... nano tinh thể SixGe1- x với thành phần Si Ge khác vật liệu SiO2 phương pháp phún x catot * Các phương pháp nghiêu cứu tính chất vật lý vật liệu nano tinh thể SixGe1- x gồm nhiễu x kế tia X (XRD), ... cầu trên, thực đề tài: Nghiên cứu chế tạo tính chất vật lý vật liệu nano tinh thể SixGe1- x SiO2 Luận văn tiến hành dựa phương pháp thực nghiệm sẵn có sở nghiên cứu, bao gồm: * Chế tạo vật liệu ... cấu tạo, tính chất Si, Ge, SiO2 SixGe1- x Chương Thực nghiệm: Trình bày ưu điểm chế, quy trình công nghệ phún x , kĩ thuật thực nghiệm để khảo sát cấu trúc, hình thái tính chất vật lý vật liệu...