Micro Electro Mechanical System Design - James J Allen Part 1 pot
Micro Electro Mechanical System Design - James J. Allen Part 1 pot
... Diamond 10 83.6.4 SU-8 10 93.7 Summary 10 9Questions 11 0References 11 0Chapter 4 Scaling Issues for MEMS 11 54 .1 Scaling of Physical Systems 11 54 .1. 1 Geometric Scaling 11 54 .1. 2 Mechanical System ... Group, LLC 10 .4 .1 Operational Failure Mechanisms 388 10 .4 .1. 1 Wear 388 10 .4 .1. 2 Fracture 390 10 .4 .1. 3 Fatigue 3 91 10.4 .1. 4 Charging 3 91 10.4 .1. 5 Creep 3 91 10.4 .1. 6 Stiction and Adhesion 3 91 10.4.2 ... 11 74 .1. 3 Thermal System Scaling 12 14 .1. 4 Fluidic System Scaling 12 44 .1. 5 Electrical System Scaling 12 94 .1. 6 Optical System Scaling 13 44 .1. 7 Chemical and Biological System Concentration 13 5©...
- 30
- 278
- 0
Micro Electro Mechanical System Design - James J. Allen Part 2 pot
... (°°°°C)to produce a Pv= 10 –3torr889 10 90 12 23 13 16 15 70 19 04 2295 2820 3 016 J PkTMv=22π© 2005 by Taylor & Francis Group, LLC28 Micro Electro Mechanical System Design proper diameter. ... 420–457, May 19 82.22. R.T. Howe and R.S. Muller, Polycrystalline silicon micromechanical beams, J. Electrochem. Soc.: Solid-State Sci. Technol., 13 0(6), 14 20 14 23, June 19 83.23. L-S. Fan, Y-C Tai, ... utilizing Miller indices.[ i j k ] – direction( i j k ) – planexyzb ac[ 010 ][0 01] (0 01) (0 01) ( 010 )( 010 ) (10 0) [10 0] [10 0]© 2005 by Taylor & Francis Group, LLC 17 2Fabrication ProcessesThis...
- 30
- 349
- 0
Micro Electro Mechanical System Design - James J. Allen Part 3 docx
... LLC58 Micro Electro Mechanical System Design FIGURE 2.36 Solution of Frick’s equation solutions for case 1 and case 2. 10 0 10 1 1000 0.5 1 Depth–micron(a) Case 1 (b) Case 2= 0 .1 Depth–micronConcentration/Initial ... of x-ray lithography, Microelectron. Eng.,30 (1 4), 17 1 17 8, January 19 96.8. R. DeJule, E-beam lithography, the debate continues, Semiconductor Int., 19 , 85, 19 96.9. M.V. Klein, Optics, John ... ~3–5 µm 1 µm ~10 –25 µmDevice thickness > ;1 mm > ;1 mm 13 µm Very largeLateral dimension >2 mm >2 mm 2 mm > ;10 mRelative tolerance (see Figure 4 .15 ) ~10 –2 ~10 –2 ~10 1 > ;10 –3Materials...
- 30
- 264
- 0
Micro Electro Mechanical System Design - James J. Allen Part 4 pdf
... the Institute for Microtechnology, Mainz, Ger-many [13 ], have jointly developed an electromagnetic motor with an outer diameterof only 1. 9 mm [14 16 ]. Figure 3 .13 shows the 1. 9-mm motor and an ... & Francis Group, LLC88 Micro Electro Mechanical System Design 3.3 .1 SUMMITSUMMiT (Sandia ultraplanar, multilevel MEMS technology) is a state-of-the-artsurface micromachine process developed ... agitationφ=54.7°φ [11 1] [10 0]SiO2masksinglecrystalsiliconc. anisotropic wet etching© 2005 by Taylor & Francis Group, LLC84 Micro Electro Mechanical System Design layers have their roots in the microelectronics...
- 30
- 394
- 0
Micro Electro Mechanical System Design - James J. Allen Part 5 pps
... LLC 11 4 Micro Electro Mechanical System Design 71. A.E. Franke, J. M. Heck, T .J. King, Polycrystalline silicon-germanium films forintegrated microsystems, J. Microelectromech. Syst., 12 (2), 16 0 17 1, ... silicon micromechanical beams, J. Elec-trochem. Soc.: Solid-State Sci. Technol., 13 0(6), 14 20 14 23, June 19 83. 21. R.T. Howe, Surface micromachining for microsensors and microactuators, J. Vac.Sci. ... micromachiningof electro- thermal-compliant micro devices, J. Micromech. Microeng., 11 , 38–47,20 01. 10 . T. Moulton, G.K. Ananthasuresh, Micromechanical devices with embedded elec-tro-thermal-compliant actuation,...
- 30
- 323
- 0
Micro Electro Mechanical System Design - James J. Allen Part 6 ppsx
... 10 10 10 –4Immunoassays 10 17 10 –6Chemical, organisms, DNA analyses 10 –22 10 17 Cs 10 0 10 0 10 -3 10 -3 10 -6 10 -6 10 -9 10 -9 10 -1 2 10 -1 2 10 -1 5 10 -1 5 10 -1 8 10 -1 8 10 -2 1 10 -2 1 C - (M) = moles/literMolar ... size /part size) 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 1 Ultra-Precision MachiningPrecision MachiningStandard MachiningMEMSNano-Scale Manipulation© 2005 by Taylor & Francis Group, LLC 14 8 Micro ... size?REFERENCES 1. J. W. Judy, Microelectromechanical systems (MEMS): fabrication, design andapplications, Smart Mater. Struct., 10 , 11 15 11 34, 20 01. 2. M .J. Madou, Fundamentals of Microfabrication,...
