... ứng của áp suất tác dụng lên màng. Cảm biến áp suất là một trong những loại cảm biến thường dùng nhất trong công nghiệp. Trong y tế thì cảm biến áp suất thường được sử dụng để đo áp suất trong ... Hình2. Cấu trúc cảm biến áp suất. Hình 3. Quy trình chế tạo cảm biến áp suất hiệu ứng áp điện trở 23. MẠNG TRUYỀN THÔNG Để thực hiện giao tiếp giữa các phần khác nhau của hệ thống, yêu cầu ... tử. 2.2. Chế tạo cảm biến áp suất vi cơ điện tử Để chế tạo các cảm biến áp suất ta sử dụng một phiến silic loại n, bề dày 380µm, có định hướng bề mặt là {100}, điện trở suất nằm trong khoảng...