... hớng (11 0) và hai cảm biến đặt ở biên tạo thành với hớng (10 0) một góc 60o. Với cách đặt nh vậy, biến thiên điện trở của hai cặp cảm biến khi có ứng suất nội sẽ bằng nhau nhng trái dấu: RRRRR42 31 ==== ... màng 1) Đế silic-N 2) Bán dẫn P 3) Dây dẫn 1 2 3 R 1 R2R3R4JT60oa) b) - 14 1 -Giới hạn trên của cảm biến áp suất dùng bộ biến đổi áp điện từ 2,5 - 10 0 MPa, cấp chính xác 1, 5;2. ... xác định theo công thức: 22dDdh4kFQ= (8.29) Trong đ : D, d - đờng kính ngoài và đờng kính trong của phần tử áp điện. h - chiều cao phần phủ kim loại. Hình 8 .14 Cảm biến kiểu áp...