... nay, MJB4 giúp tạo ra những vi linh kiện có độ chính xác cao. Máy được trang bị cấu hình quang học cao, có thể thực hiện quang khắc với nhiều bước sóng 17 khác nhau. Cường độ chiếu cực ... được phụ thuộc vào nhiều yếu tố như kích cỡ tấm nền, độ phẳng, điều kiện phòng sạch, và do đó có thể khác nhau cho các quá trình khác nhau. 2.1.3. Máy đo độ dày mẫu DEKTAK 150 Máy được dùng để ... trong ngành khoa học và công nghệ vật liệu để chế tạo các chi tiết vật liệu nhỏ, chế tạo các linh kiện vi cơ điện tử (MEMS). Hạn chế của quang khắc là do ánh sáng bị nhiễu xạ nên không thể hội...