huyết áp phần tử cảm biến chính là cảm biến áp suất. Cảm biến áp suất sẽ thu thập dữ liệu về áp suất ... vào độ lớn của áp suất tác dụng vào. Cảm biến áp suất kiểu màng có một số cấu trúc sau: Cảm biến áp suất tuyệt đối (hình 2.a) Cảm biến áp suất tương đối (hình 2.b) Cảm biến áp suất vi sai (hình ... trước, là áp suất chuẩn. Với cảm biến áp suất tuyệt đối, áp suất cần đo được so sánh với áp suất của chân không, còn cảm biến áp suất tương đối thì áp suất cần đo được so sánh với áp suất khí quyển....
- 23
- 1,192
- 2
Tài liệu Ứng dụng cảm biến áp suất MEMS trong thiết bị điện tử y tế pdf
... ứng của áp suất tác dụng lên màng. Cảm biến áp suất là một trong những loại cảm biến thường dùng nhất trong công nghiệp. Trong y tế thì cảm biến áp suất thường được sử dụng để đo áp suất trong ... tử. 2.2. Chế tạo cảm biến áp suất vi cơ điện tử Để chế tạo các cảm biến áp suất ta sử dụng một phiến silic loại n, bề dày 380µm, có định hướng bề mặt là {100}, điện trở suất nằm trong khoảng ... tạo lớp Al Tạo cửa sổ Nối dây và đóng vỏ Hình2. Cấu trúc cảm biến áp suất. Hình 3. Quy trình chế tạo cảm biến áp suất hiệu ứng áp điện trở 2...
- 5
- 1,802
- 45
Tài liệu khảo sát và ứng dụng cảm biến ap suất MEMS ppt
... biến của cảm biến áp suất là sử dụng trong y tế để đo huyết áp của bệnh nhân. Trong máy đo huyết áp phần tử cảm biến chính là cảm biến áp suất. Cảm biến áp suất sẽ thu thập dữ liệu về áp suất ... vào độ lớn của áp suất tác dụng vào. Cảm biến áp suất kiểu màng có một số cấu trúc sau: Cảm biến áp suất tuyệt đối (hình 2.a) Cảm biến áp suất tương đối (hình 2.b) Cảm biến áp suất vi sai (hình ... suất vi sai (hình 2.c) Hình 2. Các loại cảm biến áp suất kiểu màng a) Cảm biến áp suất tuyệt đối b) Cảm biến áp suất tương đối c) Cảm biến áp suất vi sai 78Hình 10. Bài toán thử sức...
- 23
- 779
- 3
Tài liệu Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian docx
... ra cảm biến từ hai áp suất giống nhau và nhiệt độ cảm biến được đặt cùng một vị trí trong dầu. Việc so sánh đầu ra cảm biến đã được thực hiện khoảng 3 năm sau trong điều kiện lắp đặt áp suất ... điện áp cao thủy tinh kim loại xuyên qua lỗ giữa khoang phần tử cảm biến được gây áp suất cao và phần mạch được ghép. Phần tử cảm biến được gắn bằng cách dính vào khối dây liên kết không nhạy cảm. ... cùng, lỗ hổng cảm biến được điền đầy bằng silicon lỏng và được bịt kín bằng một bi được hàn điện trở. Giảm áp lực trên màng ngăn được giới hạn tới 50ppm của áp suất được áp dụng, áp suất bị khử...
- 7
- 702
- 3
thử nghiệm một hệ đo áp dụng cho cảm biến áp suất MPX2300D do công ty Motorola cung cấp.
... tasẽ thử nghiệm một hệ đo cho cảm biến có nhân là bộ khuyếch đại lock-in vừa chế tạo. Cụthể trong bản khóa luận sẽ thử nghiệm một hệ đo áp dụng cho cảm biến áp suất MPX2300D do công ty Motorola ... ký hiệu sau: Ud điện áp vào hiệu UP , IP điện áp vào và dòng điện vào cửa thuận. UN , IN điện áp vào và dòng điện vào cửa đảo. Ur , Ir điện áp ra và dòng điện ra. Bộ ... biến đổi DAC sử dụng trong khóa luận Trong khóa luận, em sử dụng kiểu biến đổi DAC mạng R/2R 4 bít ghép nối với vi xửlý. Sơ đồ của bộ biến đổi được trình bày trên Hình 3.10Hình 3.10. Bộ biến...
