... trình công nghệ chế tạo sợi nano Si cũng phức tạp hơn quy trình công nghệ chế tạo sợi nano Si. Trong quá trình thực hiện ñề tài, nhóm nghiên cứu ñã ñưa ra một phương pháp chế tạo hoàn toàn ... trong nước, chế tạo thành công sợi nano Pt va Si . Các sợi chế tạo ra có kích thước và tính chất thích hợp ñể chế tạo cảm biến sợi nano. - Nghiên cứu, làm chủ các công nghệ chế tạo các thiết ... nano silic 24 CHƯƠNG 2: CHẾ TẠO SỢI NANO PLATIN TRÊN MÀNG CÁCH ðIỆN CỦA ðẾ SILIC VÀ KẾT QUẢ CHẾ TẠO 26 2.1. Tổng quan về công nghệ chế tạo cảm biến sợi nano 26 2.2. Quy trình công nghệ chế...