... LC. Bộ cảm biến kiểu điện dung đo đợc áp suất đến 120 MPa, sai số (0 ,2 - 5)%. 3 .2. 4. Bộ biến đổi kiểu áp trở Cấu tạo của phần tử biến đổi áp trở biểu diễn trên hình 8.13a. Cảm biến áp trở ... silic-N 2) Bán dẫn P 3) Dây dẫn 1 2 3 R1R 2 R3R4JT60oa) b) - 141 -Giới hạn trên của cảm biến áp suất dùng bộ biến đổi áp điện từ 2, 5 - 100 MPa, cấp chính xác 1,5 ;2. Bộ biến đổi ... 8.14 Cảm biến kiểu áp trở a) Phần tử áp điện dạng tấm b) Phần tử áp điện dạng ống p a) Trục quangTrục điệndDb) - 139 -Để biến đổi biến thiên điện dung C thành tín hiệu đo lờng,...