... DUNG Nguyên lý tạo lớp phủ CVD Cấu tạo hệ thống phủ CVD Cách xử lý thực tạo lớp phủ CVD Ứng dụng lớp phủ CVD LOGO I Giới thiệu công nghệ tạo lớp phủ CVD CVD công nghệ tạo lớp phủ từ pha khí,được ... CVD LOGO Nguyên lý tạo lớp phủ CVD Nguyên tố cần phủ dạng khí Sơ đồ nguyên lý CVD Hoàn nguyên nhờ tác động vật lý,hóa học gần bề mặt Lớp phủ hình thành LOGO Các phản ứng tạo trình Công nghệ CVD ... khí,được áp dụng nhiều lĩnh vực công nghệ để tạo lớp phủ kim loạị ceramic lên chi tiết Lớp phủ chống mài mòn:TiC,TiN, Al2O3… Lớp phủ chống ăn mòn : Cr,Al,Si,SiC… Lớp phủ cho ngành điện tử : AsGa,...