... xác định theo công thức: 22 dDdh4kFQ= (8 .29 ) Trong đ : D, d - đờng kính ngoài và đờng kính trong của phần tử áp điện. h - chiều cao phần phủ kim loại. Hình 8.14 Cảm biến kiểu áp ... silic-N 2) Bán dẫn P 3) Dây dẫn 1 2 3 R1R 2 R3R4JT60oa) b) - 141 -Giới hạn trên của cảm biến áp suất dùng bộ biến đổi áp điện từ 2, 5 - 100 MPa, cấp chính xác 1,5 ;2. Bộ biến đổi ... trong đó có hai cảm biến đặt ở tâm theo hớng (110) và hai cảm biến đặt ở biên tạo thành với hớng (100) một góc 60o. Với cách đặt nh vậy, biến thiên điện trở của hai cặp cảm biến khi có ứng...