- 30
- 304
- 0
Micro Electro Mechanical System Design - James J. Allen Part 7 pptx
... Actu-ators A, 67, 1 7, 19 98, and Proc. IEEE, 86(8), 16 11 16 26, 19 98.)Detailed Design ModelsLarge number of degrees of freedom3-D SimulationFEM or BEM models Design Synthesis Models System ... Integratedmeasurement-modeling approaches for evaluating residual stress using microma-chined fixed-fixed beams, J. Microelectromechanical Syst., 11 (6), 743–753,December 2002.8. K.S .J. Pister, M.W. Judy, S.R. ... Fearing, Microfabricated hinges, SensorsActuators A, 33, 249–256, 19 92.9. R. Yeh, E .J. J. Kruglick, K.S .J. Pister, Surface micromachined components forarticulated microrobots, J. Microelectromechanical...
- 30
- 299
- 0
Micro Electro Mechanical System Design - James J. Allen Part 8 pps
... B.P. Johnson, S. Kim, K. Nabors, M.A. Shulman, J. K.White, A computer-aided design system for microelectromechanical systems(MEMCAD), J. Microelectromech. Syst., 1( 1), 3 13 , 19 92.33. J. R. Gilbert, ... factor-M 10 1 100 10 1 10 1 100Frequency ratio-r =ωωn 1 2ζMmax = Q = 1 Q2ζ =Mmax2Half power levelBandwidth© 2005 by Taylor & Francis Group, LLCElectromechanics 217 • Fluidic ... etching, J. Micromech. Microeng., 3(3), 11 3 11 5, 19 93. 18 . D. Dietrich, J. Fruhauf, Computer simulation of the development of dish-shapeddeepenings by orientation-dependent etching of (10 0) silicon,...
- 30
- 233
- 0
Micro Electro Mechanical System Design© 2005 potx
... Group, LLC 10 .4 .1 Operational Failure Mechanisms 388 10 .4 .1. 1 Wear 388 10 .4 .1. 2 Fracture 390 10 .4 .1. 3 Fatigue 3 91 10.4 .1. 4 Charging 3 91 10.4 .1. 5 Creep 3 91 10.4 .1. 6 Stiction and Adhesion 3 91 10.4.2 ... orientations of silicon wafers.( )( )( )45°90°n-type (11 1)p-type (11 1)p-type (10 0)n-type (10 0)primary( 011 )primary( 011 )primary( 011 )primary( 011 )secondarysecondarysecondary© 2005 by Taylor ... 6 1. 4 MEMS Challenges 12 1. 5 The Aim of This Book 13 Questions 14 References 14 Chapter 2 Fabrication Processes 17 2 .1 Materials 17 2 .1. 1 Interatomic Bonds 17 2 .1. 2 Material Structure 18 2 .1. 3...
- 463
- 453
- 0
Từ khóa: bio micro electro mechanical systems—biomems technologieshệ thống cơ quang mems micro electro mechanical systemsdiane j litman and james f allenfuel cell system designdigital communication system designelizabeth a hinkelman and james f allendavid r traum and james f allenthe art of distributed system design pdfthe art of distributed system designheating and cooling system designsoa in practice the art of distributed system design downloadsoa in practice the art of distributed system design theory in practice pdfsoa in practice the art of distributed system design pdfsoa in practice the art of distributed system designsoa in practice the art of distributed system design download pdfBáo cáo quy trình mua hàng CT CP Công Nghệ NPVNghiên cứu sự hình thành lớp bảo vệ và khả năng chống ăn mòn của thép bền thời tiết trong điều kiện khí hậu nhiệt đới việt namGiáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôitGiáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôitGiáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôitNGHIÊN CỨU CÔNG NGHỆ KẾT NỐI VÔ TUYẾN CỰ LY XA, CÔNG SUẤT THẤP LPWAN SLIDEPhối hợp giữa phòng văn hóa và thông tin với phòng giáo dục và đào tạo trong việc tuyên truyền, giáo dục, vận động xây dựng nông thôn mới huyện thanh thủy, tỉnh phú thọPhát hiện xâm nhập dựa trên thuật toán k meansNghiên cứu, xây dựng phần mềm smartscan và ứng dụng trong bảo vệ mạng máy tính chuyên dùngNghiên cứu tổng hợp các oxit hỗn hợp kích thƣớc nanomet ce 0 75 zr0 25o2 , ce 0 5 zr0 5o2 và khảo sát hoạt tính quang xúc tác của chúngĐịnh tội danh từ thực tiễn huyện Cần Giuộc, tỉnh Long An (Luận văn thạc sĩ)Chuong 2 nhận dạng rui roTổ chức và hoạt động của Phòng Tư pháp từ thực tiễn tỉnh Phú Thọ (Luận văn thạc sĩ)Kiểm sát việc giải quyết tố giác, tin báo về tội phạm và kiến nghị khởi tố theo pháp luật tố tụng hình sự Việt Nam từ thực tiễn tỉnh Bình Định (Luận văn thạc sĩ)BT Tieng anh 6 UNIT 2Tăng trưởng tín dụng hộ sản xuất nông nghiệp tại Ngân hàng Nông nghiệp và Phát triển nông thôn Việt Nam chi nhánh tỉnh Bắc Giang (Luận văn thạc sĩ)Giáo án Sinh học 11 bài 15: Tiêu hóa ở động vậtGiáo án Sinh học 11 bài 14: Thực hành phát hiện hô hấp ở thực vậtBÀI HOÀN CHỈNH TỔNG QUAN VỀ MẠNG XÃ HỘIĐổi mới quản lý tài chính trong hoạt động khoa học xã hội trường hợp viện hàn lâm khoa học xã hội việt nam