... đơnđơnvvịịththểểttííchchSiOSiO 2 2, , tataccóótheotheođđịịnhnhnghnghĩĩaa(N(N11= 2, 3E 22 cm= 2, 3E 22 cm--33chochoô ô xyxyhhóóaakhôkhôvvớớiiOO 2 2, , vvàà= 4,6E 22 ... )hhmmhmmABXBXii0 425 ,077,41,0465,01,0/ 2 2 2 =+=+=μμμμτ()()() ()mhhhmhmhmhmtBABABBXoxμμμμμτ 323 .010 425 , 025 ,0465,077,44177, 42 465,01/41 /2 2 2 2 2 =⎥⎥⎥⎥⎥⎦⎤⎢⎢⎢⎢⎢⎣⎡−+⎟⎠⎞⎜⎝⎛+⎟⎠⎞⎜⎝⎛=⎥⎥⎦⎤⎢⎢⎣⎡−++=11111/1 /20 071/1 /20 07ĐĐạại ... khitạoSiO 2 bằng ô xy hóa nhiệt Bề mặt ban đầuoxSiSioxNNXX ×=Mật độ SiO 2 Mật độ SiCứ 1 µm Si bị ô xy hóa tạo nên 2, 17 µm SiO 2 Luồng chấtô xyhóaKhô: O 2 Ẩm: H 2 O hoặcO 2 + H 2 OLớp...