CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO CÁC VẬT LIỆU TỪ CẤU TRÚC NANO Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com [...]... công nghệ vật liệu để chế tạo các chi tiết vật liệu nhỏ, chế tạo các linh kiện vi cơ điện tử (MEMS) Hạn chế của quang khắc là do ánh sáng bị nhiễu xạ nên không thể hội tụ chùm sáng xuống kích cỡ quá nhỏ, vì thế nên không thể chế tạo các chi tiết có kích thước nano (độ phân giải của thiết bị quang khắc tốt nhất là 50 nm), do đó khi chế tạo các chi tiết nhỏ cấp nanomet, người ta phải thay bằng công nghệ. .. enhances the growth of carbon nanotubes in this laboratoryscale PECVD apparatus Công nghệ Lắng đọng từ pha hơi Vật liệu được chuyển thành pha hơi và các clusters kích thước nano được lắng đọng lên đế Thí dụ: hơ giấy nhôm lên ngọn nến đang cháy được một lớp bột màu đen bám lên giấy nhôm, đó chính là vật liệu nano Công nghệ Kết tủa từ pha lỏng Vật liệu nano có thể được kết tủa từ các dung dịch muối đậm... MIBK:IPA 1:3 Công nghệ Electron beam lithography Kết hợp với phương pháp bóc tách chế tạo cấu trúc nano của Co, Fe, Ni, NiFe, MoNiFe, CoFe, CoPt, Fe3O4 và NdFeB Tạo ra các điểm 55 nm, các vạch độ rộng 15 nm với mật độ đến 10Gbit/in2 Kết hợp với phương pháp ăn mòn chế tạo các cấu trúc nano từ các màng mỏng của Co, NiFe, Co CrPt, từ các màng có dịch chuyển vòng từ trễ IrMn/CoFe, NiO/Ni và từ các màng... không cao lắm khoảng 2.9 Gbit/in2 Công nghệ X-ray lithography Công nghệ giống như quang khắc DESIGNING NANOSCALE MATERIALS Những vạch 90 nm được tạo bởi X-ray chiếu vào đế có tẩm phủ PMMA Công nghệ Lithography bằng SPM Dùng điện trường của các đầu dò để oxi hóa bề mặt ăn mòn chọn lọc những chỗ đã bị oxy hóa ảnh của tấm Si được khắc dùng AFM Một số màng mỏng cấu trúc nano điển hình Quang khắc bằng chùm... lỏng Vật liệu nano có thể được kết tủa từ các dung dịch muối đậm đặc hoặc bằng phương pháp reversed micelle Công nghệ CVC (Chemical Vapor Condensation) Công nghệ Nanolithography Công nghệ này được sử dụng để tạo ra các cấu trúc kích thước nanomét Có 3 loại thường dùng: Electron beam lithography, X-ray lithography và Scanning probe microscopy Kỹ thuật quang khắc • Quang khắc là tập hợp các quá trình quang... quá trình CVD người ta có thể lắng đọng các vật liệu có các dạng khác nhau như: đơn tinh thể, đa tinh thể, vô định hình và epitaxi tạo nên các vật liệu như: silic, sợ cacbon, sợi nano cacbon, SiO 2, Si-Ge, nano tub cacbon…và các chất điện môi có điện trở CVD (Chemical Vapor Deposition) CVD là quá trình lắng đọng màng mỏng do phản ứng hóa học của các vật liệu nguồn trong pha hơi quá trình thường xảy... Sputtering) là kỹ thuật chế tạo màng mỏng dựa trên nguyên lý truyền động năng bằng cách dùng các iôn khí hiếm được tăng tốc dưới điện trường bắn phá bề mặt vật liệu từ bia vật liệu, truyền động năng cho các nguyên tử này bay về phía đế và lắng đọng trên đế Nguyên lý của quá trình phún xạ Bản chất quá trình phún xạ Khác với phương pháp bay bốc nhiệt, phún xạ không làm cho vật liệu bị bay hơi do đốt... bia tổ hợp trở nên phức tạp Khả năng tạo ra các màng rất mỏng với độ chính xác cao của phương pháp phún xạ là không cao Hơn nữa, không thể tạo ra màng đơn tinh thể Lắng đọng hơi hóa học (CVD) (Chemical vapor deposition) Là một quá trình hoá học để tạo ra các vật liệu rắn với độ tinh khiết cao và hoàn hảo Quá trình này thường được sử dụng trong công nghiệp bán dẫn để tạo ra các màng mỏng Trong quá trình... đế và có thể tạo ra sự phóng điện ở áp suất thấp hơn Phún xạ chùm iôn, chùm điện tử Có nguyên tắc giống với phương pháp phún xạ phát sáng, tuy nhiên người ta sử dụng các súng phóng iôn hoặc chùm điện tử riêng biệt bắn trực tiếp vào bia, do đó điều khiển các thông số của quá trình tạo màng một cách hiệu quả hơn Ưu điểm và hạn chế của phún xạ catốt -Dễ dàng chế tạo các màng đa lớp nhờ tạo ra nhiều... tạo ra hình ảnh của chi tiết cần tạo trên cảm quang biến đổi Sau khi chiếu qua mặt nạ, bóng của chùm sáng sẽ có hình dạng của chi tiết cần tạo, sau đó nó được hội tụ trên bề mặt phiến đã phủ cảm quang nhờ một hệ thấu kính hội tụ Nguyên lý hệ quang khắc Ứng dụng của quang khắc Quang khắc là kỹ thuật đã được phát triển từ đầu thế kỷ 20, và được sử dụng rộng rãi nhất trong công nghiệp bán dẫn để chế tạo . nguyên tử đến vài chục nanomet. Với sự phát triển của công nghệ nano hiện nay, MBE là một trong những kỹ thuật chủ đạo của công nghệ nano để chế tạo các vật liệu nano Phún xạ catốt (sputtering) Phún. nhiều trong vật lý chất rắn, khoa học và công nghệ vật liệu, đặc biệt trong công nghệ bán dẫn để chế tạo các màng đơn tinh thể với chất lượng rất cao, với độ dày có thể thay đổi từ vài lớp. CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO CÁC VẬT LIỆU TỪ CẤU TRÚC NANO Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Địa