... 1, 033 .104760 1,0 13. 10 3 1mmH2O 9,8 9,8.10 -5 10 -3 0,968.10 -4 1 0,0 735 0,098 1mmHg 133 ,3 13, 33. 10 -4 1 ,36 .10 -3 1 ,31 5.10 -3 136 1 1 ,33 1mbar 100 10 -3 1,02.10 -3 0,987.10 -3 ... 8. 13. Sơ đồ nguyên lý cảm biến áp trở a) Sơ đồ cấu tạo b) Vị trí đặt trên màng 1) Đế silic-N 2) Bán dẫn P 3) Dây dẫn 12 3 R1R2R 3 R4JT60oa) b) - 138 - Từ phơng trình (8. 23) ... 1,02.10 -5 0,987.10 -5 1,02.10 -1 0,75.10 -2 10 -2 1 bar 105 1 1,02 0,987 1,02.104 750 10 3 1 kg/cm2 9,8.104 0,980 1 0,986 104 735 9,80.102 1 atm 1,0 13. 105 1,0 13 1, 033 1...