廣 隆 光 電 科 技 股 份 有 限 公 司 利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司 修訂日期 Chỉnh Sửa 版次 Phiên Bản 制訂日期 SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明 Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM 01 Ngày Lập Biểu 78-005 2009/09/15 1/6 文件修訂頁 Trang Chỉnh Sửa Văn Kiện 修訂 Chỉnh Sửa 設變號碼 次數 MS.Thay Đổi Trang 日期 Ngày 發行日期 實施日期 Ngày Phát Hành Ngày Thực Thi 設變內容 Nội Dung Thay Đổi 廣 隆 光 電 科 技 股 份 有 限 公 司 利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司 修訂日期 Chỉnh Sửa 版次 Phiên Bản 制訂日期 -01 SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明 Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM Ngày Lập Biểu 78-005 2009/09/15 2/6 目的 Mục đích 規範 SEM 掃描式電子顯微鏡之操作方法。 Phương pháp thao tác kính hiển vi điện tử SEM 適用範圍 Phạm vi ứng dụng 適用於極板活化物質、隔板、格子體等物體表面形貌之顯微分析。 Áp dụng chì vật chất rời, giấy cách, thẻ ô vuông loại vật bề phân tích kính hiển vi 參考資料 Tài liệu thao khảo 3.1『Instructions for JSM-5200 Scanning Microscope No JSM5200-3,JOEL Co』 3.2『78-002 冰水機操作說明』 Thuyết minh thao tác mở máy nước lạnh 78-002 名詞定義 Định nghĩa 無 Không 廣 隆 光 電 科 技 股 份 有 限 公 司 利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司 修訂日期 Chỉnh Sửa 版次 Phiên Bản -01 制訂日期 SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明 Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM 作業標準描述 Tiêu chuẩn thao tác Ngày Lập Biểu 78-005 Các bước thao taùc 5.1.1 打開冰水機(參考 78-002 冰水機操作說明之開機步 驟)。（圖 1） Mở máy nước lạnh (tham khảo thuyết minh thao tác mở máy nước lạnh bước mở máy) (ảnh 1) 圖 (ảnh 1) 燈亮（圖 2）。 Mở cơng tắc máy ổn áp 3KVA (đèn màu đỏ IND sáng lên) (ảnh 2) 5.1.3 分鐘後，將 SEM 螢幕左邊的 key 轉到 start 後鬆手。（圖 3） Sau phút Vặn nút „key‟ sang „start‟ bỏ tay (phía trái 圖 (ảnh 2) hình SEM) (ảnh 3) 5.1.4 暖機時間約為 20-30 分鐘，完成暖機後螢幕下方會顯 示“DP wait”，此時即可開始操作儀器。 Thời gian ổn định máy từ 20-30 phút Sau ổn định máy, phía hình thị “DP wait” Lúc thao tác máy 圖 (aûnh 3) 5.1.5 按 vent 鈕使螢幕下方顯示真空度下降至 0%(若未下降 至”0%”，則按 select 鈕數次，直到真空度降到真空度 為”0%”) 此時就可以開始裝試片。（圖 4） Nhấn nút „vent‟ để hình thị độ chân không hạ đến 0% (nếu không đạt 0% nhấn nút „select‟ nhiều lần độ chân khơng đạt 0%) Lúc bắt đầu đặt vật mẫu vào thử nghiệm (ảnh 4) 圖 (aûnh 4) 5.1.6 將 SEM 旁邊的圓柱形試片室的門打開，然後將試片 放入試片室內之固定座後關上門。（圖 5） Mở cửa hộp chứa mẫu (hình trụ tròn, kế bên máy SEM), sau đặt vật mẫu vào, cố định vị trí đóng cửa lại (ảnh 5) 5.1.7 按 EVAC 鈕，使螢幕下的真空度回升到 100%。 