BomonKTDT-ĐHGTVT 104 chơng 9: Đo lờng các đại lợng không điện I. khái niệm chung + Đối tợng đo lờng là các đại lợng vật lý không điện nh nhiệt độ, áp suất, là các đại lợng cần đo X. Sau khi tiến hành các quá trình thực nghiệm bằng cách sử dụng các phơng tiện điện tử để xử lý tín hiệu, ở đầu ra ta đợc một đại lợng tơng ứng. Sự biến đổi của đại lợng này chứa đựng tất cả các thông tin cần thiết để nhận biết X, việc đo lờng đại lợng X thực hiện đợc là nhờ sử dụng các cảm biến ( Sensor) + Định nghĩa cảm biến: Cảm biến là một thiết bị dùng để biến đổi từ đại lợng vật lý này sang đại lợng vật lý khác mang bản chất điện với một độ chính xác nhất định. Quan hệ giữa đại lợng ra và đại lợng vào là quan hệ hàm đơn trị. trong đó: X là đại lợng không điện cần đo Y là đại lợng ra (đại lợng điện), là một hàm của đại lợng cần đo, Y = F(X) Việc đo lờng Y sẽ cho phép nhận biết giá trị của X; Y = F(X) là dạng lý thuyết của định luật vật lý biểu diễn hoạt động của cảm biến, đồng thời là dạng số biểu diễn sự phụ thuộc của nó vào cấu tạo (kích thớc và hình dạng), vật liệu chế tạo cảm biến, đôi khi cả vào môi trờng và chế độ sử dụng (nhiệt độ, nguồn nuôi). Vị trí của cảm biến trong thiết bị đo lờng chính là phần chuyển đổi sơ cấp + Lĩnh vực ứng dụng: cảm biến đợc sử dụng ở hầu hết các mặt của sản xuất cũng nh đời sống xã hội. ví dụ: Viễn thông: trong các cơ cấu tự động cảnh báo nhiệt độ, độ ẩm, báo cháy của tổng đài, góp phần đảm bảo tổng đài hoạt động đợc liên tục; cảm biến tại các thiết bị đầu cuối để chuyển âm thanh, hình ảnh thành tín hiệu điện; tại các thiết bị truyền dẫn chuyển tín hiệu điện thành tín hiệu quang và ngợc lại. Tự động hoá: sử dụng cảm biến để biết đợc các thông số của đối tợng cần điều khiển (tốc độ động cơ, vận tốc của vật, xe cộ; hớng đi ) từ đó xây dựng phơng pháp điều khiển + Nguyên tắc: cảm biến thờng dựa trên các hiệu ứng vật lý biến đổi một dạng năng lợng nào đó (nhiệt, cơ, hoặc bức xạ) thành năng lợng điện . (xem lại phần chuyển đổi sơ cấp). II. Các loại cảm biến Dới đây là một số kiểu cảm biến thông dụng nhất 1. Cảm biến kiểu biến trở + Cấu tạo : Gồm 3 phần: lõi, dây quấn và con trợt. Cảm biến Y X Chơng 9: Đo lờng các đại lợng không điện 105 Lõi: Có hình dáng khác nhau:dạng hàm số, dạng nhảy cấp. Chất liệu: làm bằng bakelit, sứ, kim loại có phủ lớp cách điện. Dây quấn: Có đờng kính khoảng =(0,02 ữ 0,07)mm. Chất liệu: làm bằng đồng, niken, pratin, mangamin. Đối với loại mangamin thì điện trở là ổn định nhất. Điện trở của dây: tuỳ từng loại có thể từ vài đến 1000. Con trợt: chế tạo bằng đồng faberin-fôtfo. Lực tì khoảng: 0,01 ữ 0,05 N. + Nguyên tắc làm việc: khi đại lợng không điện tác động vào con trợt làm con trợt di chuyển, điện trở của cảm biến sẽ thay đổi tơng ứng. Nghĩa là: R = f(X) Cảm biến điện trở chỉ cho ta phát hiện sự biến thiên điện trở bằng điện trở của một vòng dây tơng ứng với một di chuyển bằng khoảng cách giữa hai vòng dây. + ứng dụng: