1. Trang chủ
  2. Luận Văn - Báo Cáo

Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS

110 443 0
Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Thông tin tài liệu

Ngày đăng: 25/03/2015, 11:45

Xem thêm: Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS, Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS, Chương 1 ÁP SUẤT VÀ ĐO ÁP SUẤT, 1 CƠ S Ở VẬT LÝ CỦA CẢM BIẾN ÁP SUẤT, 2 CÁC LOẠI CẢM BIẾN ÁP SUẤT, Chương 2 CẢM BIẾN ÁP SUẤT CÔNG NGHỆ MEMS, 1 TỔNG QUAN VỀ CÔNG NGHỆ MEMS, Chương 3 THỬ NGHIỆM MỘT SỐ ỨNG DỤNG CỦA CẢM BIẾN ÁP SUẤT MEMS, 2 THỬ NGHIỆM MỘT SỐ ỨNG DỤNG CỬA MEMS TRONG ĐO LƯỜNG

Từ khóa liên quan

Mục lục

  • MỤC LỤC

  • DANH MỤC CÁC TỪ VIẾT TẮT

  • DANH MỤC CÁC BẢNG

  • DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ

  • MỞ ĐẦU

  • 1.1 CƠ S Ở VẬT LÝ CỦA CẢM BIẾN ÁP SUẤT

  • 1.1.1 Áp suất tĩnh

  • 1.1.2 Áp suất chất lỏng động

  • 1.1.3 Các loại phép đo áp suất

  • 1.1.4 Các đơn vị đo áp suất

  • 1.1.5 Sự cảm nhận áp suất

  • 1.1.6 Các hiệu ứng của cảm biến

  • 1.2 CÁC LOẠI CẢM BIẾN ÁP SUẤT

  • 1.2.1 Cảm biến áp suất biến trở

  • 1.2.2 Cảm biến áp suất điện cảm

  • 1.2.3 Các cảm biến áp suất điện dung

  • 1.2.4 Cảm biến áp suất áp đỉện

  • 1.2.5 Bán dẫn tích hợp áp trở

  • 1.3 MỘT SỐ VấN ĐỀ LIÊN QUAN

  • 1.3.1 Giao diện điện

Tài liệu cùng người dùng

Tài liệu liên quan