Nhấn nút EVAC, để hình thị độ chân khơng tăng lên 100% 3/6 圖片說明 Hình ảnh 操作步驟： 5.1.2 將 3KVA 穩壓器的 POWER on 往上扳，使 IND 的紅 2009/09/15 圖 (aûnh 5) 廣 隆 光 電 科 技 股 份 有 限 公 司 利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司 修訂日期 Chỉnh Sửa 版次 Phiên Bản -01 制訂日期 SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明 Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM 作業標準描述 Tiêu chuẩn thao tác Ngày Lập Biểu 78-005 圖片說明 Hình ảnh 5.1.8 等螢幕下方出現”HT ready”後,按操作板上的 HT 鈕。 （圖 6） Chờ hình thị “HT ready”, nhấn nút HT (ảnh 6) 5.1.9 按 LSP1 後,旋轉 BRIGHTNESS 鈕,使螢幕上的直線移 至螢幕下方。（圖 7） Nhấn LSP1, vặn nút BRIGHTNESS, để đường thẳng dời xuống phía hình(ảnh 7) 5.1.10 時針旋轉 FILAMENT 鈕,使直線開始產生 peak,繼續 旋轉 FILAMENT 鈕,直到 peak 不在上升為止(轉到 12 點位 置後檢查 FILAMENT 鈕旁邊的燈是否有亮後再繼續旋 轉)。（圖 6） 圖 (aûnh 6) Vặn nút FILAMENT thuận chiều kim đồng hồ, làm cho đường thẳng hình bắt đầu xuất peak tiếp tục vặn nút FILAMENT peak không cao lên (vặn đến vị trí (điểm 12 giờ) kiểm tra đèn kế bên nút FILAMENT có sáng khơng tiếp tục xoay) (ảnh 6) 5.1.11 TV 鈕，螢幕出現試片表面狀況後,即可開始觀察。 （圖 7） Nhấn nút TV, hình xuất trạng thái bề mặt vật mẫu, lúc bắt đầu quan sát (ảnh 7) 5.1.12 OT SIZE 鈕可以調整螢幕的亮度,及顯像狀況,但盡量 保持在 12 點鐘方向。（圖 6） Nút „SPOT SIZE‟ điều chỉnh độ sáng hình, trạng thái thị Nhưng cố gắng giữ vị trí (điểm 12 giờ) (ảnh 6) 5.1.13 VIEW 鈕旁的兩個鈕是用來調整放大倍數。左邊是放 大,右邊是縮小。 （圖 8） nút kế bên nút „VIEW‟ dùng để điều chỉnh độ phóng to Bên trái: phóng lớn bên phải: thu nhỏ (ảnh 8) 5.1.14 ARSE 是焦距的粗調，FINE 是焦距的微調，AUTO 則是自動對焦。（圖 8） ARSE: điều chỉnh thô khoảng cách, FINE: điều chỉnh tinh khoảng cách, AUTO: tự động điều chỉnh khoảng cách(ảnh 8) 2009/09/15 圖 (aûnh 7) 圖 (aûnh 8) 4/6 廣 隆 光 電 科 技 股 份 有 限 公 司 利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司 修訂日期 Chỉnh Sửa 版次 Phiên Bản -01 制訂日期 SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明 Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM 作業標準描述 Tiêu chuẩn thao tác Ngày Lập Biểu 78-005 圖片說明 Hình ảnh 5.2 照片程式 Thuyết minh chụp ảnh 5.2.1 如欲照相就按 EXP 鈕,調整 BRIGHTNESS 鈕與 （圖 6） CONTRAST 鈕直到螢幕上出現畫面。 Khi muốn chụp ảnh nhấn nút EXP, điều chỉnh nút BRIGHTNESS nút CONTRAST hình thị hình dạng (ảnh 6) 5.2.2 照片的日期時，先按 SET 鈕，按 FILM DATA 後再按 年、月、日。