Cảm biến biến trở thờng dùng để đo di chuyển nhỏ (2-3)mm, đo di chuyển góc, đo lực áp suất >0,01N 2. Cảm biến điện trở lực căng (tenzômet) + Cấu tạo : Hình bên là cấu tạo của cảm biến điện trở lực căng, bao gồm: 1. Tấm giấy mỏng. H ình dáng thờng gặp của cảm biến biến tr ở a) W R 1 R 2 R 0 c) Quan hệ vào/ra của cảm biến biến trở R 1 R 2 R R 0 0 x b) R 1 R 2 R 0 w r 1 r 2 r 3 r 4 d) w R 1 R 2 R 0 e) w R 1 R 2 R 0 BomonKTDT-ĐHGTVT 106 2. Dây mảnh: = 0,02 ữ 0,03mm. Chế tạo bằng vật liệu constantan, nicrôm, hợp kim platin-iridi Thông thờng l 0 = 8 ữ 15mm, khi cần kích thớc nhỏ l 0 = 2,5mm. Chiều rộng a = 3 ữ 10mm Điện trở thay đổi từ 10 ữ 150. Khi chiều dài tác dụng không bị hạn chế l 0 có thể dài tới 100mm. Điện trở từ 800 ữ 1000. 3. Thanh dẫn là đờng tín hiệu, để nối với mạch đo +Nguyên tắc làm việc: dựa trên hiệu ứng tenzô, có một số vật liệu mà khi nó bị biến dạng thì điện trở của nó thay đổi. Khi đo biến dạng l/l , cảm biến đợc dán trên đối tợng đo, khi đối tợng đo bị biến dạng thì tenzô biến dạng theo và điện trở của tenzô thay đổi một lợng R/R. Tức là R/R=f(l/l) Qua việc xác định biến thiên R, ta có thể xác định đợc lợng biến thiên về chiều dài l + Phân loại: tenzômet chia làm các loại màng mỏng, lá mỏng, dây mảnh + Mạch đo: thờng dùng mạch cầu (cầu 1 chiều hoặc xoay chiều) l 0 a 1 2 3 Chơng 9: Đo lờng các đại lợng không điện 107 + ứng dụng: Đo biến dạng. Đo lực, đo áp suất, đo mômen quay, đo gia tốc và các đại lợng khác nếu có thể biến đổi thành biến dạng đàn hồi với ứng suất không bé hơn (1 ữ 2)10 7 N/m 2 . Loại cảm biến này có thể đo các đại lợng biến thiên tới vài chục KHz 3. Cảm biến kiểu điện cảm + Cấu tạo: Cảm biến điện cảm là một cuộn dây quấn trên lõi thép có khe hở không khí (mạch từ hở). Thông số của nó thay đổi dới tác động của đại lợng vào X V . + Nguyên tắc làm việc: Dới tác động của đại lợng đo X V làm cho phần ứng 3 di chuyển, khe hở không khí thay đổi làm thay đổi từ trở của lõi thép, do đó điện cảm và tổng trở của cảm biến cũng thay đổi theo. Điện cảm có thể thay đổi do tiết diện khe hở không khí thay đổi hoặc thay đổi do tổn hao dòng điện xoáy dới tác động của đại lợng đo X V Nếu bỏ qua điện trở thuần của cuộn dây và trở từ của lõi thép, ta có: L = W 2 . 0. s/ - W: số vòng dây của cuộn dây V ~ X V ~ b) 1 2 X 3 X V 1 2 1 2 ~ a) BomonKTDT-ĐHGTVT 108 - : chiều dài khe hở không khí - 0 : độ từ thẩm của không khí - s: tiết diện thực của khe hở không khí + Mạch đo: cũng sử dụng mạch cầu là chủ yếu + ứng dụng: Tuỳ từng loại cấu trúc của cảm biến mà cảm biến điện cảm có thể đo đợc các đại lợng vật lý khác nhau. - Đo di chuyển từ vài trục m đến vài trục cm (hình bên) - Đo chiều dày lớp phủ, đo độ bóng của chi tiết gia công - Đo lực từ 1/10 N đến hàng chục, hàng trăm N. - Đo áp suất với dải đo: 10 -3 N/m 2 ữ 10.000 N/m 2 - Đo gia tốc: 10 -2 g ữ100g. Sơ đồ cầu đo hai nhánh sử dụng cảm biến điện cảm U 0 C Chỉnh lu Khuyếch đại U 0 ~ L- L L+ L R 0 R c R 