tr-êng §¹i häc s- ph¹m kü tht h-ng yªn khoa c¬ khÝ ®éng lùc Bµi gi¶ng dïng chung Kü THT C¶M BIÕN Vµ §O L¦êNG TRONG §IỊU KHIĨN (Dïng cho c¸c hƯ ngµnh CN c¬ ®iƯn-b¶o tr×, C¬ ®iƯn l¹nh vµ §iỊu hßa kh«ng khÝ, c¬ khÝ ®éng lùc) ¸p dơng cho Ch-¬ng tr×nh tÝn chØ Biªn so¹n: Ngun h¶i hµ, Lª ngäc tróc, lª trÝ quang Bé m«n: c«ng nghƯ c¬ ®iƯn L¹NH & §HKK H-ng yªn, 2015 MỤC LỤC PHẦN I: ĐO LƯỜNG CHƯƠNG 1: KHÁI NIỆM CƠ BẢN VỀ ĐO LƯỜNG 1.1 Khá i niẹ m chung vè đo lường và thié t bị đo 1.2 Đơn vị đo, chuả n và mã u 1.2.1 Các khái niệm 1.2.2 Thiết bị chuẩn 1.2.3 Thiết bị mẫu 1.2.4 Cách truyền chuẩn 1.3 Cá u trú c bả n củ a dụ ng cụ đo 1.3.1 Sơ đồ cấu trúc chung dụng cụ đo 1.3.2 Sơ đồ cấu trúc dụng cụ đo biến đổi thẳng 1.3.3 Sơ đồ cấu trúc dụng cụ đo kiểu so sánh 1.3.4 Các khâu chức thiết bị đo 1.4 Cá c đạ c tính bả n củ a dụ ng cụ đo 1.4.1 Sai số tuyệt đối, sai số tương đối, sai số hệ thống 1.4.2 Cấp xác 1.4.3 Các phương pháp loại trừ sai số hệ thống 1.4.4 Xử lý kết đo CHƯƠNG 2: CƠ CẤU CHỈ THỊ ́ 2.1 Cơ cau chỉ thị củ a dụ ng cụ đo tương tự 2.1.1 Cơ sở chung thị điện 2.1.2 Cơ cấu thị từ điện, lơ gơ mét từ điện 2.1.3 Cơ cấu thị điện từ, lơ gơ mét điện từ 2.1.4 Cơ cấu thị điện động, lơ gơ mét điện động 2.1.5 Cơ cấu thị tĩnh điện 2.1.6 Cơ cấu thị cảm ứng 2.2 Cơ cấu thị tự ghi 2.2.1 Cơ sở chung cấu thị tự ghi 2.2.2 Cơ cấu thị tự ghi có tốc độ thấp 2.2.3 Cơ cấu thị tự ghi có tốc độ trung bình 2.2.4 Cơ cấu thị tự ghi có tốc độ cao 2.3 Chỉ thị só 2.3.1 Cơ sỏ chung cấu thị số 2.3.2 Thiết bị số CHƯƠNG 3: ĐO ĐIỆN ÁP VÀ DỊNG ĐIỆN 3.1 Đo dòng điện 3.1.1 Cơ sở chung 3.1.2 Các dụng cụ đo dòng điện 3.1.3 Đo dòng điện nhỏ 3.1.4 Đo dòng điện lớn 3.2 Đo điện áp 3.2.1 Cơ sở chung 3.2.2 Các dụng cụ tương tự đo điện áp 3.2.3 Các dụng cụ đo điện áp thị số CHƯƠNG 4: ĐO THỐNG SỐ MẠCH ĐIỆN 4.1 Đo điẹ n trở 4.1.1 Các phương án gián tiếp 4.1.2 Các phương án trực tiếp 4.2 Ơm kế i Trang 1 9 10 10 10 13 13 13 14 15 17 17 18 18 19 26 26 26 27 30 31 34 35 36 36 38 38 39 42 42 43 45 45 45 45 53 56 61 61 62 70 71 71 71 73 73 4.2.1 Ơm kế nối tiếp 4.2.2 Ơm kế sơ đồ song song 4.2.3 Ơm kế kiểu lơ gơ mét 4.3 Đo điẹ n trở lớn 4.3.1 Đo điện trở lớn phương pháp gián tiếp 4.4.2 Các ơm mét điện tử mê gơ mết điện tử 4.4 Cà u điện trở 4.4.1 Cầu đơn 4.4.2 Cầu kép 4.5 Đo điện dung góc tổn hao tụ điện 4.5.1 Khái niệm điện dung góc tổn hao 4.5.2 Các loại cầu đo điện dung góc tổn hao 4.6 Cầu đo điện cảm phẩm chất cuộn dây 4.6.1 Khái niệm chung 4.6.2 Các mạch cầu đo thơng số cảm mẫu PHẦN 2: CẢM BIẾN CHƯƠNG 5: KHÁI NIỆM CƠ BẢN VỀ CẢM BIẾN 5.1 Cá c khá i niẹ m bả n và định nghĩa 5.2 Phan loạ i cá c bọ cả m bié n 5.3 Đạ c tính bả n củ a cả m bié n ở ché đọ tĩnh 5.4 Đạ c tính bả n ở ché đọ đọ ng CHƯƠNG 6: CẢM BIẾN NHIỆT ĐỘ 6.1 Khá i niẹ m bả n 6.1.1 Khái niệm nhiệt độ 6.1.2 Các phương pháp đo nhiệt độ 6.1.3 Nhiệt độ đo nhiệt độ cần đo 6.2 Cả m bié n nhiẹ t điẹ n trở 6.2.1 Ngun lý 6.2.2 Vật liệu 6.2.3 Cấu tạo ngun lý hoạt động nhiệt điện trở 6.3 Cạ p nhiẹ t điẹ n 6.3.1 Hiệu ứng nhiệt điện 6.3.2 Vật liệu chế tạo 6.3.3 Cấu tạo 6.4 Cả m bié n vi mạ ch bá n dã n đo nhiẹ t đọ 6.4.1 Đo nhiệt độ diode transistor 6.4.2 Dùng IC LM35 6.5 Đo nhiẹ t đọ bà ng phương phá p khong tié p xú c 6.5.1 Nhiệt kế áp suất 6.5.2 Cảm biến siêu âm đo nhiệt độ CHƯƠNG 7: CẢM BIẾN QUANG 7.1 Khá i niẹ m bả n vè á nh sá ng 7.1.1 Tính chất ánh sáng 7.1.2 Hiệu ứng quang điện 7.2 Cá c đơn vị đo quang 7.3 Cả m bié n quang 7.3.1 Tế bảo quang điện photocell 7.3.2 Photodiode 7.3.3 Phototranzitor 7.4 Ứng dụ ng củ a cả m bié n quang 7.4.1 Mạch ứng dụng Photodiode ii 73 76 77 78 78 79 81 81 83 84 84 85 87 87 87 90 90 90 98 99 103 103 103 104 104 106 106 106 107 109 109 109 112 115 115 116 117 117 118 120 120 120 121 121 124 124 128 133 134 7.4.2Mạch ứng dụng Phototranzitor CHƯƠNG 8: CẢM BIẾN ĐO BIẾN DẠNG - LỰC 8.1 Đo bié n dạ ng 8.1.1 Biến dạng phương pháp đo 8.1.2 Đầu đo điện trở kim loại 8.1.3 Cảm biến áp trở Silic 8.2 Đo lực 8.2.1 Ngun lý đo lực 8.2.2 Cảm biến áp điện 8.3 Cả m bié n xú c giá c CHƯƠNG 9: ĐO VẬN TỐC, GIA TỐC VÀ ĐỘ RUNG 9.1 Khá i niẹ m chung 9.2 Đo vạ n tó c 9.2.1 Máy phát tốc chiều 9.2.2 Máy phát tốc xoay chiều 9.2.3 Đo tốc độ phương pháp đếm xung 9.2.4 Cảm biến điện từ đo vận tốc dài 9.3 Cả m bié n gia tó c và rung 9.3.1 Khái niệm 9.3.2 Chấn động kế cảm ứng CHƯƠNG 10: CẢM BIẾN ĐO LƯU LƯỢNG – VẬN TỐC CHẤT LƯU VÀ MỨC 10.1 Đo lưu lượng vận tốc 10.1.1 Khái niệm chung 10.1.2 Đo lưu lượng phương pháp đếm xung 10.1.3 Đo lưu lượng phương pháp chênh áp 10.1.4 Lưu lượng kế từ điện 10.1.5 Lưu lượng kế nhiệt 10.2 Phong tốc kế khí 10.3 Đo mức CHƯƠNG 11: CẢM BIẾN ĐO ĐỘ ẨM VÀ ĐIỆN HĨA 11.1 Cảm biến đo độ ẩm 11.1.1 Khái niệm chung 11.1.2 Phân loại cảm biến đo độ ẩm 11.1.3 Ẩm kế biến thiên trở kháng 11.1.4 Ẩm kế hấp thụ 11.2 Cảm biến điện hóa 11.2.1 Cảm biến điện cực 11.2.2 Cảm biến dòng điện 11.1.3 Cảm biến điện dẫn CHƯƠNG 12: CẢM BIẾN THƠNG MINH 12.1 Khái niệm chung 12.2 Cấu trúc cảm biến thơng minh 12.3 Các khâu cảm biến thơng minh 12.3.1 Chuyển đổi chuẩn hóa 12.3.2 Bộ dồn kênh MUX 12.3.3 Bộ chuyển đổi tương tự số 12.3.4 Một số thuật tốn xử lý cảm biến thơng minh 12.4 Ví dụ cảm biến thơng minh 4301 đo áp suất CHƯƠNG 13: MẠCH ĐO VÀ CHUẨN HĨA TÍN HIỆU 13.1 Chuả n hó a tín hiẹ u với cả m bié n điẹ n trở 13.1.1 Mạch phân áp 13.1.2 Cấu Wheastone làm việc chế độ cân iii 136 138 138 138 139 142 145 145 146 149 150 150 151 151 152 153 155 156 156 157 158 158 158 160 162 164 165 166 168 170 170 171 171 171 174 175 175 181 183 186 186 187 188 