... độ đế nhiệt độ ủ màng l n tính chất đi n phụ thuộc nhiều vào phương pháp tạo màng chế d n đi n màng Th e o [ 1] tạo màng ZnO- Ga có điều ki n tạo màng khác nhiệt độ ủ màng là: nhiệt độ phòng, 300oC ... donor, n n không bị ảnh hưởng nhiệt độ ủ không khí Trong đó, màng ZnO- Al không hoà tan r n thay tốt n n bi n dạng mạng tăng, hình thành lỗ trống oxy nhiều, nung môi trường oxy hoá, số lỗ trống oxy ... t n vật liệu nhiều, độ b n nhiệt xử lý nhiệt độ cao môi trường không khí , màng ZnO- Ga nghi n cứu để khắc phục nhược điểm tr n. Trong xin giới thiệu màng mỏng ZnO pha Ga phương pháp ph n xạ magnetron...