（圖 7） 圖 (aûnh 9) Nhập ngày tháng cho ảnh: trước hết nhấn nút SET, nhấn FILM DATA, sau nhập năm, tháng, ngày (ảnh 7) 5.2.3 將鏡頭對準螢幕後固定，把拍立得左邊的面板拉出到 藍線的位置（圖 9，10）。 Cố định ống kính hình, kéo bảng đến vị trí đường màu xanh(ảnh 9, 10) 5.2.4 按 SHUTTER 鈕，等 100 秒後關上拍立得的面板，先 拉開白紙，再快速拉出底片，20 秒後即可把底片上的顯像 層撕開。 Nhấn nút SHUTTER, chờ 100 giây sau đóng bảng lại, kéo giấy trắng kéo nhanh phim ra, 20 giây sau xé ảnh phim 5.3 關機程式 Trình tự tắt máy 5.3.1 將放大倍率調到最小。（圖 8） Điều chỉnh tỷ lệ phóng to đạt giá trị nhỏ nhất(ảnh 8) 5.3.2 按 HT 鈕。（圖 6） Nhấn nút HT (ảnh 6) 5.3.3 等 分鐘以上。 Chờ phút 5.3.4 按 VENT 鈕使真度下降到 0%。（圖 4） Nhấn nút VENT để độ chân không giảm 0% (ảnh 4) 5.3.5 取出試片。（圖 5） Lấy mẫu thử nghiệm ra(ảnh 5) 5.3.6 按 EVAC 使真空度回升到 100%。 Nhấn nút EVAC để độ chân không tăng lên 100% 2009/09/15 圖 10 (aûnh 10) 5/6 廣 隆 光 電 科 技 股 份 有 限 公 司 利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司 修訂日期 Chỉnh Sửa 版次 Phiên Bản -01 制訂日期 SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明 Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM 作業標準描述 Tiêu chuẩn thao tác 5.3.7 20 分鐘後關冰水機(參考 L78-002 冰水機操作說明之 關機步驟)。 Chờ 20 phút sau tắt máy nước lạnh (tham khảo thao tác tắt máy nước lạnh bước tắt máy L87-002) 5.3.8 旋轉 key 至 OFF。 Vặn „key‟ sang OFF 5.3.9 關穩壓器 OFF。 Tắt máy ổn áp OFF 注意事項 Hạng mục ý 6.1 開始分析後，嚴禁碰撞圓柱型鎗體，避免燈絲燒掉 Sau phân tích mở, cấm khơng đđược đập vào trụ tròn hình dạng súng , để tránh bị cháy đèn 6.2 儀器操作時，需避免地面震動，以免影響分析結果。 Trong thao tác khí, phải tránh mặt đất động, tránh khỏi ảnh hưởng phân tích kết 6.3 點燃燈絲時，需緩慢進行，避免燈絲燒掉。 Trong nốt đèn, phải tiến hành chậm chạp, tránh xảy đèn cháy Ngày Lập Biểu 2009/09/15 78-005 圖片說明 Hình ảnh 6/6 ... 版次 Phiên Bản 制訂日期 -01 SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明 Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM Ngày Lập Biểu 78-005 2009/09/15 2/6 目的 Mục đích 規範 SEM 掃描式電子顯微鏡之操作方法。 Phương pháp thao tác kính hiển vi điện. .. 利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司 修訂日期 Chỉnh Sửa 版次 Phiên Bản -01 制訂日期 SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明 Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM 作業標準描述 Tiêu chuẩn thao tác Ngày Lập Biểu 78-005 圖片說明 Hình ảnh 5.1.8... 利 隆 ( 越 南 ) 股 份 有 限 公 司 修訂日期 Chỉnh Sửa 版次 Phiên Bản -01 制訂日期 SEM 掃描式電子顯微鏡操作說明 Thuyết minh thao tác kính hiển vi điện tử SEM 作業標準描述 Tiêu chuẩn thao tác Ngày Lập Biểu 78-005 圖片說明 Hình ảnh 5.2