2 R 1 C T Chỉ thị Chơng 9: Đo lờng các đại lợng không điện 109 Cùng loại còn có Hỗ cảm, áp từ, cảm ứng chúng là nhóm các cảm biến dựa trên quy luật điện từ: Đại lợng không điện cần đo làm thay đổi điện cảm, hỗ cảm của cảm biến hay từ thông, độ từ thẩm của lõi thép. 4. Cảm biến kiểu áp điện + Cấu tạo: Vật liệu chế tạo: Tinh thể thạch anh tự nhiên (Si0 2 ), Titanatbari BaTi0 3 nhân tạo, Muối xênhét . . . Cấu trúc một tinh thể thạch anh nh sau: Gồm 3 trục: OX - trục điện, OY - trục cơ, OZ - trục quang. + Nguyên tắc làm việc: Nguyên tắc làm việc của cảm biến áp điện dựa trên hiệu ứng áp điện (còn gọi là hiệu ứng piezô). Có một số vật liệu khi chịu tác động một lực cơ học biến thiên trên bề mặt của nó xuất hiện các điện tích q, khi lực tác động ngừng các điện tích q cũng biến mất, hiệu ứng trên gọi là hiệu ứng áp điện thuận. Ngợc lại, nếu đặt các vật liệu trên trong các điện trờng biến thiên, điện trờng tác động lên chúng làm biến dạng cơ học, hiện tợng đó gọi là hiệu ứng áp điện ngợc Hiện tợng áp điện chỉ xẩy ra khi : - Tác động theo trục X một lực Fx, sẽ gây ra hiệu ứng áp điện dọc với điện tích q = d 1 .Fx, d 1 là hằng số áp điện, điện tích sinh ra không phụ thuộc vào cấu trúc hình học của nó mà chỉ phụ thuộc vào độ lớn của lực Fx. Dấu của điện tích thay đổi với sự thay đổi dấu của lực Fx. a,Cấu trúc một tinh thể thạch anh b) Mặt cắt của tinh thể thạch anh a) b) X y Fx F y Fy x Y Z X BomonKTDT-ĐHGTVT 110 - Khi tác động theo trục Y một lực Fy thì sinh ra hiệu ứng áp điện ngang với điện tích q = -( x y )d 1 Fy. Điện tích này phụ thuộc vào kích thớc hình học x, y là kích thớc của chuyển đổi theo trục X và trục Y. d 1 : là hằng số áp điện (còn gọi là mô đun áp điện). x, y: là kích thớc của phần tử áp điện theo trục X và Y. Dấu của điện tích q với hiệu ứng áp điện dọc và ngang ngợc nhau nghĩa là lực Fx nén làm xuất hiện các điện tích cùng dấu với lực Fy kéo và ngợc lại. - Khi tác động theo trục quang (OZ) thì q = 0, không có hiệu ứng áp điện. Chú ý: Trờng hợp các cạnh của cảm biến không song song với các trục chính hoặc các lực tác động không song song với các trục thì điện tích sinh ra bé hơn + Tính chất của một số vật liệu áp điện: a, Thạch anh (SiO2): là vật liệu tự nhiên hoặc tổng hợp có các tính chất sau: Hằng số áp điện: d 1 = 2,1.10 -12 ( C/N). Hằng số điện môi: = 39,8.10 -12 (F/m). ứng suất cho phép: = 70 ữ 100 N/mm 2 . Điện trở suất: = 10 16 /m nhng phụ thuộc vào nhiệt độ và phụ thuộc vào chiều trục (có giá trị khác nhau ở các chiều trục khác nhau). Từ 0 ữ 200 0 C thì d 1 không phụ thuộc vào nhiệt độ. Từ 200 ữ 500 0 C thì d 1 bị giảm đi. Với 573 0 C thì tính chất áp điện không còn. b, TitanatBari (BaTiO3): là loại vật liệu tổng hợp có tính chất sau: Hằng số áp điện: d 1 = 107.10 -12 ( C/N). Hằng số điện môi: = 1240.10 3 (F/m). Mô đun đàn hồi: E = 115.10 1 (F/mm 2 ). Các tính chất của BaTiO 3 không phụ thuộc vào độ ẩm nhng phụ thuộc vào tạp chất, công nghệ chế tạo và điện áp phân cực. Hệ số áp điện d 1 không phải là hằng số. Nhiều trờng hợp giảm 20% sau 2 năm sử dụng, tính chất áp điện của nó không ổn định theo nhiệt độ. Do có hiện tợng trễ nên đặc tính q = f(F) không tuyến tính nhng loại vật liệu này có độ bền cơ học cao, rẻ tiền, chế tạo đợc các hình dáng bất kỳ nên dợc dùng rộng rãi. Ngoài ra còn có vật liệu Titanat chì (PbTiO 3 ) và Ziriconat chì (PbZnO 3 ) có mô đun điện áp lớn gấp 4 lần BaTiO 3 . + Mạch điện ứng dụng: Ví dụ sơ đồ cấu tạo của cảm biến áp điện để đo lực f(x). Cấu tạo gồm: 1. Phần tử áp điện. 2. Dây dẫn. 3. Cáp điện. Và sơ đồ mạch đo của cảm biến áp điện nh hình vẽ trang bên: Chơng 9: Đo lờng các đại lợng không điện 111 Khi lực F tác động có dạng F = F max sint, thì điện áp ra sẽ là: U r = .1 1 1 . . 1 CoRoj Ro Fdj Coj Ro Coj Ro I + = + + ứng dụng: Dùng để đo lực biến thiên ( đến 10.000 N ). Đo áp suất ( 100 N/mm 2 ) Làm các gia tốc kế đo gia tốc tới 100g (g gia tốc trọng trờng ) trong dải tần từ 0,5 ữ 100 kHz. Đo các biến dạng , các di chuyển nhỏ 5. Cặp nhiệt điện + Cấu tạo: Gồm hai hay thanh kim loại khác nhau đợc hàn với nhau tại một đầu, điểm hàn ấy gọi là điểm công tác hai đầu còn lại gọi là đầu tự do. x f X f V 1 2 3 Mạch đo của cảm biến á p điện U ra C 2 R 2 R 0 R 0 C 0 F i ~ R 0 , R 2 , C 0 , C 2 là điện trở và điện dung thực của cảm biến và mạch khuyếch đại. Mạch KĐ BomonKTDT-ĐHGTVT 112 Để đảm bảo tránh h hỏng cơ học và ảnh hởng ngẫu nhiên của các đối tợng đo, các điện cực nhiệt đợc đặt trong các vỏ thép bảo vệ. Hình dới đây là cấu tạo của một loại điện kế chuẩn. Trên hình vẽ ngời ta đặt các điện cực (3) trong vỏ bảo vệ (1) có chuỗi cách điện (4). Mối hàn (2) tiếp xúc với đáy vỏ bảo vệ hay có thể cách ly bằng đầu sứ. Dây dẫn nối dài (7) đợc nối với điện cực ở đầu nối (8), vít (6) trên phíc cắm (5). Vỏ bảo vệ đợc giữ chắc và đa vào đối tợng đo, giữ chặt bằng mức (9). Để bảo đảm tiếp xúc chắc chắn, mối hàn (2) đợc thực hiện bằng máy hàn hơi. Vỏ bảo vệ có dạng hình trụ hay hình côn bằng vật liệu không thấm khí có đờng kính (15 25)mm và có chiều dài tuỳ thuộc vào yêu cầu của đối tợng đo từ 100 đến (2500 3000)mm. Vật liệu để làm vỏ bảo vệ là các loại thép khác nhau. Đối với nhiệt độ cao, vỏ bảo vệ có thể bằng thạch anh hay gốm. + Nguyên tắc làm việc: Nguyên tắc làm việc của cặp nhiệt điện dựa trên hiện tợng nhiệt điện, nếu nhiệt độ mối hàn t 1 và t 0 khác nhau thì trong mạch khép kín có một dòng điện chạy qua. Chiều của dòng điện này phụ thuộc vào nhiệt độ tơng ứng của mối hàn, nghĩa là nếu t 1 > t 0 thì dòng điện chạy theo hớng ngợc lại. Nếu để hở một đầu thì giữa hai cực xuất hiện một sức điện động nhiệt điện, cụ thể nh sau: Cặp nhiệt điện t 1 (điểm côn g tác) t 0 (đầu tự do) E t 0 t 0 t 1 a) b) a) 9 4 3 1 2 6 5 7 8 c) 4 3 1 2 b) 4 3 1 2 Cấu trúc của nhiệt kế cặ p nhiệ t Chơng 9: Đo lờng các đại lợng không điện 113 Khi cha làm việc nhiệt độ t 1 = t 0 , do 2 thanh kim loại là khác nhau đợc