... tài Nghiên cứu chế tạo cảm biến dạng cầu Wheatstone dựa hiệu ứng từ - điện trở dị hướng cấu trúc Ta/NỈFe(10nm)/Ta ” làm đề tài khóa luận tốt nghiệp Mục tiêu khóa luận - Chế tạo cảm biến dạng cầu ... số kết sau: - Đã nghiên cứu tổng quan hiệu ứng từ điện, nguyên lý hoạt động loại cảm biến từ - Chế tạo cảm biến hoạt động dựa mạch cầu Wheatstone dựa hiệu ứng từ điện trở dị hướng kích thước ... cầu Wheatstone dựa hiệu ứng từ - điện trở dị hướng AMR kích thước X 0,45 mm, bề dày màng 10 nm - Khảo sát tính chất từ, từ điện trở cảm biến Đối tượng nghiên cún - Cảm biến dạng mạch cầu Wheatstone...