188 188 188 189 192 194 194 194 197 13.1.3 Cầu Wheastone đo theo phương pháp khơng cân 13.1.4 Cầu nhiều nhánh hoạt động 13.1.5 Nguồn cung cấp cho cầu Wheastone 13.2 Mạ ch khué ch đạ i đo lường 13.2.1 Khuếch đại vi sai 13.2.2 Khuếch đại sử dụng hai OPAM 13.3 Chuẩn hóa tín hiệu với cảm biến phát điện 13.4 Ghé p nó i cả m bié n với thié t vị xử lý và má y tính iv 200 203 205 205 207 208 210 216 CHƯƠNG Khái niệm đo lường 1.1 Khái niệm chung đo lường thiết bò đo Trong q trình nghiên cứu khoa học nói chung cụ thể từ việc nghiên cứu, thiết kế, chế tạo, thử nghiệm vận hành, sữa chữa thiết bị, q trình cơng nghệ… u cầu phải biết rõ thơng số đối tượng để có định phù hợp Sự đánh giá thơng số quan tâm đối tượng nghiên cứu thực cách đo đại lượng vật lý đặc trưng cho thơng số - Định nghĩa phép đo: Đo lường q trình đánh giá định lượng đại lượng cần đo để có kết số so với đơn vị đo Kết đo lường (Ax) giá trị số, định nghĩa tỉ số đại lượng cần đo (X) đơn vị đo (Xo): Ax = X/Xo - Q trình đo lường: q trình đo q trình xác định tỉ số: AX = X XO (1.1) Từ (1.1) có phương trình phép đo: X = Ax Xo , rõ so sánh X so với Xo, muốn đo đại lượng cần đo X phải có tính chất giá trị so sánh được, muốn đo đại lượng khơng có tính chất so sánh thường phải chuyển đổi chúng thành đại lượng so sánh Ví dụ: đo dòng điện I=5A, có nghĩa là: đại lượng cần đo dòng điện I, đơn vị đo A(ampe), kết số - Đo lường học: ngành khoa học chun nghiên cứu phương pháp để đo đại lượng khác nhau, nghiên cứu mẫu đơn vị đo - Kĩ thuật đo lường: ngành kĩ thuật chun nghiên cứu áp dụng thành đo lường học vào phục vụ sản xuất đời sống Như q trình đo lường cần phải quan tâm đến: đại lượng cần đo X (các tính chất nó), đơn vị đo XO phép tính tốn để xác định tỉ số (1.1) để có phương pháp xác định kết đo lường AX thỏa mãn u cầu Các đặc trưng kỹ thuật đo Mục đích q trình đo lường tìm kết đo lường AX, nhiên đẻ kết đo lường AX thỏa mãn u cầu đặt để sử dụng đòi hỏi phải nằm vững đặc trưng q trình đo lường Các đặc trưng kĩ thuật đo lường gồm: - Đại lượng cần đo - Kết đo - Điều kiện đo - Thiết bị đo - Đơn vị đo - Người quan sát thiết bị - Phương pháp đo thu nhận kết đo Đại lượng đo - Định nghĩa: đại lượng đo thơng số đặc trưng cho đại lượng vật lý cần đo Mỗi q trình vật lý có nhiều thơng số trường hợp cụ thể quan tâm đến thơng số đại lượng vật lý định Ví dụ: đại lượng vật lý cần đo dòng điện đại lượng cần đo giá trị biên độ, giá trị hiệu dụng, tần số … - Phân loại đại lượng đo: phân loại theo chất đại lượng đo, theo tính chất thay đổi đại lượng đo, theo cách biến đổi đại lượng đo ƒ Phân loại theo chất đối tượng đo: o Đại lượng đo điện: đại lượng đo có tính chất điện, tức có đặc trưng mang chất điện, ví dụ: điện tích, điện áp, dòng điện, trở kháng o Đại lượng đo khơng điện: đại lượng đo khơng có tính chất điện, ví dụ: nhiệt độ, độ dài, khối lượng … o Đại lượng đo lượng: đại lượng đo mang lượng, ví dụ: sức điện động, điện áp, dòng điện, từ thơng, cường độ từ trường … o Đại lượng đo thơng số: thơng số mạch điện, ví dụ: điện trở, điện cảm, điện dung … o Đại lượng đo phụ thuộc thời gian: chu kì, tần số … ƒ Phân loại theo tính chất thay đổi đại lượng đo: o Đại lượng đo tiền định: đại lượng đo biết trước qui luật thay đổi theo thời gian Ví dụ: dòng điện dân dụng i đại lượng tiền định biết trước qui luật thay đổi theo thời gian hàm hình sin theo thời gian, có tần số ω=2πf=314 rad/s, biên độ I, góc pha ban đầu φ o Đại lượng đo ngẫu nhiên: đại lượng đo có thay đổi theo thời gian khơng theo qui luật Trong thực tế đa số đại lượng đo đại lượng ngẫu nhiên, nhiên tùy u cầu kết đo tùy tần số thay đổi đại lượng đo xem gần đại lượng đo ngẫu nhiên tiền định phải sử dụng phương pháp đo lường thống kê ƒ Phân loại theo cách biến đổi đại lượng đo: o Đại lượng đo liên tục (đại lượng đo tương tự-analog): đại lượng đo biến đổi thành đại lượng đo khác tương tự với Tương ứng có dụng cụ đo tương tự, ví dụ: ampe mét có kim thị, vơnmét có kim thị … o Đại lượng đo số (digital): đại lượng đo biến đổi từ đại lượng đo tương tự thành đại lượng đo số Tương ứng có dụng cụ đo số, ví dụ: ampe mét thị số, vơnmét thị số… Hầu hết đại lượng đo qua cơng đoạn xử lý (bằng phương tiện xử lý: sensor) để chuyển thành đại lượng đo điện tương ứng - Tín hiệu đo: Tín hiệu đo loại tín hiệu mang đặc tính thơng tin đại lượng đo Trong trường hợp cụ thể tín hiệu đo tín hiệu mang thơng tin giá trị đại lượng đo lường, nhiều trường hợp xem tín hiệu đo đại lượng đo a Liên tục; Hình 1.1 Các dạng tín hiệu b Lượng tử; c Rời rạc; d Rời rạc lượng tử (số) Điều kiện đo Đại lượng đo chịu ảnh hưởng định mơi trường sinh nó, ngồi kết đo phụ thuộc chặt chẽ vào mơi trường thực phép đo, điều kiện mơi trường bên ngồi như: nhiệt độ, độ ẩm khơng khí, từ trường bên ngồi…ảnh hưởng lớn đến kết đo Để kết đo đạt u cầu phải thực phép đo điều kiện xác định, thường phép đo đạt kết theo u cầu thực điều kiện chuẩn điều kiện qui định theo tiêu chuẩn quốc gia theo qui định nhà sản xuất thiết bị đo Khi thực phép đo ln cần phải xác định điều kiện đo để có phương pháp đo phù hợp Đơn vị đo - Định nghĩa: Đơn vị đo giá trị đơn vị tiêu chuẩn đại lượng đo quốc tế qui định mà quốc gia phải tn thủ Ví dụ: đại lượng đo độ dài đơn vị đo m (mét), inch, dặm…; đại lượng đo khối lượng có đơn vị đo kg(kilơgam), aoxơ(ounce), pound… Trên giới người ta chế tạo đơn vị tiêu chuẩn gọi chuẩn Hệ thống đơn vị chuẩn quốc tế hệ SI, thành lập năm 1960, đơn vị xác định: đơn vị chiều dài mét(m); đơn vị khối lượng kilơgam(kg); đơn