hàn với nhau ở đầu t 1 các điện tử tự do ở hai thanh kim loại là khác nhau do vậy chúng có thể khuyếch tán sang nhau nhng sự khuyếch tán này là không đáng kể vì vậy suất điện động nhiệt điện ở hai đầu tự do E 0 . Khi làm việc, nhiệt độ t 1 t o , sự khuyếch tán các điện tử tự do sang nhau là nhiều hơn xuất hiện hiệu điện thế ở 2 đầu tự do. E = f(t 1 ) f(t 0 ) Nếu cố định nhiệt độ ở đầu tự do f(t 0 ) = C = const. E = f(t 1 ) C = f(t 1 ) Đặc tính kỹ thuật của các cặp nhiệt ngẫu thông dụng: Cặp nhiệt ngẫu Dải nhiệt độ làm việc o C Sức điện động mV Đồng/ Constantan = 1,63 mm -270-370 -6,258-19,027 Sắt/ Constantan = 3,25 mm -210-800 -8,095-45,498 Chromel/Alumen = 3,25 mm -270-1250 -5,354-50,633 Chromel/Constantan = 3,25 mm -270-870 -9,835-66,473 Platin-Rođi (10%) /Platin = 0,51 mm -50-1500 -0,236-15,576 Platin-Rođi (13%) /Platin = 0,51 mm -50-1500 -0,226-17,445 Platin-Rođi (30%) /Platin- Rođi (6%) = 0,51 mm 0-1700 0-12,426 Vonfram-Reni (5%)/Vonfram-Reni (26%) 0-2700 0-38,45 + Mạch đo: Dùng mạch đo khuyếch đại kết hợp với mV (kim chỉ) hoặc là kết hợp với các chỉ thị số Mạch đo đơn giản dùng mạch khu y ếch đại kết hợp với chỉ thị KĐ [...]...BomonKTDT-ĐHGTVT - Dùng điện kế một chiều : Rđc E0 R0 C Rm ICT E CT E0: nguồn cung cấp, Em: nguồn pin mẫu, Em = 1,0181V, Rđc: điện trở điều chỉnh, dòng cung cấp, R0: điện trở mẫu, R0 = 10181, Rm: hộp điện trở mẫu, Ex: điện áp cần đo CT: chỉ thị (điện kế chỉ 0) K EX Em A B Mạch đo nhiệt độ dùng điện thế kế một chiều Đây là dụng cụ đo theo phơng pháp so sánh Muốn thực hiện phơng pháp đo thì phải tiến... theo 2 bớc - Đóng khoá K vào A điều chỉnh Rđc sao cho điện kế chỉ 0 E 1,0181 UCĐ = Em = ICT R0 ICT = m = = 1 0-4 A R 0 10181 - Đóng khoá K sang vị trí B Điều chỉnh Rm sao cho điện kế chỉ 0 Lúc điện kế chỉ 0 thì UDE = EX = Ict RDE = K.RDE với ICT = const Trên hộp điện trở mẫu Rm có khắc luôn giá trị điện áp + ứng dụng: Đo nhiệt độ cao cỡ vài trăm độ ữ 17000C Đo áp suất nhỏ (1 0-3 ữ 1 0-4 mmHg) Đo các... hợp: - Phát hiện tín hiệu quang - Tế bào quang dẫn có thể đợc sử dụng để biến đổi xung quang thành xung điện Sự ngắt quãng của xung ánh sáng chiếu lên tế bào quang dẫn sẽ đợc phản ánh trung thực qua xung điện của mạch đo, do vậy các thông tin mà xung ánh sáng mang đến sẽ đợc thể hiện trên xung điện Ngời ta ứng dụng mạch đo kiểu này để đếm hoặc đo tốc độ quay của đĩa - Đo nhiệt độ - Xác định vị trí - Đo. .. Thấu kính b) Đo tốc độ kế Doppler diode laser và sợi quang; a) Chùm tia chiếu qua vật đo vận tốc bằng hệ thống thông thờng; b) Chia chùm tia bằng bộ nối ghép quang 120 Chơng 9: Đo lờng các đại lợng không điện Một số gợi ý: + Đo nhiệt độ: có thể sử dụng: cặp nhiệt điện, điện trở nhiệt + Đo tốc độ tròn: dùng cảm biến quang + Đo tốc độ dài, có phạm vi di chuyển nhỏ: dung cảm biến điện cảm + Đo tốc độ dài,... khác: Đo tốc độ của gió, tốc độ của dòng chảy, đo di chuyển 6 Nhiệt điện trở + Cấu tạo: Các nhiệt trở dây (Cu, Ni, Pt) gồm: Lõi để quấn các nhiệt điện trở lõi bằng gốm sứ, Bakếlit, vật liệu cách điện chịu đợc nhiệt độ cao ống xuyến cách điện, bằng gốm, sứ Dây nhiệt điện trở đờng kính = (0,02 ữ 0,07) mm với chiều dài (5 ữ 20)mm 114 Chơng 9: Đo lờng các đại lợng không điện Hộp đầu ra ống xuyến cách điện. .. thớc của nó rất nhỏ 115 BomonKTDT-ĐHGTVT 2,5 6 5 19 3 4 1 20,5 c) 3 1 2 1 4 1,4 1,2 2 3 a) 3 b) 3 d) 1.Dây dặt trong ống sứ 2.Vỏ bảo vệ 3.