- 72
- 644
- 0
Sơ lược về cảm biến áp suất
... không.* Áp suất calip: là một dạng của áp suất vi sai, là áp suất ở một khu vực hoặc đường ống so với áp suất khí quyển. Loại này được áp dụng phổ biến nhất.Hai đơn vị đo áp suất phổ biến nhất ... vi sai: là áp suất trong một khu vực hoặc một đường ống khi được so với áp suất khác. Giá trị đọc là sự chênh lệch giữa hai áp suất và không tính đến áp suất của hai bên so với áp suất của khí ... trong vỏ cảm biến, các cảm biến thường điều chỉnh giá trị đọc của thiết bị đo bằng cách sử dụng hệ số sửa cố định hoặc các đơn vị phức tạp hơn sử dụng một áp suất khí áp đã được đo.* Áp suất...
- 6
- 2,022
- 34
CẢM BIẾN ÁP SUẤT
... biến áp suất màng sọc co giãn kim loại3. Cảm biến áp suất màng sọc co giãn kim loạiII.Phân loại phương tiện đo áp suất: 1.Dựa theo dạng áp suất :- Áp kế, áp – chân kế: đo áp suất dư.-Khí áp ... (baromet): đo áp suất khí khí quyển.-Chân không kế, áp kế hút: đo áp âm- Áp kế hiệu số: đo áp suất hiệu-Để đo áp suất tuyệt đối ta dùng áp kế và khí áp kế khi áp suất tuyệt đối lớn hơn áp suất khí ... hiệu ứng áp điện. Dưới áp suất tĩnh tinh thể thạch anh không xảy ra hiệu ứng áp điện. Do đó để đo được áp suất cần phải biến áp suất thành lực bằng một màng mỏng. Các cảm biến đo áp suất tinh...
- 36
- 4,441
- 24
Tài liệu Cảm biến áp suất đường ống nạp pdf
... CẢM BIẾN ÁP SUẤT ĐƯỜNG ỐNG NẠP Cảm biến áp suất đường ống nạp được dùng cho hệ thống EFI kiểu D để cảm nhận áp suất đường ống nạp. Đây là một trong những cảm biến quan trọng ... trọng nhất trong EFI kiểu D. Bằng cách gắn một IC vào cảm biến này, cảm biến áp suất đường ống nạp cảm nhận được áp suất đường ống nạp như một tín hiệu PIM. Sau đó ECU động cơ xác ... định trước, được gắn vào bộ cảm biến này. Một phía của chip này được lộ ra với áp suất của đường LƯU Ý KHI SỬA CHỮA: Nếu ống chân không được nối với cảm biến này bị rời ra, lượng phun...
- 6
- 3,576
- 42
Khảo sát đặc trưng và khả năng ứng dụng của cảm biến gia tốc MEMS
... nghiệm 3.1. Mô tả cảm biến 3.1.1 Giới thiệu chung Hai loại cảm biến gia tốc được sử dụng phổ biến trong các ứng dụng hiện nay là cảm biến kiểu tụ và kiểu áp trở. Cảm biến gia tốc được ... dụng của cảm biến gia tốc Cảm biến gia tốc vi cơ đã nhanh chóng thay thế các loại cảm biến gia tốc thông thường trước đây trong nhiều ứng dụng. Một vài những ứng dụng điển hìnhcủa cảm biến gia ... KHẢ NĂNG ỨNG DỤNG CỦA CẢM BIẾN GIA TỐC MEMS 1. Mục đích Khảo sát cảm biến gia tốc chế tạo theo công nghệ MEMS, trên cơ sở đó thực hiện một bài toán sử dụng cảm biến gia tốc: Bài toán...
