CẢM BIẾN KIỂU LỰC CĂNG NGUYÊN LÝ • Để đo áp suất, người ta sử dụng vật liệu bán dẫn thường silic (Si) có đưa thêm tạp chất vào tinh thể để tạo bán dẫn loại p n • Loại vật liệu có tính chất áp điện, điện trở vật liệu phụ thuộc vào lực nén lên tinh thể • Nếu tinh thể loại P điện trở tăng bị dãn • Nếu tinh thể loại N điện trở tăng bị nén NGUYÊN LÝ CẢM BIẾN KIỂU LỰC CĂNG ... thể loại P điện trở tăng bị dãn • Nếu tinh thể loại N điện trở tăng bị nén NGUYÊN LÝ CẢM BIẾN KIỂU LỰC CĂNG ... đo áp suất, người ta sử dụng vật liệu bán dẫn thường silic (Si) có đưa thêm tạp chất vào tinh thể để tạo bán dẫn loại p n • Loại vật liệu có tính chất áp điện, điện trở vật liệu phụ thuộc vào lực