Đầu ra 4.Giá đỡ Cấu tạo của một số cảm biến nhiệt điện trở bán dẫn + Mạch đo: thông thờng hay dùng mạch cầu không cân bằng chỉ có chỉ thị là logôm mét (hình trang bên) + ứng dụng: Đo nhiệt độ Đo các đại lợng không điện nh đo di chuyển, đo áp suất Dùng để phân tích thành... chứng đo dịch chuyển: R1 Ví dụ đo dịch chuyển: R2 1 1 Tấm chắn 2 Màng rung 3 Bộ rung điện từ R1, R2 là các nhiệt điện trở XV 2 Uxc 116 Chơng 9: Đo lờng các đại lợng không điện + Nguyên tắc đo: Khi cha có di chuyển XV thì lá chắn ở giữa, hai khe hở thổi vào hai cảm biến là nh nhau Khi có XV tác động, lá chắn di chuyển hai lá chắn là khác nhau, lợng gió thổi vào hai cảm biến là khác nhau hai điện trở... Dây nhiệt điện trở Cấu tạo của nhiệt điện trở dây Hộp đầu ra (để lấy tín hiệu ra bên ngoài) + Nguyên tắc làm việc: Dựa trên các hiệu ứng nhiệt độ Có một số vật liệu (Cu,Ni) khi nhiệt độ thay đổi thì điện trở của nó cũng thay đổi theo, từ đó ngời ta chế tạo ra các nhiệt điện trở RT = R0(1 + t) R0 là điện trở của dây ở 00c; là hệ số nhiệt độ: Đồng là 4,3.1 0-3 1/ 0C Niken là 5.1 0-3 1/ 0C Nhiệt điện trở... hệ số nhiệt độ: Đồng là 4,3.1 0-3 1/ 0C Niken là 5.1 0-3 1/ 0C Nhiệt điện trở chia làm 2 loại: Nhiệt điện trở không đốt nóng: Dòng điện đi qua nó rất nhỏ, để đo nhiệt độ 0 -5 0 C ữ 1500C Nhiệt điện trở đốt nóng: Dòng đi qua nó rất lớn làm cho nhiệt điện trở lớn lên từ vài chục đến vài trăm độ Các nhiệt điện trở bán dẫn làm bằng các chất bán dẫn CuO, CoO, MnO +Cấu tạo: Đợc chế tạo từ một số oxit kim loại... Nguyên tắc) Tốc kế laser sử dụng hiệu ứng Doppler là dụng cụ đo tốc độ của các đối tợng bằng cách truyền dẫn (đối với dòng chất lỏng) hoặc bằng phản xạ (đối với vật rắn chuyển động dới đầu laser) Dải đo rất rộng từ 1 0-6 - 105 m/s Phép đo không làm thay đổi chuyển động của hệ Nguyên tắc hoạt động của tốc kế sợi quang là chiếu sáng đối tợng cần đo tốc độ bằng một lới các vân sáng ánh sáng sáng khuyếch tán . mm -2 1 0-8 00 -8 , 09 5-4 5, 498 Chromel/Alumen = 3,25 mm -2 7 0-1 250 -5 ,35 4-5 0,633 Chromel/Constantan = 3,25 mm -2 7 0-8 70 -9 ,83 5-6 6,473 Platin-Rođi (10%) /Platin = 0,51 mm -5 0-1 500 -0 ,23 6-1 5,576. -0 ,23 6-1 5,576 Platin-Rođi (13%) /Platin = 0,51 mm -5 0-1 500 -0 ,22 6-1 7,445 Platin-Rođi (30%) /Platin- Rođi (6%) = 0,51 mm 0-1 700 0-1 2,426 Vonfram-Reni (5%)/Vonfram-Reni (26%) 0-2 700. trăm N. - Đo áp suất với dải đo: 10 -3 N/m 2 ữ 10.000 N/m 2 - Đo gia tốc: 10 -2 g ữ100g. Sơ đồ cầu đo hai nhánh sử dụng cảm biến điện cảm U 0 C Chỉnh lu Khuyếch đại U 0 ~ L- L L+ L R 0