vị thời gian giây(s); đơn vị cường độ dòng điện ampe(A); đơn vị nhiệt độ kelvin(K); đơn vị cường độ ánh sáng nến candela(Cd); đơn vị số lượng vật chất mơn(mol) Các đại lượng Độ dài Khối lượng Thời gian Dòng điện Tên đơn vị mét kilơgam giây ampe Kí hiệu m kg s A Nhiệt độ Số lượng vật chất Cường độ ánh sáng Kelvin mơn Canđêla K Mol Cd Thiết bị đo phương pháp đo - Thiết bị đo: ƒ Định nghĩa: thiết bị đo thiết bị kĩ thuật dùng để gia cơng tín hiệu mang thơng tin đo thành dạng tiện lợi cho người quan sát Những tính chất thiết bị đo có ảnh hưởng đến kết sai số phép đo ƒ Phân loại: gồm thiết bị mẫu, chuyển đổi đo lường, dụng cụ đo lường, tổ hợp thiết bị đo lường hệ thống thơng tin đo lường , loại thiết bị thực chức riêng q trình đo lường - Phương pháp đo: ƒ Định nghĩa: phương pháp đo việc phối hợp thao tác q trình đo, bao gồm thao tác: xác định mẫu thành lập mẫu, so sánh, biến đổi, thể kết hay thị Các phương pháp đo khác phụ thuộc vào phương pháp nhận thơng tin đo nhiều yếu tố khác đại lượng đo lớn hay nhỏ, điều kiện đo, sai số, u cầu… ƒ Phân loại: thực tế thường phân thành hai loại phương pháp đo: o Phương pháp đo biến đổi thẳng o Phương pháp đo so sánh Người quan sát - Định nghĩa: người quan sát người thực phép đo gia cơng kết đo - Nhiệm vụ người quan sát thực phép đo: ƒ Chuẩn bị trước đo: phải nắm phương pháp đo, am hiểu thiết bị đo sử dụng, kiểm tra điều kiện đo, phán đốn khoảng đo để chọn thiết bị phù hợp, chọn dụng cụ đo phù hợp với sai số u cầu phù hợp với mơi trường xung quanh ƒ Trong đo: phải biết điều khiển q trình đo để có kết mong muốn ƒ Sau đo: nắm phương pháp gia cơng kết đo để gia cơng kết đo Xem xét kết đo đạt u cầu hay chưa, có cần phải đo lại hay phải đo nhiều lần theo phương pháp đo lường thống kê Kết đo - Định nghĩa: kết đo số kèm theo đơn vị đo hay đường cong ghi lại q trình thay đổi đại lượng đo theo thời gian Kết đo khơng phải giá trị thực đại lượng cần đo mà coi giá trị ước lượng đại lượng cần đo, nghĩa giá trị xác định thực nghiệm nhờ thiết bị đo Giá trị gần với giá trị thực mà điều kiện coi giá trị thực Để đánh giá sai lệch giá trị ước lượng giá trị thực người ta sử dụng khái niệm sai số phép đo, hiệu giá trị thực giá trị ước lượng Từ sai số đo đánh giá phép đo có đạt u cầu hay khơng Kết đo gia cơng theo thuật tốn (angơrit) định tay máy tính để có kết mong muốn Phân loại phương pháp đo Tùy thuộc vào đối tượng đo, điều kiện đo độ xác u cầu phép đo mà người quan sát phải biết chọn phương pháp đo khác để thực tốt q trình đo lường Có thể có nhiều phương pháp đo khác thực tế thường phân thành loại phương pháp đo phương pháp đo biến đổi thẳng phương pháp đo kiểu so sánh Phương pháp đo biến đổi thẳng - Định nghĩa: phương pháp đo có sơ đồ cấu trúc