... Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các đặc trng Của cảm biến vi cơ đo lực Vũ Ngọc Hùng, Nguyễn Đức Chiến, Trịnh Quang Thông Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật liệu (ITIMS) ... theo nhằm chế tạo cấu trúc điện trên cảm biến, bao gồm: quang khắc mask 2 để tạo cửa sổ điện trở, khuếch tán để tạo các điện trở, quang khắc mask 3 để mở của sổ các tiếp xúc cho điện trở, bốc ... Al Phủ tạp SOD và khuếch tán Quang khắc tạo điện trở Mở cửa sổ điện cựchợp ở tâm màng đợc giữ lại, vì vậy cấu trúc màng có tâm cứng đợc tạo ra. Sau bớc xử lý ăn mòn, cấu trúc cơ của cảm...