... H2 Màng ZnO dày Pha tạp Pd, Fe, Ru NH3 Màng ZnO dày Pha tạp Sb CO, CH4, H2 Bột Pha tạp Al H2 Màng ZnO mỏng H2, LPG Màng ZnO mỏng Pha tạp Al CO, NH3, TMA, DMA Màng ZnO mỏng Pha tạp SnO2 C2H5OH Màng ... ứng khí cần dò với cảm biến xảy Dùng chất xúc tác cải thiện độ lọc lựa khí vật liệu Trong cảm biến khí, mục đích pha tạp để kiểm soát tính chất bề mặt màng nhằm tăng độ nhạy Đồng thời, tạp chất ... nhạy khí màng (độ nhạy, nhiệt độ hoạt động, khả chọn lọc khí, …) - Khảo sát ảnh hưởng nồng độ tạp chất đến cấu trúc màng - Khảo sát ảnh hưởng nhiệt độ hoạt động đến độ nhạy màng 29 2.2 Hóa chất...