- 27
- 1,911
- 8
Chương VIII: Cảm biến đo áp suất chất lưu
... một mặt phẳng, áp suất động chuyển thành áp suất tĩnh, áp suất tác dụng lên mặt phẳng là áp suất tổng. Do vậy, áp suất động đợc đo thông qua đo chênh lệch giữa áp suất tổng và áp suất tĩnh. Thông ... hiện nhờ hai cảm biến nối với hai đầu ra của một ống Pitot, trong đó cảm biến (1) đo áp suất tổng còn cảm biến (2) đo áp suất tĩnh. Có thể đo áp suất động bằng cách đặt áp suất tổng ... a) R 2a 2b A A - 126 -Chơng VIII Cảm biến đo áp suất CHấT lu 8.1. áp suất và nguyên lý đo áp suất 8.1.1. áp suất và đơn vị đo áp suất là đại lợng có giá trị bằng tỉ số giữa lực...
- 16
- 1,077
- 18
Tài liệu Chương 8: Cảm biến đo áp suất chất lưu doc
... đo áp suất. Trong cách đo thứ hai, ngời ta gắn lên thành bình các cảm biến đo ứng suất để đo biến dạng của thành bình. Biến dạng này là hàm của áp suất. Đối với chất lu chuyển động, áp suất ... áp suất tĩnh có thể tiến hành bằng các phơng pháp sau: - Đo áp suất chất lu lấy qua một lỗ đợc khoan trên thành bình nhờ cảm biến thích hợp. - Đo trực tiếp biến dạng của thành bình do áp suất ... thay đổi nhiệt độ. - 126 -Chơng VIII Cảm biến đo áp suất CHấT lu 8.1. áp suất và nguyên lý đo áp suất 8.1.1. áp suất và đơn vị đo áp suất là đại lợng có giá trị bằng tỉ số giữa lực tác...
- 16
- 750
- 9
Tài liệu Cảm biến đo áp suất chất lưu_chương 8 doc
... a) R 2a 2b A A - 126 -Chơng VIII Cảm biến đo áp suất CHấT lu 8.1. áp suất và nguyên lý đo áp suất 8.1.1. áp suất và đơn vị đo áp suất là đại lợng có giá trị bằng tỉ số giữa lực ... -Giới hạn trên của cảm biến áp suất dùng bộ biến đổi áp điện từ 2,5 - 100 MPa, cấp chính xác 1,5;2. Bộ biến đổi áp điện có hồi áp tần số rất tốt nên thờng dùng để đo áp suất thay đổi nhanh, ... đo áp suất. Trong cách đo thứ hai, ngời ta gắn lên thành bình các cảm biến đo ứng suất để đo biến dạng của thành bình. Biến dạng này là hàm của áp suất. Đối với chất lu chuyển động, áp suất...
- 16
- 472
- 1
Tìm thêm: xác định các mục tiêu của chương trình xác định các nguyên tắc biên soạn khảo sát các chuẩn giảng dạy tiếng nhật từ góc độ lí thuyết và thực tiễn khảo sát chương trình đào tạo của các đơn vị đào tạo tại nhật bản tiến hành xây dựng chương trình đào tạo dành cho đối tượng không chuyên ngữ tại việt nam điều tra đối với đối tượng giảng viên và đối tượng quản lí khảo sát các chương trình đào tạo theo những bộ giáo trình tiêu biểu nội dung cụ thể cho từng kĩ năng ở từng cấp độ xác định mức độ đáp ứng về văn hoá và chuyên môn trong ct mở máy động cơ lồng sóc mở máy động cơ rôto dây quấn hệ số công suất cosp fi p2 đặc tuyến hiệu suất h fi p2 đặc tuyến mômen quay m fi p2 đặc tuyến tốc độ rôto n fi p2 đặc tuyến dòng điện stato i1 fi p2 sự cần thiết phải đầu tư xây dựng nhà máy thông tin liên lạc và các dịch vụ chỉ tiêu chất lượng theo chất lượng phẩm chất sản phẩm khô từ gạo của bộ y tế năm 2008 chỉ tiêu chất lượng 9 tr 25