... đặt vào các cực 1 và 3, điện áp ra đợc lấy trên các cực 2 và 4. Hoạt động của cảm biến vi cơ silic đo lực dựa trên hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn. Khi màng silic bị uốn cong, các ... nam triển khai và thành công trong một số loại cảm biến nhờ công nghệ này. Trên cơ sở chế tạo thành công cảm biến áp suất với cấu trúc cơ bản là một màng phẳng, một mẫu cảm biến mới với một ... Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các đặc trng Của cảm biến vi cơ đo lực Vũ Ngọc Hùng, Nguyễn Đức Chiến, Trịnh Quang Thông Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật liệu (ITIMS)...