... Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các đặc trng Của cảm biến vi cơ đo lực Vũ Ngọc Hùng, Nguyễn ... cạnh màng giảm giá trị, làm cầu điện trở mất cân bằng [4]. Đối với điện trở 4 điện cực, đợc đặt nghiêng một góc 450 so với cạnh màng [110], nên sự uốn cong màng làm sự thay đổi điện trở suất...