theo kiểu biến đổi thẳng, nghĩa khơng có khâu phản hồi - Q trình thực hiện: ƒ Đại lượng cần đo X qua khâu biến đổi để biến đổi thành số NX , đồng thời đơn vị đại lượng đo XO biến đổi thành số NO ƒ Tiến hành q trình so sánh đại lượng đo đơn vị (thực phép chia NX/NO), ƒ Thu kết đo: AX = X/XO = NX/NO Hình 1.2 Lưu đồ phương pháp đo biến đổi thẳng Q trình gọi q trình biến đổi thẳng, thiết bị đo thực q trình gọi thiết bị đo biến đổi thẳng Tín hiệu đo X tín hiệu đơn vị XO sau qua khâu biến đổi (có thể hay nhiều khâu nối tiếp) qua biến đổi tương tự-số A/D để có NX NO , qua khâu so sánh có NX/NO Dụng cụ đo biến đổi thẳng thường có sai số tương đối lớn tín hiệu qua khâu biến đổi có sai số tổng sai số khâu, dụng cụ đo loại thường sử dụng độ xác u cầu phép đo khơng cao Phương pháp đo kiểu so sánh - Định nghĩa: phương pháp đo có sơ đồ cấu trúc theo kiểu mạch vòng, nghĩa có khâu phản hồi - Q trình thực hiện: ƒ Đại lượng đo X đại lượng mẫu XO biến đổi thành đại lượng vật lý thuận tiện cho việc so sánh ƒ Q trình so sánh X tín hiệu XK (tỉ lệ với XO) diễn suốt q trình đo, hai đại lượng đọc kết XK có kết đo Q trình đo gọi q trình đo kiểu so sánh Thiết bị đo thực q trình gọi thiết bị đo kiểu so sánh (hay gọi kiểu bù) 207 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 208 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 209 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 210 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 211 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 212 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 213 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 214 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 215 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 216 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 217 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 218 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 3 219 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 220 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark 221 Please purchase PDF Split-Merge on www.verypdf.com to remove this watermark ... CHƯƠNG 8: CẢM BIẾN ĐO BIẾN DẠNG - LỰC 8.1 Đo bié n dạ ng 8.1.1 Biến dạng phương pháp đo 8.1.2 Đầu đo điện trở kim loại 8.1.3 Cảm biến áp trở Silic 8.2 Đo lực 8.2.1 Ngun lý đo lực 8.2.2 Cảm biến. .. trình đo lường Các đặc trưng kĩ thuật đo lường gồm: - Đại lượng cần đo - Kết đo - Điều kiện đo - Thiết bị đo - Đơn vị đo - Người quan sát thiết bị - Phương pháp đo thu nhận kết đo Đại lượng đo -... 10.3 Đo mức CHƯƠNG 11: CẢM BIẾN ĐO ĐỘ ẨM VÀ ĐIỆN HĨA 11.1 Cảm biến đo độ ẩm 11.1.1 Khái niệm chung 11.1.2 Phân loại cảm biến đo độ ẩm 11.1.3 Ẩm kế biến thiên trở kháng 11.1.4 Ẩm kế hấp thụ 11.2 Cảm