... triển của cảm biến quán tính MEMS: Do việc giảm giá thành và kích thớc, các cảm biến quán tính MEMS không ngừng phát triển vài năm lại đây. Tính từ năm 1991, đặc trng độ chính xác cảm biến ... các cảm biến quán tính (con quay, gia tốc kế). Trớc đây công nghệ này là độc quyền của một số cờng quốc quân sự (Mỹ, Nga ) Các cảm biến quán tính MEMS cha đạt độ chính xác của các cảm biến cơ ... việc ứng dụng của các công nghệ cảm biến quán tính, đánh giá hớng phát triển của các công nghệ này trong tơng lai, đa ra nguyên lý làm việc và sơ đồ kết cấu của một số cảm biến quán tính vi cơ...